半導體制造工藝流程課件-wenkub
2023-03-20 04:30:25 本頁面
【正文】 制造工藝： 根據 柵工藝分類? A 鋁柵工藝? B 硅 柵工藝? 其他分類1 、（根據溝道） PMOS、 NMOS、 CMOS2 、（根據負載元件） E/R、 E/E、 E/D 半導體制造工藝分類? 三 BiCMOS工藝： A 以 CMOS工藝為基礎 P阱 N阱 B 以雙極型工藝為基礎雙極型集成電路和 MOS集成電路優(yōu)缺點雙極型集成電路中等速度、驅動能力強、模擬精度高、功耗比較大CMOS集成電路低的靜態(tài)功耗、寬的電源電壓范圍、寬的輸出電壓幅度（無閾值損失），具有高速度、高密度潛力；可與TTL電路兼容。半導體制造工藝流程半導體相關知識? 本征材料：純硅 910個 9 ? N型硅： 摻入 V族元素 磷 P、砷 As、銻Sb? P型硅： 摻入 III族元素 — 鎵 Ga、硼 B? PN結：NP +++++半導體元件制造過程可分為? 前段（ Front End）制程 晶圓處理制程（ Wafer Fabrication；簡稱 Wafer Fab）、 晶圓針測制程（ Wafer Probe）；? 後段（ Back End） 構裝（ Packaging）、測試制程（ Initial Test and Final Test）一、晶圓處理制程 ? 晶圓處理制程之主要工作為在矽晶圓上制作電路與電子元件（如電晶體、電容體、邏輯閘等），為上述各制程中所需技術最復雜且資金投入最多的過程 ，以微處理器（ Microprocessor）為例，其所需處理步驟可達 數百道 ，而其所需加工機臺先進且昂貴，動輒數千萬一臺，其所需制造環(huán)境為為一溫度、濕度與 含塵（ Particle）均需控制的無塵室（ CleanRoom），雖然詳細的處理程序是隨著產品種類與所使用的技術有關；不過其基本處理步驟通常是晶圓先經過適 當的清洗（ Cleaning）之後，接著進行氧化（ Oxidation）及沈積，最後進行微影、蝕刻及離子植入等反覆步驟，以完成晶圓上電路的加工與制作。電流驅動能力低半導體制造環(huán)境要求? 主要污染源：微塵顆粒、中金屬離子、有機物殘留物和鈉離子等輕金屬例子。經研磨、拋光、切片后，即成半導體之原料 晶圓片第一次光刻 — N+埋層擴散孔? 1。高溫時在 Si中的擴散系數小，以減小上推3。? Al—NSi 歐姆接觸： ND≥1019cm3， SiO2N+BLPSUBNepiN+BLP+ P+P+P PN+去 SiO2— 氧化 涂膠 — 烘烤 掩膜（曝光） 顯影 堅膜— 蝕刻 — 清洗 — 去膜 — 清洗 — 擴散第五次光刻 — 引線接觸孔? SiO2N+N+BLPSUBNepiN+BLP+ P+P+PPNepi去 SiO2— 氧化 涂膠 — 烘烤 掩膜（曝光） 顯影 堅膜— 蝕刻 — 清洗 — 去膜 — 清洗第六次光刻 — 金屬化內連線：反刻鋁? SiO2ALN+N+BLPSUBNepiN+BLP+ P+P+P PNepi去 SiO2— 氧化 涂膠 — 烘烤 掩膜（曝光） 顯影 堅膜— 蝕刻 — 清洗 — 去膜 — 清洗 — 蒸鋁CMOS工藝集成電路CMOS集成電路工藝以 P阱硅柵 CMOS為例? 1。光 II有源區(qū)光刻NSiPSi3N4CMOS集成電路工藝以 P阱硅柵 CMOS為例? 5。NSiPCMOS集成電路工藝以 P阱硅柵 CMOS為例? 7。光 Ⅴ IP+區(qū)光刻， P+區(qū)注入。光刻膠NSiPAsCMOS集成電路工藝以 P阱硅柵 CMOS為例? 11。PSGNSiP+PP+N+ N+CMOS集成電路工藝以 P阱硅柵 CMOS為例? 13。 12??300mm。s first 300mm wet process cassettes (that can be spin rinse dried). 花籃As we look in this window we see the World39。半導體 IC雙極 ICMOSICBiCMOSPMOS ICCMOS ICNMOS ICMOS IC及工藝MOSFET — Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor . — 金屬氧化物半導體場效應晶體管Si金屬氧化物（絕緣層、 SiO2）半導體MOS(MIS)結構P－襯底n+ n+漏源 柵柵氧化層氧化層溝道GDS VTVGSIDVDS 0反型層 溝道源（ Source） S漏（ Drain） D柵（ Gate） G柵氧化層厚度：50埃－ 1000埃（ 5nm－ 100nm）VT－閾值電壓電壓控制N溝 MOS（ NMOS）? P型襯底，受主雜質；? 柵上加正電壓，表面吸引電子，反型，電子通道；? 漏加正電壓，電子從源區(qū)經 N溝道到達漏區(qū)，器件開通 。 04:51:3504:51:3504:512/1/2023 4:51:35 AM? 1以我獨沈久，愧君相見頻。 01 二月 20234:51:35 上午 04:51:35二月 21? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 4:51:35 上午 4:51 上午 04:51:35二月 21? 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 04:51:3504:51:3504:51Monday, February
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