tft制造原理和流程(ppt72頁)(文件)
【正文】 電性檢查 老化 LCD 模塊 ? 點(diǎn) /線缺陷 ? 不均 /污點(diǎn) 官能檢查 電性檢查 Module工藝流程及設(shè)備 COG FOG/FOB 封膠 /點(diǎn)膠 FOG后電測 LCD panel/IC/ACF 最終電測 外觀 老化 組裝 硅膠 /UV膠 /樹脂 ACF 酒精 ACF貼附 PCB/FPC 拭布 緩沖 材 包裝 ? 出 廠 包 裝 材 工程 部材 副部材 噴碼 設(shè)備 COG機(jī)臺 信號源 /電測機(jī) /夾具 老化裝置 UV膠固化 ACF貼附機(jī)臺 FOG/FOB機(jī)臺 自動 /半自動 /手動機(jī)臺 UV爐 信號源 /電測機(jī) /夾具 組裝夾具 油墨噴碼機(jī) 背光 /膠帶 /鐵框 油墨 Module工藝流程及設(shè)備 COG自動綁定設(shè)備 功能 :主要完成 IC與panel的連接 . IC擺放在 IC 專用 tray盤中 IC的在電子顯微鏡下局部放大的圖象 Module工藝流程及設(shè)備 ACF貼附設(shè)備 功能 :主要完成 ACF與panel/PCB/FPC的連接 . ACF Module工藝流程及設(shè)備 熱壓設(shè)備 功能 :主要完成 panel與PCB/FPC的連接 . Module工藝流程及設(shè)備 金相顯微鏡 功能 :主要用來檢查COG/FOG/FOB的產(chǎn)品質(zhì)量 。 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎(chǔ) 擴(kuò)散 ?光學(xué)薄膜 導(dǎo)光板 熒光管 接續(xù)電路基板 驅(qū)動用 LSI TCP CF基板 偏光板 液晶盒 Array基板 液晶顯示器的構(gòu)造模式斷面圖 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎(chǔ) 封框膠 信號配線端子 Gate配線端子 ＴＦＴ基板 CF基板 Ag電極 配向膜 液晶面板的構(gòu)造平面圖 (TFT型 ) 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎(chǔ) 偏光板 CF基板 盒墊料 轉(zhuǎn)移電極 (Ag) 封框膠 封框膠墊料 取向膜 TFT基板 偏光板 液晶 B G R ITO BM 液晶面板的構(gòu)造斷面圖 (TN型 ) 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎(chǔ) 彩膜空間混色法實(shí)現(xiàn) TFT－ LCD彩色化 TFT基板 彩膜的結(jié)構(gòu) 偏光板 TFT 背光源 偏光板 液晶 黑色矩陣 提高對比度 降低 Ioff 二、 TFTLCD制造基本流程及設(shè)備 ２． CELL工程 ３． MODULE工程 ＴＦＴ基板 玻璃 基板 1100 1300 成膜 → 光刻 （ 反復(fù) ） ＴＦＴ基板 貼 合 彩膜 取向 → 液晶 滴下→ 貼 合 → 切斷(15型 16片 ) 面板 端子接 續(xù) 電 路基板 安裝 背光源 面板 外框 組 裝 液晶 面板 完成 制造流程概要 二、 TFTLCD制造基本流程及設(shè)備 ARRAY工藝流程及設(shè)備 Ｇ工程 Active S/Ｄ工程 Ｃ工程 ＰＩ工程 檢查 (TN1) 檢查 (TN2) ＴＮ：４ Mask Process Cell工程 Ｇ ate工程 Active工程 鈍 化 層 工程 ITO工程 檢查 (SFT2) ＴＮ：５ Mask Process 檢查 (SFT1) Cell工程 S/Ｄ工程 Repair(TN1) Repair(TN2) Repair(SFT1) Repair(SFT2) Glass 購 入 ,洗凈后使用 Glass 購 入 ,洗凈后使用 ARRAY制造流程圖 TFT Array組成材料 TFT –GATE電極形成 TFT – Active(島狀半導(dǎo)體形成 ) TFT –S/D源漏電極形成 TFT –鈍化層及接觸孔形成 TFT – ITO像素電極形成 ARRAY工藝流程及設(shè)備 裝料 周轉(zhuǎn)盒 機(jī)械手 傳送裝置 UV 藥液噴淋 刷洗 高壓噴射 MS 氣刀 傳送裝置 機(jī)械手 卸料 洗 浄 ARRAY工藝流程及設(shè)備 洗 浄 ＵＶ 藥 液 刷子 高圧 ＭＳ Ａ／Ｋ Ｐ Ｄ Ａ 排 水 Ｐ 排 水 Ｐ 純 水 Ｄ Ａ 洗凈 功能 洗凈對象 作 用 Ｕ Ｖ 藥 液 刷
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