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材料研究方法及電子掃描顯微鏡-文庫吧

2024-12-22 23:59 本頁面


【正文】 (1)式的右邊應(yīng)加上透射電子項(xiàng) , 即 I0=IB+IS+IA+IT 用途: 透射電子是透射電子顯微鏡要檢測的主要信息 ,用于 高倍形貌像觀察 , 高分辨 原子 、 分子 、 晶格像觀察和電子衍射晶體結(jié)構(gòu)分析 。 材料研究方法 由俄歇作用產(chǎn)生的自由電子稱為俄歇電子 。如下圖所示,入射電子使試樣中某原子的內(nèi)層 (如 K層 )電子激發(fā) (打飛 )后,外層電子 (如 L2層電子 )將回躍到內(nèi)層 (K層 )來填補(bǔ)空位,多余的能量 (△E=EL2EK)不是以特征 X射線的形式釋放出來,而是傳給了外層 (如 L3層 )的電子,使之激發(fā)。這個過程稱為俄歇作用,由此產(chǎn)生的自由電子稱為俄歇電子。 材料研究方法 俄歇電子與特征 X射線一樣 , 具有特定的能量和波長 , 其能量和波長取決于原子的核外電子能級結(jié)構(gòu) 。 因此每種元素都有自己的特征俄歇能譜 。俄歇電子的能量一般是 50~2023eV, 逸出深度4~20197。, 相當(dāng)于 2~3個原子層 。 這種電子能 反映試樣的表面特征 。 因此 ,檢測俄歇電子可以對試樣 表面成分 和 表面形貌 進(jìn)行分析 。 材料研究方法 與 X射線管產(chǎn)生連續(xù) X射線的原理一樣 , 不同的是 , 這里作陽極的不是磨光的金屬表面 , 而是試樣 。 當(dāng)電子束轟擊試樣表面時 , 有的電子可能與試樣中的原子碰撞一次而停止 , 而有的電子可能與原子碰撞多次 , 直到能量消耗殆盡為止 。 每次碰撞都可能產(chǎn)生一定波長的 X射線 , 由于各次碰撞的時間和能量損失不同 , 產(chǎn)生的 X射線的波長也不相同 , 加上碰撞的電子極多 ,因此將產(chǎn)生各種不同波長的 X射線 —— 連續(xù) X射線 。 連續(xù) X射線在電子探針定量分析中作為背景值應(yīng)予扣除 。 X射線 材料研究方法 電子束與固體物質(zhì)作用會產(chǎn)生特征 X射線,這與 X射線管產(chǎn)生特征 X射線的過程和原理相同。 特征 X射線的波長決定于原子的核外電子能級結(jié)構(gòu)。每種元素都有自己特定的特征 X射線譜。一種元素的某根特征 X射線 (如 Kα1)的波長是不變的,它是識別元素的一種特有標(biāo)志。在 X射線譜中發(fā)現(xiàn)了某種元素的特征 X射線,就可以肯定該元素的存在。 特征 X射線是電子探針 微區(qū)成分分析 所檢測的主要信號。 X射線 材料研究方法 由 X射線激發(fā)
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