xps檢測分析方法ppt課件(已修改)
2025-05-17 18:34 本頁面
【正文】 X— 射線光電子能譜 ( Xray Photoelectron Spectroscopy ) ? XPS 的發(fā)展 ? 基本概念 ? XPS 的工作流程及原理 ? 利用 XPS譜圖鑒別物質(zhì) ? XPS的實驗方法 ? XPS譜圖的解釋步驟 ? XPS 的特點 主要內(nèi)容： XPS 的發(fā)展： ? XPS理論首先是由瑞典皇家科學(xué)院院士、烏普薩拉大學(xué)物理研究所所長 KSiebahn 教授創(chuàng)立的。 原名為化學(xué)分析電子能譜 : ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。 ? 1954年研制成世界上第一臺雙聚焦磁場式光電子能譜儀。 ? XPS是一種 對 固體表面 進(jìn)行定性、定量分析和結(jié)構(gòu)鑒定的實用性很強的表面分析方法 。 基本概念： ? 光電子能譜 : 反應(yīng)了原子（或離子）在入射粒子（一般為 Xray）作用下發(fā)射出來的電子的能量、強度、角分布等信息。 ? Xray: 原子外層電子從 L層躍遷到 K層產(chǎn)生的射線。 常見的 X射線激發(fā)源有： Mg :Ka1,2(1254ev,線寬 ) Al :Ka1,2(1487ev ,線寬 ) Cu :Ka1,2(8048ev,線寬 ) Ti
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