試驗(yàn)設(shè)計(jì)與設(shè)計(jì)的準(zhǔn)則(已修改)
2024-10-14 10:18 本頁(yè)面
【正文】 試驗(yàn)設(shè)計(jì)與設(shè)計(jì)的準(zhǔn)則 劉森茂 數(shù)學(xué)科學(xué)學(xué)院 ?先從一個(gè)簡(jiǎn)單的試驗(yàn)開(kāi)始： 生產(chǎn)集成電路的一個(gè)初始步驟是產(chǎn)生晶體外延層。試驗(yàn)中有三個(gè)地方需要配置： 感應(yīng)旋轉(zhuǎn)方法、噴咀位置、沉積溫度，每個(gè)地方有兩種配置方法。也即有三個(gè)因子，每個(gè)因子兩個(gè)水平。 試驗(yàn)人員希望找出最好的配置，使得產(chǎn)生的外延層厚度盡可能接近 。 ?為此，試驗(yàn)人員在每一種可能的設(shè)置下（ 2的3次方，共 8種可能）做 5次試驗(yàn)，共 40次試驗(yàn)。 ?上述試驗(yàn)叫做“完全因析試驗(yàn)”，我們可以用五次試驗(yàn)距離目標(biāo)值差距的平方和作為響應(yīng)變量，建立回歸模型，并進(jìn)行方差分析。 ?模型方程是： ?上述參數(shù)叫做回歸方程的系數(shù)，在試驗(yàn)設(shè)計(jì)中，也叫因子的效應(yīng)。 .. . 。ijk l i j k ij ik ijk ijk ly ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ?, , 1 , 2 。 1 , 2 , 3 , 4 , 5 。i j k l??一般的分析方法 ： ?最小二乘估計(jì) ?回歸分析中的變量篩選 ?正態(tài)圖、半正態(tài)圖 ? F檢驗(yàn)效應(yīng)是否顯著 ?根據(jù)顯著的回歸系數(shù)確定因子水平 ?這個(gè)試驗(yàn)有三個(gè)因子，每個(gè)水平下重復(fù) 5次，共有 40次試驗(yàn)。但在稍微復(fù)雜一點(diǎn)的試驗(yàn)中，因子數(shù)往往有 810個(gè)，甚至更多，那時(shí)即使沒(méi)有重復(fù)，試驗(yàn)次數(shù)也已經(jīng)數(shù)百、上千
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