【正文】 位置如下圖：多晶清洗備料單晶生長單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓檢測酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水②硅外延片生產(chǎn)工藝襯底面檢外延生長外延片檢測外延片清洗出廠包裝外延片面檢廢氣廢氣硅外延片生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：(3)主要生產(chǎn)設(shè)備①單晶硅晶錠生產(chǎn)主要生產(chǎn)設(shè)備如下：序號名稱數(shù)量單位序號名稱數(shù)量單位1單晶爐14臺6檢測儀器5臺2真空泵18臺7冷卻塔2組3割斷機3臺8高純水設(shè)備20t/h1套4滾圓機2臺5清洗機3臺②硅外延片生產(chǎn)主要設(shè)備其主要生產(chǎn)設(shè)備如下：序號名稱型號數(shù)量單位序號名稱型號數(shù)量單位1外延爐PE2061S6臺74PP測試儀1臺2CV測試儀1臺8清洗機1臺3SRP測試儀SSM20001臺9甩干機1臺4FTIP測試儀1臺10外延爐尾氣處理系統(tǒng)6臺5LTV測試儀1臺6顆粒度測試儀ADE CR81e1臺(4)主要原材料消耗①單晶硅晶錠生產(chǎn)主要原材料消耗如下：序號名稱用量序號名稱用量1多晶硅48t/a4鹽酸2硝酸5氫氧化鈉3氫氟酸其用水量為20t/d，其中：工藝用水70t/d；冷卻水補充300t/d；生活用水及其它用水30t/d。②硅外延片生產(chǎn)主要原料消耗如下：序號名稱年用量單位來 源1拋光片32萬片寧波立立半導體2石墨基座8只德國SGL3石英鐘罩2只意大利LPE4三氯氫硅200kg美國PRAXAIR，香港特氣公司5氫氧化鈉17460kg6氫氟酸600kg7硝酸2700kg8HCl175kg美國PRP9PH31kg美國PRAXAIR，香港特氣公司10B2H61kg美國PRAXAIR，香港特氣公司11N278840kg寧波MESSER陽光公司12包裝袋13500只根據(jù)現(xiàn)有企業(yè)實際情況，其生產(chǎn)用水8t/d，純水用量1t/d。(5)三廢處理及排放情況①廢氣酸性廢氣：清洗機、化腐機使用氫氟酸、硝酸，由于酸的揮發(fā)及與硅的反應(yīng)產(chǎn)生的酸性廢氣，其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進行，通過引風機引入廢氣洗滌吸收塔進行處理。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級)PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報告，本項目將采用意大利CIR公司進口的專用外延爐尾氣處理塔進行處理。②廢水切割、滾園研磨廢水：切割機、滾園研磨機在對硅片切割、研磨過程中，需采用純水進行沖洗，將產(chǎn)生含微量硅屑的研磨切割廢水，廢水量6m3/d。酸堿廢水：坩鍋清洗過程中將產(chǎn)生含硝酸、氫氟酸、氫氧化鈉的酸堿廢水，廢水排放量為1t/d。含HF、HNO3酸廢液：含HF、HNO3酸廢液主要來自坩鍋清洗工序，該廢液將排入新建回收槽由HF供應(yīng)單位回收處理。③ 噪聲噪聲主要來自于生產(chǎn)設(shè)備(包括純水制作設(shè)備)運行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～80dB之間；公用動力設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機房、真空機、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。冷卻水塔運行時產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間。④ 固體廢物根據(jù)本項目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：生產(chǎn)工序中使用的石墨基座廢料，其主要成份為廢石墨等，年產(chǎn)生量為30t/a；二、在建研發(fā)工程概況2004年根據(jù)發(fā)改辦高技[2004]1196號《國家發(fā)展改革委辦公廳關(guān)于開展2004年信息產(chǎn)業(yè)企業(yè)技術(shù)進步和產(chǎn)業(yè)升級專項可行性研究的通知》精神，寧波立立電子有限公司和寧波立立半導體有限公司分別在公司現(xiàn)有超凈廠房和完善的檢測設(shè)備及處理系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，將從國外引進先進的線切割機等機器設(shè)備，并與浙江大學硅材料國家重點實驗室合作，再結(jié)合公司已有的技術(shù)成果和多年的產(chǎn)業(yè)化成功經(jīng)驗，經(jīng)寧波市環(huán)境保護局審批建設(shè)8英寸拋光硅片技術(shù)改造和812英寸硅外延片生產(chǎn)的二個研發(fā)項目，目前上述二個項目正在建設(shè)之中，預計2006年底進行試生產(chǎn)，為了明確企業(yè)現(xiàn)有情況，本評價對在建項目說明如下：8英寸拋光硅片技術(shù)改造研發(fā)項目(1)項目概況該項目總投資6542萬元，主要進行8英寸拋光硅片的生產(chǎn)，項目建成后公司將生產(chǎn)8英寸拋光硅片10萬片/年。(2)生產(chǎn)工藝該項目主要從事拋光硅片的生產(chǎn)，主要將單晶硅錠在專用設(shè)備上進行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn)，加工成拋光硅片，控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量，使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。其生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：廢氣成品晶錠切片切片檢驗熱處理清洗倒角烘干革命檢驗拋光腐化研磨切割廢水酸性/堿性廢水研磨廢水包裝拋光片產(chǎn)品廢水(3)主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要新增生產(chǎn)設(shè)備如下表： 序號名稱型號數(shù)量單位備注1線切割機E400E122臺瑞士HTC2拋光機SPEEDFAM594臺日本SPEEDFAM3磨片機24B5L1臺日本SPEEDFAM4倒角機WGMW4200B1臺日本ACCRETECH5干燥機GENEX1日本SET6超聲清洗機SST2001日本SES7檢測設(shè)備：(1)表面顆粒測試儀CR821美國ADE(2)厚度分選儀ADE72001美國ADE(3)厚度分選儀ADE70001美國ADE(4)主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見下表。序號名稱年用量單位來 源1單晶硅8000kg寧波立立電子公司227英寸內(nèi)園刀片1800片南昌威金、美國NIFEC3倒角砂輪15片美國UCC、山東嘉詳碳素廠4研磨砂100kg美國MICRABRASIVE5行星片100片美國RODEL6冷卻液5t美國RODELNALCO7研磨液5t美國RODELNALCO8拋光液50t美國RODELNALCO9氫氧化鈉1200kg10鹽酸(MOS純)15000升江蘇江陰潤瑪、北京化試11NH4OH(MOS純)20000加侖江蘇江陰潤瑪、北京化試12H2O2(MOS純)20000加侖江蘇江陰潤瑪、北京化試13氫氟酸(MOS純)1850升江蘇江陰潤瑪、北京化試14硝酸(分析純)1120升江蘇江陰潤瑪、北京化試15硅片包裝盒80000只美國EMPAK16高純氣體Ar150升上海寶普17高純氣體N2400升上海寶普(5)三廢排放情況本項目主要在現(xiàn)有生產(chǎn)車間內(nèi)進行重新布局和增添相應(yīng)的8英寸生產(chǎn)設(shè)備，其污染源分析如下：①廢氣本項目腐化工序在現(xiàn)有生產(chǎn)車間通風柜內(nèi)進行，各通風柜均配置相應(yīng)的引風機、廢氣水洗吸收塔，從腐化工序所用原料來看，其廢氣主要為腐化工序產(chǎn)生的酸性/堿性廢氣，其主要成份為HF、HNONaOH等，目前，其廢氣排放量主要通過引風機，采用水洗吸收塔吸收處理后通過排氣筒排放。廢氣經(jīng)處理后在正常運行情況下可以達到GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》二級標準。②廢水本項目建成投產(chǎn)后，其新增工藝廢水如下：拋光廢水產(chǎn)生量3t/d，其廢水水質(zhì)：COD150mg/l，SS1000mg/l，；化腐、清洗廢水產(chǎn)生量3t/d，其廢水水質(zhì)：COD210mg/l，SS100mg/l，PH4～10；③噪聲噪聲主要來自于生產(chǎn)設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，其噪聲源強如下：切片機80dB、研磨機75dB、清洗機77dB、熱處理機62dB、空壓機80dB、純水制備70～80dB之間；公用動力設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機房、真空機、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。④固體廢物根據(jù)本項目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：化學腐蝕過程產(chǎn)生的腐化廢液，其主要成份為HNOHF等，；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。812英寸硅外延片生產(chǎn)研發(fā)項目概況(1)項目概況該項目總投資19435萬元，主要進行硅外延片的生產(chǎn)，項目建成后公司將生產(chǎn)8英寸硅外延片24萬片/年((折合6英寸P型/N型單層/)；同時開發(fā)12英寸硅外延片，形成小批量生產(chǎn)能力。(2)生產(chǎn)工藝本項目主要涉及第三步生產(chǎn)工藝，硅外延片生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：襯底面檢外延生長外延片檢測外延片清洗出廠包裝外延片面檢廢氣廢氣(3)主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要生產(chǎn)設(shè)備如下表：序號名稱型號數(shù)量單位序號名稱型號數(shù)量單位1外延爐HT20005臺74PP測試儀1臺HT30001臺8清洗機1臺2CV測試儀495CN1臺9激光打標機1臺3SRP測試儀SSM20001臺10甩干機1臺4FTIP測試儀1臺外延爐尾氣處理系統(tǒng)8NR206臺5LTV測試儀1臺6顆粒度測試儀ADE CR81e1臺(4)主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見下表。序號名稱年用量單位備 注18英寸襯底片24萬片立立電子提供2石墨基座6只德國SGL3石英鐘罩2只意大利LPE4三氯氫硅氣體147kg美國PRAXAIR，香港特氣公司5鹽酸(試劑級)2瓶(500ml/瓶)6氨水(試劑級)2瓶(500ml/瓶)7雙氧水(試劑級)85瓶(500ml/瓶)8HCl130kg美國PRP9PH31kg美國PRAXAIR，香港特氣公司10B2H61kg美國PRAXAIR，香港特氣公司11N259000m3寧波MESSER陽光公司12潔凈包裝袋10000只130柴油2128t定額用量266kg/h(5)三廢排放情況本項目主要為增設(shè)外延爐及其相關(guān)檢測設(shè)備，其污染源分