【正文】 磨廢水和硅片切割、拋光、研磨倒角廢水，其研磨切割過程中，需采用純水進行沖洗，將產生含微量硅屑的研磨切割廢水，廢水量191m3/d。 所用化學品物理化學性質a) 硝酸：硝酸是一種透明、無色或帶有黃色獨特的窒息性氣味的腐蝕性液體。皮膚接觸硝酸的部位呈褐黃色。儲庫外要備有消防龍頭和氧氣防毒面具，以應急救。b) 氫氟酸：性狀：氫氟酸是含氟化氫40%的水溶液，極易揮發(fā)，露置空氣中即冒白煙。來源及用途：由氟化鈣與硫酸作用制得。液堿散裝儲運。不可用酸性液體中和。在現有動力車間安裝隔聲、消音墻的基礎上，采用以下幾種方法：① 各種噪聲源在設計安裝時必須要有防震彈簧、防震墊等措施。固體廢物對環(huán)境的影響分析本項目工藝固體廢棄物主要為化腐廢液，化腐廢液可以由HF生產廠回收，廢水處理站污泥及生活垃圾經環(huán)衛(wèi)部門清理，對環(huán)境影響不大。本項目主要進行硅拋光片的生產，項目建成后公司將新增月產25萬片68英寸硅拋光片；產品可用于生產MOS、雙極型集成電路及集成電路外延襯底片等。 結論與建議本項目的實施有利于企業(yè)發(fā)展，項目正式實施，不會對周圍環(huán)境造成有危害的影響，因此是周圍環(huán)境可以接受的項目。預審意見： (公 章)經辦人(簽字) 年 月 日所在地政府意見： (公 章)經辦人(簽字) 年 月 日 下一級環(huán)境保護行政主管部門審查意見： (公 章) 經辦人(簽字)： 年 月 日審批意見 (公 章) 經辦人(簽字)： 年 月 日立立電子項目附圖1 建設項目地理位置圖（比例1:40000）附圖2 寧波立立電子股份有限公司項目廠區(qū)位置圖保稅區(qū)西區(qū)保稅區(qū)東區(qū)立立電子項目附圖2 廠區(qū)平面布置圖建設項目環(huán)境保護審批登記表填表單位(蓋章)：寧波市環(huán)境保護科學研究設計院 填表人(簽字)： 蔡錫明 項目經辦人(簽字)： 建設項目項目名稱68英寸硅拋光片擴產項目建設地點寧波保稅區(qū)東區(qū)建設內容及規(guī)模新增68英寸月產硅拋光片25萬片/年建設性質擴建行業(yè)類別C41環(huán)境保護管理類別報告表總投資(萬元)35000萬元環(huán)保投資(萬元)230萬元所占比例%立項部門寧波市發(fā)改委批準文號甬發(fā)改備[2005]58號立項時間2005年11月9日報告表審批部門寧波市環(huán)境保護局批準文號批準時間建設單位單位名稱寧波立立電子股份有限公司聯系電話86881150評 價單 位單位名稱寧波市環(huán)境保護科學研究設計院聯系電話86864929通訊地址寧波保稅區(qū)東區(qū)郵政編碼315800通訊地址寧波市廣仁街44號郵政編碼315010法人代表李立本聯系人樂永幸證書編號國環(huán)評證甲字第2004號評價經費萬元建設項目所處區(qū)域環(huán)境現狀環(huán)境質量等級環(huán)境空氣：二級 地表水： 地下水： 環(huán)境噪聲：三類 海水： Ⅲ類 土壤： 其它：環(huán)境敏感特征□飲用水水源保護區(qū) □自然保護區(qū) □風景名勝區(qū) □森林公園 □基本農田保護區(qū) □生態(tài)功能保護區(qū) □水土流失重點防治區(qū) □生態(tài)敏感與脆弱區(qū) □人口密集區(qū) □重點文物保護單位 □酸雨控制區(qū) □太湖 □三峽庫區(qū)污 染 物現有工程(已建+在建)本工程(擬建)總體工程(已建+在建+擬建) 區(qū)域平衡替代削減量實際排放濃度允許排放濃度實際排放總量核定排放總量預測排放濃度允許排放濃度產生量自身削減量預測排放總量核定排放總量“以新帶老”削減量預測排放總量核定排放總量排放增減量廢 水————————+ 化學需氧量* 150150+ 氨 氮*+ 石油類廢 氣————————+ 二氧化硫*0 煙 塵* 0 工業(yè)粉塵* 氮氧化物0工業(yè)固體廢物*————0————0特征污染物1HF+特征污染物2HNO3+特征污染物3注：*為“十五”期間國家實行排放總量控制的污染物 排放增減量：(+)表示增加，()表示減少計量單位：廢水排放量——萬噸/年；廢氣排放量——萬標立方米/年；工業(yè)固體廢物排放量——萬噸/年； 水污染物排放濃度——毫克/升；大氣污染物排放濃度——毫克/立方米；水污染物排放量——噸/年；大氣污染物排放量——噸/年酸洗水洗。⑷噪聲：本項目噪聲主要為各類設備運行噪聲，生產車間噪聲在70～85dB之間，經車間隔聲后，噪聲對周圍環(huán)境影響不大。對周圍環(huán)境影響不大。聲環(huán)境影響分析本項目噪聲主要為各類設備運行噪聲，根據生產車間實際監(jiān)測車間噪聲在70～85dB之間。因此，本項目固廢基本上能得到合理處置，不會對周圍環(huán)境產生較大影響。氫氧化鈉濺入眼內，可發(fā)生結膜炎、結膜水腫、結膜和角膜壞死，嚴重者可致失明。消防處理時用水、沙土撲救，但需防止物品遇水產生飛濺，造成灼傷。切忌接觸H發(fā)孔劑、氰化物、金屬粉末、堿類等，以防發(fā)生意外。眼或皮膚污染時立即用大量清水沖洗15分鐘以上。用耐酸地坪。硝酸能與多種物質如金屬粉末、電石、硫化氫、松節(jié)油等猛烈反應，發(fā)生爆炸，與可燃物、還原劑和有機物如木屑、棉花、稻草或廢紗頭等接觸，引起燃燒，并散發(fā)出劇毒的棕色煙霧。 固體廢物根據本項目生產工藝，其固體廢物產生情況如下：(1) 生產過程將產生廢多晶錠，其主要成份為廢單晶硅等，年產生量為23t/a；(2) 污水處理站混凝沉淀后產生污泥，根據廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為120t/a。年工作日330天左右，三班制運行。第二步：制作拋光片。評價適用標準環(huán)境質量標準 水環(huán)境納污海域執(zhí)行《海水水質標準》(GB30971997)第三類，主要參數為PH ～，DO＞4mg/L，SS(人為增加的量)≤100mg/L，COD≤4mg/L，BOD5≤4mg/L，石油類≤，活性磷酸鹽(以P計)≤。目前，區(qū)內已初步形成 計算機產業(yè)群、半導體光電產業(yè)群、精密機械產業(yè)群、留學生創(chuàng)業(yè)企業(yè)群軟件產業(yè)群和國際貿易、倉儲物流企業(yè)群，成為華東地區(qū)高科技產業(yè)發(fā)展的高地和重要的進出口物流集散地。冬季少雨干冷，春末夏初為梅雨季節(jié)，78月受太平洋副熱帶高壓控制，天氣晴熱少雨。主要環(huán)境問題該公司應加強廢氣處理裝置的運行管理，確保廢氣處理裝置意外事故的發(fā)生，影響周圍環(huán)境。企業(yè)建有250t/d處理能力廢水處理設施一套，生產廢水經中和、沉淀、生化處理后排入保稅東區(qū)污水管網，進入巖東污水處理廠。序號名稱年用量單位備 注18英寸襯底片24萬片立立電子提供2石墨基座6只德國SGL3石英鐘罩2只意大利LPE4三氯氫硅氣體147kg美國PRAXAIR，香港特氣公司5鹽酸(試劑級)2瓶(500ml/瓶)6氨水(試劑級)2瓶(500ml/瓶)7雙氧水(試劑級)85瓶(500ml/瓶)8HCl130kg美國PRP9PH31kg美國PRAXAIR，香港特氣公司10B2H61kg美國PRAXAIR，香港特氣公司11N259000m3寧波MESSER陽光公司12潔凈包裝袋10000只130柴油2128t定額用量266kg/h(5)三廢排放情況本項目主要為增設外延爐及其相關檢測設備，其污染源分析如下：①廢氣酸、堿性廢氣：酸、堿性廢氣主要來自外延片鐘罩機架清洗工序，清洗工序主要使用鹽酸、氨水、過氧化氫，由于鹽酸、氨氣的揮發(fā)產生的酸、堿性廢氣，其生產過程中集中在密閉槽子內進行，通過引風機引入廢氣洗滌吸收塔進行處理，其廢氣排放量為1000m3/h。(2)生產工藝該項目主要從事拋光硅片的生產，主要將單晶硅錠在專用設備上進行切片、磨片、拋光加工生產，加工成拋光硅片，控制其幾何尺寸和表面質量，使之能滿足外延片生產的要求。(5)三廢處理及排放情況①廢氣酸性廢氣：清洗機、化腐機使用氫氟酸、硝酸，由于酸的揮發(fā)及與硅的反應產生的酸性廢氣，其生產過程中集中在密閉槽子內進行，通過引風機引入廢氣洗滌吸收塔進行處理。②廢氣：廢氣主要為腐化工序產生的酸性廢氣，其主要成份為HF、HNO3，其廢氣排放量主要通過引風機，采用水洗吸收塔吸收處理后通過排氣筒排放。力爭在經過的2030年的努力成長為全球半導體材料一流的制造商