精密與特種加工技術(shù)第十一章其他精密與特種加工技術(shù)(文件)
【正文】 使之達(dá)到理想效果的一個(gè)重要措施，它需要根據(jù)具體的工件形狀、尺寸和加工要求而進(jìn)行設(shè)計(jì)，但有時(shí)需通過試驗(yàn)加以確定。 30 擠壓珩磨的實(shí)際應(yīng)用 擠壓珩磨可用于邊緣光整、倒圓角、去毛刺、拋光和少量的表面材料去除，特別適用于難以加工的內(nèi)部通道拋光和去毛刺。經(jīng)顯影后，在光致抗蝕劑層上獲得了與掩模圖形相同的極微細(xì)的幾何圖形，再利用刻蝕等方法，在工件材料上制造出微型結(jié)構(gòu)。 34 2. 曝光技術(shù) 1) 遠(yuǎn)紫外曝光技術(shù) 2) 電子束曝光技術(shù) 3) 離子束及其曝光技術(shù) 4) X射線曝光技術(shù) 3. 刻蝕技術(shù) 化學(xué)刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的刻蝕方法。 35 光刻技術(shù)的極限和發(fā)展前景 1. 相移掩模技術(shù) 相移掩模是相對(duì)于傳統(tǒng)的透射掩模 (TM)或振幅掩模而言的。相移掩模上，在指定的一些透光區(qū)域中局部地增加一層適當(dāng)厚度的透明介質(zhì)層，即所謂的相移器或相移層，來改變?cè)撎幫高^光的相位，使與無相移器區(qū)域透過光波之間有 180176。當(dāng)與 i線分步重步光刻機(jī)結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 64 Mbit DRAM；當(dāng)與 KrF準(zhǔn)分子激光光刻結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 256 Mbit DRAM；進(jìn)一步與ArF(193 nmm)準(zhǔn)分子激光光刻和相移掩模結(jié)合，可望用于 1 Gbit DRAM的生產(chǎn)。這里主要介紹干性磁力研磨。 39 磁性磨料 磁性磨料的制造工藝雖不完全相同，但使用的原材料是基本相同的。當(dāng)勵(lì)磁電壓一定時(shí)，磁性磨料受到的作用力與磁感應(yīng)強(qiáng)度的平方成正比。 41 2. 加工間隙的影響 當(dāng)磁性磨料、工件轉(zhuǎn)速、勵(lì)磁電壓一定時(shí)，應(yīng)正確選擇加工間隙的大小。 42 3. 磁極形狀的影響 為了有效和可靠地工作，必須正確設(shè)計(jì)磁極的形狀。 43 應(yīng)用實(shí)例 1. 利用回轉(zhuǎn)磁極研磨球面（下圖所示） 工具磁極的端面為球面，兩個(gè)工具磁極繞同一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。 磁性磨料研磨加工技術(shù)主要用于精密機(jī)械零件的表面精整和去毛刺。 45 階梯形零件的磁力研磨 。通常用于液壓元件的閥體內(nèi)腔拋光及去毛刺，效率高、質(zhì)量好，棱邊倒角可以控制在 ，這是其他加工方法難以實(shí)現(xiàn)的。利用這種方法研磨，可以在幾分鐘內(nèi)將球面從 6研磨拋光成為 Ra 。若在磁極圓弧的中央開槽，則磁性磨料的受力狀態(tài)改變，使中央部分集中了磁性磨粒，使磁極利用率提高。在粗加工時(shí)，加工間隙要盡量選??；精加工時(shí)，加工間隙要選大。應(yīng)根據(jù)工件的尺寸、工件材質(zhì)、工件加工表面粗糙度的要求等合理選擇電壓值。 一般的制造方法是將一定粒度的 A12O3或 SiC與鐵粉混合、燒結(jié)，然后粉碎、篩選，制成一定尺寸的磁性磨料，如右圖所示。把磁性磨料放入磁場(chǎng)中，磁性磨料在磁場(chǎng)中將沿著磁力線的方向有序地排列成磁力刷。 干性研磨使用的磨料是干性磨料；濕性研磨是將磨料與不同的液體混合。 36 2. CQUEST和 SHRINC技術(shù) CQUEST的原理是選擇和控制用于微細(xì)圖形成像的照明光，使通過透鏡的光程達(dá)到優(yōu)化，以提高像質(zhì)和增加焦深。而相移掩模則是掩模上透過的光波相位處處不同，相鄰區(qū)域相位差為 180176。其最大缺點(diǎn)就是在刻蝕圖形時(shí)容易產(chǎn)生塌邊現(xiàn)象，即在縱向刻蝕的同時(shí)，也出現(xiàn)側(cè)向刻蝕，以至使刻蝕圖形的最小線寬受到限制。 1. 光刻掩模制作 掩模的制造技術(shù)發(fā)源于光刻，而后在其發(fā)展中逐漸獨(dú)立于光刻技術(shù)。 31 光 刻 技 術(shù) 光刻 (photolithography)也稱照相平版印刷，它源于微電子的集成電路制造，是在微機(jī)械制造領(lǐng)域應(yīng)用較早并仍被廣泛采用且不斷發(fā)展的一類微細(xì)加工方法。因?yàn)轲椥阅チ辖橘|(zhì)和其他流體的流動(dòng)一樣，最容易通過那些路程最短、截面最大、阻力最小的路徑。這種高分子聚合物是磨料的載體，能與磨粒
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