精密與特種加工技術(shù)第十一章其他精密與特種加工技術(shù)-閱讀頁(yè)
2025-05-30 14:52本頁(yè)面
【正文】 性材料，它可以適應(yīng)各種復(fù)雜表面的拋光和去毛刺，如各種型孔、型面，像齒輪、葉輪、交叉孔、噴嘴小孔、液壓部件、各種模具等，所以它的適用范圍是很廣的，而且?guī)缀跄芗庸に械慕饘俨牧?，同時(shí)也能加工陶瓷、硬塑料等。磨料流動(dòng)加工可以去除在 ，可以去除前面工序 (如電火花加工、激光加工等 )形成的表面變質(zhì)層和其他表面微觀缺陷。對(duì)多件裝夾的小零件的生產(chǎn)率每小時(shí)可達(dá) 1 000件。切削均勻性可以保持在被切削量的10%以內(nèi)，因此，也不至于破壞零件原有的形狀精度。 28 黏彈性磨料介質(zhì) 黏彈性磨料介質(zhì)由一種半固體、半流動(dòng)性的高分子聚合物和磨料顆粒均勻混合而成。它主要用于傳遞壓力，攜帶磨粒流動(dòng)以及起潤(rùn)滑作用。 夾具的主要作用除了用來(lái)安裝、夾緊零件、容納介質(zhì)并引導(dǎo)它通過(guò)零件以外，更重要的是要控制介質(zhì)的流程。為了引導(dǎo)介質(zhì)到所需的零件部位進(jìn)行切削，可以對(duì)夾具進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)，在某些部位進(jìn)行阻擋、拐彎、干擾，迫使黏彈性磨料通過(guò)所需要加工的部位。 擠壓珩磨已經(jīng)應(yīng)用于硬質(zhì)合金拉絲模、擠壓模、拉伸模、粉末冶金模、葉輪、齒輪、燃料旋流器等的拋光和去毛刺，還用于去除電火花加工、激光加工等產(chǎn)生的熱影響層。光刻是加工制作半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)或器件和集成電路微圖形結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝技術(shù)，其原理與印刷技術(shù)中的照相制版相似：在硅等基體材料上涂覆光致抗蝕劑 (或稱為光刻膠 )，然后利用極限分辨率極高的能量束來(lái)通過(guò)掩模對(duì)光致抗蝕劑層進(jìn)行曝光 (或稱光刻 )。 32 光刻技術(shù)一般由以下基本的工藝過(guò)程構(gòu)成，如下圖所示 33 光刻加工應(yīng)用及關(guān)鍵技術(shù) 光刻加工中的關(guān)鍵技術(shù)主要包括掩模制作、曝光技術(shù)、刻蝕技術(shù)等。制造工藝可分為版圖設(shè)計(jì)、掩模原版制造、主掩模制造和工作掩模制造四個(gè)主要階段。大多數(shù)化學(xué)刻蝕是不易控制的各向同性刻蝕。通常、采用刻蝕系數(shù) Kf來(lái)反映刻蝕向縱向深入和向側(cè)向刻蝕的情況，刻蝕系數(shù)表示為 Et=2D/(W2W1)=D/R。振幅掩模上凡透光部分所透過(guò)的光波相位都是相同的，而振幅不同。 ，而振幅可能相同，也可能不同，隨相移掩模種類而定。 相位差，從而改善硅片上光學(xué)像的對(duì)比度，提高分辨率，同時(shí)焦深、像亮度曝光量和寬容度也得到改善。 SHRINC方法也可用在準(zhǔn)分子激光照明情況下，并可與相移掩模結(jié)合使用。 37 磁性磨料加工 磁性磨料研磨加工按磨粒的狀態(tài)分為干性研磨和濕性研磨兩種。這兩種方式都能進(jìn)行拋光、去毛刺和棱邊倒圓。 38 加工原理 干性磁力研磨的示意圖如右圖所示。把工件放入 NS磁極中間，并使工件相對(duì) N極和 S極保持一定的距離，當(dāng)工件相對(duì)磁極作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，磁性磨料將對(duì)工件表面進(jìn)行研磨加工。常用的原料是鐵加普通磨料 (例如 A12O SiC等 )。 40 加工工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響 1. 磁場(chǎng)強(qiáng)度的影響 加工間隙中的磁感應(yīng)強(qiáng)度大小可以通過(guò)改變勵(lì)磁電壓的大小來(lái)控制。增大加工間隙中的磁感應(yīng)強(qiáng)度，就能有效地提高研磨拋光效率，因此，要正確選用勵(lì)磁電壓。一般粗加工時(shí)應(yīng)選用較大的磁場(chǎng)強(qiáng)度。試驗(yàn)結(jié)果和理論分析都證明：加工間隙增大，磁感應(yīng)強(qiáng)度會(huì)減??；加工間隙小，則磁感應(yīng)強(qiáng)度大。加工間隙大小的值應(yīng)根據(jù)具體的加工要求而定。若磁極的中央部分是圓弧，中央部分不容易保存磁性磨粒，中央部分就沒(méi)有研磨作用，降低了磁極的利用率。同時(shí)，磁極形狀的設(shè)計(jì)應(yīng)使磁性磨料在加工間隙中受到更大的磁場(chǎng)力，從而提高磁力研磨的加工效率。研磨時(shí)，工件不但轉(zhuǎn)動(dòng)，而且擺動(dòng)，但球心始終不動(dòng)。 44 2．磁力研磨階梯形零件 (下圖所示 ) 利用磁力研磨方法拋光圓柱階梯形零件，可以將棱邊上20~30高度的毛刺在幾分鐘內(nèi)去除，研磨成的棱邊圓角半徑為 ，這是其他方法無(wú)法或者很難實(shí)現(xiàn)的，在精密耦合件中用來(lái)拋光和去毛刺十分有效。去毛刺的高度不能超過(guò) 。 磁性磨料研磨加工技術(shù)還可以用于油泵齒輪、軸瓦、軸承、異型螺紋滾子等的研磨拋光
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