半導(dǎo)體產(chǎn)品制造合格率模型-wenkub
2023-03-17 08:36:44 本頁面
【正文】 Semiconductor Products Way Kuo, Taeho Kim， Proceedings of the IEEE August, 1999 Volume 87 Number 8 2023年 8月 目 錄 ? A．合格率和可靠性 ? B．合格率分量 ? C．缺陷和臨界面積 ? D．合格率模型 1. 泊 松模型（ Poisson yield model） 2. 負(fù) 二項式模型（ negative binomial yield model） 3. （ 3）其他 模型 2023年 8月 合格率和可靠性 ? 合格率和可靠性是集成電路生產(chǎn)效率的兩個重要因素，但對它們之間的相關(guān)性至今仍不得而知。很多人對此都進(jìn)行了研究，請參考原文。區(qū)分故障和缺陷對基于缺陷密度和芯片面積進(jìn)行合格率計算的模型很重要。雖然能找到類似的概率分布函數(shù)來表征這種分布，但通常它們都難于進(jìn)行分析處理 。典型缺陷尺寸分布曲線如下圖所 示。對于給定 的 μ ， 一個芯片 包含 K個 缺陷的概率為 ： !keP kk????合格品就是缺陷為 0的產(chǎn)品，因此合格率即為： 00 DA ceePY ?? ??? ?泊松模型被廣泛使用，但
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