微納加工工藝流程-文庫吧
2025-07-10 16:21 本頁面
【正文】 定了可能的涂覆厚度，不同的型號可合適做不同的厚度，最常見的是10181。m到100181。m。引發(fā)劑三苯基硫鹽按SU8量的10%比例加入。SU8在前烘中有很好的自平整能力。經(jīng)100oC以上固化后，交聯(lián)的SU8有較強(qiáng)的抗腐蝕性，熱穩(wěn)定性大于200oC。高溫下可耐pH值13的堿性溶液的侵蝕。SU8的光反應(yīng)機(jī)理：光刻膠中的光引發(fā)劑吸收光子發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，生成一種強(qiáng)酸，其作用是在中烘過程中作為酸性催化劑促進(jìn)發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。只有曝光區(qū)域的光膠才含有這樣形成的強(qiáng)酸，未曝光區(qū)域則不含有。交聯(lián)反應(yīng)鏈?zhǔn)皆鲩L，每一個(gè)環(huán)氧基都能與同一分子或不同分子中的其他環(huán)氧基反應(yīng)。交聯(lián)反應(yīng)形成了致密的交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)不溶于顯影液PGMEA中。正光膠的有關(guān)技術(shù)主要來自含氮染料、印刷和復(fù)印工業(yè)。正光膠基于重氮鹽和二疊氮化物的兩個(gè)反應(yīng)。在堿性條件下，重氮鹽或二疊氮化物很快與酚類偶合劑發(fā)生幾乎定量的反應(yīng)，形成各種有色且難溶的染料，其顏色和溶解性取決于二疊氮化物和偶合物的結(jié)構(gòu)。上述兩種成分在偏酸性緩沖液中則不發(fā)生反應(yīng)。顯影液提供的堿性條件則可引發(fā)耦合反應(yīng)。二疊氮化物經(jīng)紫外線曝光發(fā)生分解反應(yīng)，釋放出氮?dú)?，在顯影過程中無法再發(fā)生耦合反應(yīng)，而是形成容易被溶解的產(chǎn)物。很多常用的正光膠含有不同烷基的萘醌二疊氮化物，具有不同的粘性、溶解性和其他特性。該類疊氮化物在紫外線照射下分解并重排生成乙烯酮，在潮濕氣氛下進(jìn)一步轉(zhuǎn)化成羧基酸茚。在堿性溶液中顯影時(shí)，羧基酸茚被溶解，即曝光的光膠部分被溶解，而未被曝光的疊氮化物之間與共存的酚類化合物在堿性顯影液中發(fā)生耦合反應(yīng)，形成膠連的難溶物。通常原理可用圖3表示：圖3 正光膠的有關(guān)化學(xué)反應(yīng)。我們實(shí)驗(yàn)室常用的正光膠有AZ公司的一系列產(chǎn)品，如AZ50、AZ521AZ9260等。它們都有不同的特性，如AZ50的黏度比較大，可以用于制作厚膠模版（1060181。m厚）；AZ5214則為薄膠（13181。m），分辨率較高，作掩模的耐腐蝕性也很好。光刻標(biāo)定高度曲線圖(SU8 3000系列)光刻標(biāo)定相關(guān)數(shù)據(jù)（SU8 3005）膠型環(huán)境溫度環(huán)境濕度涂膠轉(zhuǎn)數(shù)前烘時(shí)間后烘時(shí)間光刻機(jī)光強(qiáng)曝光時(shí)間平均高度65℃95℃65℃95℃SU8 300523℃39%10〞500rpm1min4min1min3min20μw∕cm178。70sec30〞1000rpmSU8 300522℃22%10〞500rpm1min4min1min2min∕cm178。65sec8μm30〞1500rpmSU8 300524℃20%10〞500rpm1min4min1min2min∕cm178。60sec30〞2000rpmSU8 300524℃20%10〞500rpm1min3min1min2min∕cm178。55sec30〞2500rpmSU8 300522℃30%10〞500rpm1min3min1min2min20μw∕cm178。50sec30〞3000rpmSU8 300523℃26
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