電子顯微分析與電子探針(1)-wenkub
2023-05-18 08:20:25 本頁面
【正文】 圖 222 電子光學(xué)系統(tǒng)示意圖 表 221 幾種類型電子槍性能比較 2．偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) ? 作用 ：使電子束產(chǎn)生橫向偏轉(zhuǎn)，包括用于形成光柵狀掃描的掃描系統(tǒng)，以及使樣品上的電子束間斷性消隱或截斷的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)。 ? 閃爍計數(shù)器是最常用的一種信號檢測器，它由閃爍體、光導(dǎo)管、光電倍增管組成。 ? 由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路組成 6．真空系統(tǒng) ? 作用：確保電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作、防止樣品污染、保證燈絲的工作壽命等。 表 222 掃描電子顯微鏡景深 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 就是像的各部分 (即各像元 )強度相對于其平均強度的變化。 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： ? (1)形貌襯度 ? (2)成分襯度 ? (3)電壓襯度 ? (4)磁襯度 (第一類 ) 右圖為形貌襯度原理 二次電子像襯度的特點： ? （ 1）分辨率高 ? （ 2）景深大，立體感強 ? （ 3）主要反應(yīng)形貌襯度。 圖 2218 Si(Li)檢測器探頭結(jié)構(gòu)示意圖 ? 以 Si(Li)檢測器為探頭的能譜儀實際上是一整套復(fù)雜的電子學(xué)裝置。此外，能譜儀可在低入射電子束流 (1011A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或 X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光 X射線信號也被同時檢測到，從而使得 Si(Li)檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴(yán)重。 Si(Li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時也不能中斷，否則晶體內(nèi) Li的濃度分布狀態(tài)就會因擴(kuò)散而變化，導(dǎo)致探頭功能下降甚至完全被破壞。 波譜儀的特點： ? 波譜儀的突出優(yōu)點是 波長分辨率很高 。 (a)能譜曲線； (b)
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