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正文內(nèi)容

中芯國際集成電路制造天津有限公司驗收評價報告(文件)

2025-09-10 13:59 上一頁面

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【正文】 應(yīng)急照明,疏散指示標(biāo)志及排煙措施。 SJ3000292 √ 設(shè)置于人流最少的東側(cè),采 取隔離防護(hù)措施。 SJ3000292 √ 均設(shè)置。 SJ3000292 √ 屏蔽光源保護(hù)措施。 SJ3000292 √ 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與 PE線可靠連接。 SJ3000292 √ 隔離操作、密閉生產(chǎn)。 SJ3000292 √ 雙套管輸送,防腐內(nèi)涂層。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染,易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì),潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。 SJ3000292 √ 均設(shè)置獨立排風(fēng)。 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 4 危險化學(xué)品的使用、輸送與管理 危險化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。 輸送危險化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等,應(yīng)根據(jù)危險介質(zhì),采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。泵為全封閉型 輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時,應(yīng) 加以收 集或處理,不得任意排放。 有爆炸危險的房間(如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等),應(yīng)設(shè)置泄壓措施,安全出口不應(yīng)少于 2 個。 危險化學(xué)品安全管理條例 第 18 條 √ 設(shè)置應(yīng)急通訊、自動、手動報警裝置。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 19 條 √ 儲存柜上均有標(biāo)識。 危險物品管理的通知 使用危險化學(xué)品,在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù),并取得使用許可證。 5 有毒氣體控制裝置 砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜,離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點,應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。 6 電氣 電氣裝置采用接地故障保護(hù)時,應(yīng)做總 等電位聯(lián)接。 SJ3000292 √ 設(shè)發(fā)電機(jī) 3 臺,壓縮空氣備用氣源≥30min。 SJ3000292 √ 單獨設(shè)置供電回路, UPS、 EPS、SP 電源, 在有爆炸危險環(huán)境內(nèi),敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管,在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞,應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。 在火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi),可能產(chǎn)生靜 SJ3000292 √ 設(shè)備、管道均采取序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施 。 7 消防、報警設(shè)施 建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配 置設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 GBJ1687 SJ3000292 √ 設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。 必須到已辦理充裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第 79 條 √ 各項措施齊備,剩余 壓 力 小 于 自 動 切換。 9 安全標(biāo)志 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志,必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號。 GB289382 GB28941996 √ 工業(yè)管路基本識別色應(yīng)符合: 綠色:水 鋁色:蒸氣 棕色:易燃液體 黃褐色:氣態(tài)或液態(tài)氣體(空氣、氧氣除外) 紫色:酸或堿 淺藍(lán)色:空氣或氧氣 黑色:其它液體。 E. 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測點,所有探頭具有高敏度報警功能; F. 酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮氣充填容器,利用雙層管道輸送至使用點,在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測報警探頭,所有化學(xué)品盛裝容器、使用點均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng); G. 在危險化學(xué)品生產(chǎn)、儲存場所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置; 、報警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標(biāo)準(zhǔn)要 求。 5) 驗 收評價結(jié)論 SMIC 中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。未經(jīng)批準(zhǔn),不得隨意設(shè)置化學(xué)危險品貯存?zhèn)}庫。其庫房及場所應(yīng)設(shè)專人管理,管理人員必須配備可靠的個人安全防護(hù)用品。 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 貯存的化學(xué)危險品應(yīng)有明顯的標(biāo)志,同一區(qū)域貯存兩種或兩種以上不同級別的危險品時,應(yīng)按最高等級危險物品的性能標(biāo)志。 化學(xué)危險品庫建筑耐火等級不應(yīng)低于二級,防火間距不應(yīng)少于30m,消防通道必須保證暢通。 GBJ1687 √ 庫房對外有 2 個出入口,每個儲存間除有一個與主走廊相通的門外,都有一個直接通向建筑物外的緊急疏散門。 貯存易燃、易爆化學(xué)危險品的建 筑,必須安裝避雷設(shè)施。 化學(xué)危險品庫房,通排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng) 設(shè)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。 庫房內(nèi)敷設(shè)的配電線路,需穿金 屬管或用非燃硬塑料管保護(hù)。 GB5005892 √ 庫房內(nèi)使用的照明設(shè)施、氣 體監(jiān)測、火焰監(jiān)測等均為防爆型。 SJ3000292 √ 具有腐蝕性液體的貯存室地面為防腐地面,且有液體流灑、泄漏收集溝。 SJ3000292 √ 化學(xué)危險品儲存設(shè)有專庫,有專人管理。 極易爆炸物品,不準(zhǔn)和其它物品 同貯,必須單獨限量分區(qū)貯存。 易燃液體遇濕易燃物品、易燃固體,不得與氧化劑混合貯存,具有原還性的氧化劑應(yīng)單獨存放。 庫房 溫度、濕度應(yīng)嚴(yán)格控制,經(jīng)常檢查,發(fā)現(xiàn)變化及時調(diào)整。 化學(xué)危險品入庫后應(yīng)采用適當(dāng)?shù)酿B(yǎng)護(hù)措施,在貯存期內(nèi)定期檢查,發(fā)現(xiàn)其品質(zhì)變化,包裝破損、GB156031995 √ 危險化學(xué)品入庫后每班進(jìn)行檢查,先入庫的先用,防止超期儲存。包裝的材質(zhì)、型式、規(guī)格、方法和單件質(zhì)量(重量),應(yīng)與所裝危險貨物的性質(zhì)和用途相適應(yīng),并便于裝卸、運輸和儲存。 儲存危險化學(xué)品的數(shù)量等于或者超過臨界量的單元,稱其為重大危險源。 不得用同一車輛運輸互為禁忌的物料。 GB438794 ∽ 一輛電動叉車、一輛電動地牛已取得專門部門頒發(fā)的廠內(nèi)機(jī)動車輛運行許可證。通風(fēng)、避光,空、實瓶分開,配瓶帽,立放有防倒裝 置等。用車輛運送到車間用戶時,連同手推車一起運送,做為固定裝置,并有利于裝卸。 倉庫的消防設(shè)施器材,應(yīng)由專人管 理、負(fù)責(zé)檢查、維護(hù)保養(yǎng)、更換和添置,保證完好有效。 庫區(qū)的消防車道和倉庫的安全出口等通道,嚴(yán)禁堆放物品。倉庫的火災(zāi)檢測、有毒檢測報警儀表應(yīng)按強(qiáng)檢儀表定期檢測或更換。 √ 甲類物品庫、專業(yè)性庫,應(yīng)當(dāng)按照國家有關(guān)技術(shù)規(guī)范的規(guī)定,安裝相應(yīng)的報警裝置,附近有公安消防隊的宜設(shè)置與其直通的報警電話。 GB156031995 √ 倉庫工作人員都進(jìn)行事先專業(yè)培訓(xùn)和在崗培訓(xùn)。倉庫工作人員同時也是叉車司機(jī),其中一名已取得駕駛證,另一名已考核完畢,也在等待發(fā)證期間。 裝卸甲、乙類物品時,操作人員不得穿戴易產(chǎn)生靜電的工作服、帽和使用易產(chǎn)生火花的工具。庫內(nèi)作業(yè)結(jié)束后,應(yīng)當(dāng)對庫區(qū)、庫房進(jìn)行檢查,確認(rèn)安全后,方可離人。 國務(wù)院令 344號令 15條 √ 倉庫有嚴(yán)格的貨物進(jìn)出制度,人員進(jìn)出制度,貨物管理制度。 8 廢棄物處理 禁止在化學(xué)危險品貯存區(qū)域內(nèi)堆積可燃廢棄物品。 超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗收評價單元 鍋爐房安全驗收評價單元 油罐區(qū)、冷凍機(jī)房、空壓站、水泵房安全評價單元 污水處理站安全評價單元 供配電安全評價單元 單元概述 1) 供電電源、電壓 該公司由城市供電系統(tǒng)雙港和吳莊 220kV 變電站各引來一路110kV 專用架空線路至廠區(qū)內(nèi)的總配變電站。 應(yīng)急電源由 UPS 及設(shè)置在 C 廠房內(nèi)的三臺 1250 kW 的柴油發(fā)電機(jī)組成。應(yīng)急電源采用地下綜合管道和橋架向各需要應(yīng)急電源廠房饋電。 終端變電站:接受配電站 10 kV 饋電,經(jīng) 10/ kV 變壓器變壓,送至廠房內(nèi)各電氣間和用電部位。 3 動力變壓器 5000kVA 10/ 干式 臺 4 4 動力變壓器 2500kVA 10/ 干式 臺 4 5 低壓配電裝置 柜 10/ 面 /套 63/4 5) W廠房配變電站 主要設(shè)備明細(xì)表 序號 設(shè)備名稱 規(guī) 格 單位 數(shù)量 說明 1 10kV配電柜 15kV 1200A 內(nèi)置真空斷路器 面 9 SSWGNP006 2 動力變壓器 500kVA 10/ 臺 1 在室外 3 動力變壓器 300kVA 4 低壓配電裝置 柜 面 5 含 PE、 ATS 站用電源和操作電源 1)站用電源 由分別接于總配、變電站 10kV兩段母線上的 2臺 45kVA10/ 的變壓器提供,當(dāng)一臺站用變掉電后,由轉(zhuǎn)換開關(guān)轉(zhuǎn)向另一臺站用變。 繼電保護(hù)、自動裝置 1)繼電保護(hù) 110/10kV變壓器設(shè)有縱聯(lián)差動、過電流、過電壓、瓦斯、溫度、油壓等保護(hù);變電站中 10kV開關(guān)柜設(shè)瞬時過電流,接地故障保護(hù);終端變電站中干式變壓器 10kV側(cè)設(shè)限流熔斷器保護(hù),低壓側(cè)主開關(guān)設(shè)過電流保護(hù)。 供配電系統(tǒng)電氣監(jiān)控設(shè)在中控室,通過 FMCS系統(tǒng),對各級電氣設(shè)備狀態(tài)、電流、電壓、功率、諧波進(jìn)行監(jiān)控。變電站內(nèi)接地系統(tǒng)由直埋銅。 接地系統(tǒng) 1)工作接地 10kV系統(tǒng)采用直接接地, , 380V系統(tǒng)在 C和 B廠房內(nèi)采用經(jīng)電阻接地,其余廠房采用直接接地。正常運行時 10kV母線分段斷路器斷開,當(dāng)任一 條 110kV線路失電時,則 10kV母線分段斷路器合上。電池系統(tǒng)由免維護(hù)直流電池、浮充器和直流盤組成。 4)主要電氣設(shè)備如表 所示。總配變電站設(shè)在廠區(qū)西 南角,為室外變配電站,接受雙港和吳莊 110kV 饋電,配出 10kV。當(dāng)一處失電后發(fā)電機(jī)組自動啟動并恢復(fù)供電。 2) 供配電系統(tǒng) 總配變電站 110kV 系統(tǒng)采用線路 —變壓器組方案,即每路 110kV架空線路經(jīng)由電動操作的 SF6 斷路器后接至 110/10kV、 20MVA 油浸式變壓器,變壓器 10 kV 出線引至站內(nèi)的 001和 007配電站 10 kV母線, 10 kV 系統(tǒng)采用單母線分段接 線,通過母線分段斷路器互為備用,并以放射式向各廠房 10 kV 配電站饋電,每座廠房 10 kV 配電站再以環(huán)形或放射式的形式向各終端(廠房內(nèi))變電站饋電,各終端變電站采用 10/ kV 干式變壓器, 380/220V 低壓系統(tǒng)為單母線,設(shè)聯(lián)絡(luò)開關(guān)。 按化學(xué)危險品特 性,用化學(xué)的或物理的方法處理廢棄物品,不得任意拋棄、污染環(huán)境。 使用、儲存危險化學(xué)品的單位,其主要負(fù)責(zé)人必須保證本單位危險化學(xué)品的安全管理符合有關(guān)法律,法規(guī)、規(guī)章的規(guī)定和國家標(biāo)準(zhǔn)的要求,并對本單位危險化學(xué)品的安全負(fù)責(zé)。 庫內(nèi)作業(yè)結(jié)束后,經(jīng)檢查確認(rèn)后,鎖庫門,人員離庫。 在倉庫工具間設(shè)有意外事故緊急處理用品柜,柜內(nèi)備有緊急處 √ 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 理的一切防護(hù)用品。 HG2057195 √ 倉庫各貯存室、惰性氣體存放區(qū),分別設(shè)有人員接觸到有害物質(zhì)的沖洗、沖眼設(shè)備。 叉車駕駛?cè)藛T應(yīng)由取得專門機(jī)構(gòu)頒發(fā)的廠內(nèi)機(jī)動車駕駛證的人員擔(dān)任,無證人員不準(zhǔn)駕駛叉車。硅烷庫的手動報警器和報警電話插孔可能沒有作用,一旦有火災(zāi)險情,人員不能在現(xiàn)場停留片刻。 GB156031995 √ 主走廊和各室都安裝有滅火噴淋系統(tǒng),但遇水或濕序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 氣時會產(chǎn)生可燃和有毒氣體的物質(zhì)不要放在噴淋水噴頭下,如硼酸三乙酯。危險化學(xué)品倉庫的安全設(shè)施應(yīng)當(dāng)定期檢測。 滅火器材應(yīng)擺放在明顯和便于取用的地方,周圍不準(zhǔn)堆放物品和雜物。 公安部 6號令46號 ∽ 倉庫門上有“嚴(yán)禁煙火”的標(biāo)志,進(jìn)入庫區(qū)的人沒有庫管人員帶領(lǐng),倉庫門打不開,不能進(jìn)入。 氣瓶裝卸 氣瓶要輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾、碰;采用車輛運輸時,氣瓶應(yīng)妥善固定。 叉車的剎車、轉(zhuǎn)向、燈光、喇叭 和后視鏡等功能齊全、可靠。 電動叉車、電動地牛車應(yīng)取得專門部門頒發(fā)的廠內(nèi)機(jī)動車輛運行許可證。 4 庫內(nèi)運輸、裝卸車輛 甲類物品庫房的電瓶車、鏟車必 須是防爆型的。 易燃?xì)怏w不得與助燃?xì)怏w、劇毒 氣體同貯。 存的物品存放在所屬室內(nèi)專門的冷庫或冷柜內(nèi)。 裝卸、搬運化學(xué)危險品時,應(yīng)做到輕裝、輕卸,嚴(yán)禁摔、碰、撞、擊、拖拉、傾倒和滾動。 腐蝕性物品包裝必須嚴(yán)格,不允許泄漏,嚴(yán)禁與液化氣體和其它物品共存。 壓縮氣體和液化氣體
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