【材料課件】08透射電子顯微鏡-文庫(kù)吧
2025-02-03 18:51 本頁(yè)面
【正文】 率 最小電子束直徑約 2nm 傾轉(zhuǎn)角度 α=177。60度 β=177。30度 3/1/2023 5 HNUZLP Philips CM12透射電鏡 加速電壓 20KV、 40KV、 60KV、 80KV 、 100KV、 120KV LaB6或 W燈絲 晶格分辨率 點(diǎn)分辨率 最小電子束直徑約 2nm； 傾轉(zhuǎn)角度 α=177。20度 β=177。25度 CEISS902電鏡 加速電壓 50KV、 80KV W燈絲 頂插式樣品臺(tái) 能量分辨率 傾轉(zhuǎn)角度 α=177。60度 轉(zhuǎn)動(dòng) 4000 3/1/2023 6 HNUZLP 2 1 3 4 4 5 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 16 17 18 19 20 圖 2－ 1 3/1/2023 7 HNUZLP 光源 中間象 物鏡 試樣 聚光鏡 目鏡 毛玻璃 電子鏡 聚光鏡 試樣 物鏡 中間象 投影鏡 觀察屏 照相底板 照相底板 圖 2－ 2 3/1/2023 8 HNUZLP 電鏡一般是電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三大部分組成。 一 . 電子光學(xué)系統(tǒng) 圖 21 是近代大型電子顯微鏡的剖面示意圖，從結(jié)構(gòu)上看，和 光學(xué)透鏡非常類(lèi)似。 1. 照明部分 （ 1）陰極：又稱(chēng)燈絲，一般是由 ~ V 或 Y形狀。 （ 2）陽(yáng)極：加速?gòu)年帢O發(fā)射出的電子。為了安全，一般都是 陽(yáng)極接地，陰極帶有負(fù)高壓。 （ 3）控制極：會(huì)聚電子束；控制電子束電流大小，調(diào)節(jié)象的 亮度。 陰極、陽(yáng)極和控制極決定著電子發(fā)射的數(shù)目及其動(dòng)能，因此， 人們習(xí)慣上把它們通稱(chēng)為“電子槍”。 （ 4）聚光鏡：由于電子之間的斥力和陽(yáng)極小孔的發(fā)散作用， 電子束穿過(guò)陽(yáng)極小孔后，又逐漸變粗，射到試樣上仍然過(guò)大。聚光 鏡就是為克服這種缺陷加入的，它有增強(qiáng)電子束密度和再一次將發(fā) 散的電子會(huì)聚起來(lái)的作用。 3/1/2023 9 HNUZLP 陰極（接 負(fù)高壓） 控制極（比陰極 負(fù) 100~1000伏） 陽(yáng)極 電子束 聚光鏡
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