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6-8英寸硅拋光片擴產項目(完整版)

2025-08-05 13:02上一頁面

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【正文】 合排放標準》二級標準。酸堿廢水:坩鍋清洗過程中將產生含硝酸、氫氟酸、氫氧化鈉的酸堿廢水,廢水排放量為1t/d。寧波立立電子股份公司生產及污染情況(1)企業(yè)概況寧波立立電子股份有限公司系股份制企業(yè),主要股東是浙江大學半導體學科的專家和技術骨干,公司成立于2000年6月,主要經營范圍為硅單晶錠、硅單晶拋光片及外延片的制造及銷售。與本項目有關的原有污染情況及主要環(huán)境問題本項目相關企業(yè)主要有寧波立立半導體有限公司和寧波立立電子股份有限公司,上述二企業(yè)所有公用工程設施為共用,根據硅外延片生產工藝,硅外延片的生產一般可分三步:第一步是單晶硅晶錠的生產,是利用單晶爐將半導體級多晶硅在最高溫度達1700℃的熱場中熔化,然后通過籽晶生長在用戶所需的直徑和電學參數的單晶硅錠;第二步是將硅錠進行切、磨、拋加工,轉化成拋光片;第三步在拋光片基礎上,在特定的氣相反應爐內在硅片的正表面生長一層簿膜加工成外延片。立立電子從成立之初的年銷售不過500萬元、資產總額3000萬元,經過近五年來的發(fā)展成為注冊資本金達7108萬元,成為全國七家年產值超億元的硅材料生產企業(yè)之一。公司在技術上以浙江大學硅材料科學國家重點實驗室、浙江大學半導體材料研究所為依托。建設項目環(huán)境影響報告表項目名稱: 68英寸硅拋光片擴產項目 建設單位: 寧波立立電子股份有限公司  (蓋章)編制日期: 2006年2月 18日浙江省環(huán)境保護局制42 / 45環(huán)評文件確認書建設單位寧波立立電子股份有限公司項目名稱68英寸硅拋光片擴產項目項目地址寧波保稅東區(qū)港東大道20號投資額35000萬元法定代表人李立本聯系電話57486821903寧波市環(huán)保局:我公司委托寧波市環(huán)科院編制的“寧波立立電子股份有限公司68英寸硅拋光片擴產項目環(huán)境影響報告表”經我公司審核,同意該環(huán)評文件所述內容,并承諾做到如下環(huán)保措施: 廢氣治理:本項目主要為硅片化腐廢氣,通過集氣罩經引風機送入廢氣水洗塔處理后,可以達到《大氣污染物綜合排放標準》(GB162971996)二級排放標準。并擁有一批高素質的技術骨干,在全部512名員工中,本科以上學歷有114人,其中高級職稱20人,博士5人,碩士40人。目前是國內已建成的最大的46英寸重摻砷、磷、銻、硼單晶錠,硅拋光片、外延片的生產基地,生產能力年產單晶錠120噸、拋光片300萬片、外延片30萬片。其生產工藝流程分工如下:立立電子立立半導體多晶硅多晶硅檢驗備料晶體生長取樣、分析測試 晶錠分段滾園切片切片清洗檢驗石英坩堝制作參考面檢驗晶錠粘結磨片化腐背面處理倒角研磨硅片熱處理檢驗硅片邊沿拋光貼片硅片表面拋光拋光片清洗檢驗外延外延清洗檢驗拋光液最終產品質量檢驗包裝檢驗檢驗檢驗研磨砂立立電子立立半導體入庫根據生產分工情況,其二個企業(yè)目前主要包括已建工程、在建研發(fā)項目、公用工程概況及三廢排放情況如下:一、已建工程概況寧波立立半導體有限公司生產及污染情況(1)企業(yè)概況寧波立立半導體有限公司成立于1998年,主要從事單晶硅片的加工生產,由寧波立立電子股份有限公司全資控股。注冊資本金7108萬元,總占地面積90畝。含HF、HNO3酸廢液:含HF、HNO3酸廢液主要來自坩鍋清洗工序,該廢液將排入新建回收槽由HF供應單位回收處理。②廢水本項目建成投產后,其新增工藝廢水如下:拋光廢水產生量3t/d,其廢水水質:COD150mg/l,SS1000mg/l,;化腐、清洗廢水產生量3t/d,其廢水水質:COD210mg/l,SS100mg/l,PH4~10;③噪聲噪聲主要來自于生產設備運行產生的噪聲,其噪聲源強如下:切片機80dB、研磨機75dB、清洗機77dB、熱處理機62dB、空壓機80dB、純水制備70~80dB之間;公用動力設備運行產生的噪聲,包括空壓機房、真空機、水泵等,產生的噪聲在60~85dB之間;廢水、廢氣處理設備運行產生的噪聲,產生的噪聲在50~85dB之間。冷卻水塔運行時產生的噪聲,產生的噪聲在60~85dB之間。(4)壓縮空氣本項目二套20m3/min無油空氣壓縮機組。48′,北緯29176。社會環(huán)境簡況(社會經濟結構、教育、文化、文物保護等)寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)至今,已開發(fā)東區(qū)、西區(qū)、南區(qū)三部分,保稅區(qū)內設有電子信息園、國際軟件園、留學人員創(chuàng)業(yè)園、精密機械(汽配)園、物流分撥中心。水環(huán)境質量現狀近年來在北侖海域進行過多次海洋水質監(jiān)測,基本包括了整個北侖海域,歷年監(jiān)測統(tǒng)計結果見下表: 北侖海域水質監(jiān)測結果(單位:除PH外均為mg/l)項目范圍均值類別項目范圍均值類別PH~Ⅰ無機磷~ⅠDO~Ⅰ石油類~ⅡCODMn~ⅠCr0~Ⅰ無機氮~ⅣSS326~2640798從上述數據可知,本區(qū)域絕大多數水質指標如PH、DO、CODMn均保持在Ⅰ類海水標準范圍內。 廢氣排放標準鍋爐廢氣排放執(zhí)行GB132712001《鍋爐大氣污染物排放標準》二類區(qū)Ⅱ時段標準。其中單晶廠房占地面積2890m2,建筑面積2890m2,切磨廠房占地面積2716m2,拋光占地面積2752m2,建筑面積5101m2。(3)含HF、HNO3酸廢液含HF、HNO3酸廢液主要來自硅片化腐工序,該廢液將排入新建回收槽由HF供應單位回收處理。硝酸化學性質活潑,能與多種物質反應,它是一種強氧化劑,它可腐蝕各種金屬和材料(除鋁和特殊的鉻合金鋼)。人在低于12ppm(30mg/m3)左右時未見明顯的損害。搬運時要輕裝輕卸,防止撞擊、震動、斜倒。對金、鉑、鉛、石蠟及其某些塑料不起腐蝕作用,但對很多金屬都能發(fā)生腐蝕,并且能和硅化合物反應生成氣態(tài)的四氟化硅,因此不能用玻璃及陶瓷用容器。c) 氫氧化鈉:氫氧化鈉為固體狀,熔點318176。與酸類、鋁、錫、鉛、鋅及其合金、爆炸物、有機過氧化物、銨鹽及易燃物隔離儲運,操作人員必須穿戴防護用品。新建項目擬采取污染防治措施及預期治理效果 廢水治理,為適應企業(yè)發(fā)展,將對廢水處理裝置進行擴建,滿足生產發(fā)展需要,對現有廢水處理裝置進行擴建改造,廢水處理擴建工程投資80萬元,主要處理對象為:①研磨切割清洗工序廢水;②酸堿廢水;③廢氣處理廢水,擴建改造工藝流程如下:污泥酸堿廢水調節(jié)池初沉池二沉池污泥干化池Ca(OH)2PAC泥餅外運經污水管網至污水處理廠研磨廢水A/O生化處理混凝反應池污泥本項目其它廢水直接排入污水管網,污水主要為:①循環(huán)水塔廢水;②生活廢水(經化糞池處理后的廢水)。項目主要污染物產生及預計排放情況 內容類型排放源(編號)污染物名稱處理前產生濃度及產生量(單位)排放濃度及排放量(單位)大氣污染物硅片化腐HF、HNO3105m3/d;HF ≤HNO3 ≤105m3/d HF ≤HNO3 ≤;水污染物磨片工序SS COD廢水產生量:191t/d;SS 3000~400mg/l;CODcr 600~800mg/l廢水排放量:191t/d;SS ≤350mg/l;CODcr ≤400mg/l硅片化腐工序PHSS COD 廢水產生量:62t/d;PH 4~7SS 50~100mg/l;CODcr 100~200mg/l廢水排放量:62t/d;SS ≤350mg/l;CODcr ≤400mg/l廢氣處理工序PHSS COD 廢水產生量:;PH 4~7SS 50~100mg/l;CODcr 100~200mg/l廢水排放量:40t/d;SS ≤350mg/l;CODcr ≤400mg/l辦公、食堂等生活污水:COD產生量:CODcr 400mg/l污水排放量:COD≤150mg/l固體廢物生產車間廢多晶錠23t/a清洗后回用腐化工序化腐殘液生產廠回收廢水處理廢污泥120t/a環(huán)衛(wèi)部門清運辦公、餐廳等 辦公及生活垃圾10t/a環(huán)衛(wèi)部門清運噪聲設備運行噪聲,如機泵、引風機等,上述各噪聲源強在70~85dB之間。水污染物研磨清洗生產廢水PH、COD廢水經集水池、中和沉淀池、A/O生化處理后,排入保稅區(qū)市政污水管網后進入巖東污水處理廠。環(huán)境噪聲執(zhí)行GB3096~93《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標準》3類標準。(2) 做好施工期現有廢水、廢氣處理裝置的運行管理,減少本項目施工對現有生產裝置及環(huán)保裝置的影響。(3) 對噪聲較大的配套動力設備,應合理布局中,確保廠界噪聲達標。⑵廢水:根據企業(yè)現有生產廢水處理能力250t/d,實際處理量為210t/d,企業(yè)將擴建生產廢水處理裝置,使之達到500t/d處理能力,來滿足廢水處理的需要,生產廢水處理工藝按現有處理工藝,主要為中和、混凝沉淀、A/O生化處理后可以達到巖東污水處理廠進網標準,通過保稅區(qū)污水管網系統(tǒng)排入巖東污水處理,再經巖東污水處理廠二級生化處理后排海,對附近海水環(huán)境影響不大。廢氣處理酸堿廢水PH、COD辦公等生活污水COD經化糞池處理后排入保稅區(qū)市政污水管網后進入巖東污水處理廠。營運期環(huán)境影響分析環(huán)境空氣影響分析本項目化腐過程產生的酸性、堿性廢氣,經廢氣吸收塔處理后,可以達到GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》,廢氣排放對周圍環(huán)境不會造成多大影響。廢渣處理本項目腐化過程產生的廢液,由生產廠進行回收。掃起,慢慢倒至大量水中,地面用水沖洗,~。氫氧化鈉可溶于水、乙醇和甘油。滅火劑:霧狀水,泡沫。發(fā)生硝酸泄漏后進行處理前必須戴好防毒面具和手套。大鼠吸入LC5049ppm/4小時。,176。 噪聲噪聲主要來自于生產設備(包括純水制作設備)運行產生的噪聲,產生的噪聲在50~80dB之間;公用動力設備運行產生的噪聲,包括空壓機房、真空機、水泵等,產生的噪聲在60~85dB之間;廢水、廢氣處理設備運行產生的噪聲,產生的噪聲在50~85dB之間。 公用工程本項目可以利用現有供電、壓縮空氣、供水、排水等設施,公用工程主要增加KFT2000RT冷卻水塔1臺,循環(huán)水量1400m3/h??偭靠刂浦笜?建設項目工程分析工藝流程簡述(圖標) 工藝流程硅拋光片的生產工藝一般可分二步:第一步:生產單晶硅晶錠。聲學環(huán)境質量現狀對保稅區(qū)東區(qū)環(huán)境噪聲進行監(jiān)測,;;聲環(huán)境現狀滿足工業(yè)區(qū)要求的三級標準。引進高科技項目131個。北侖地區(qū)地形呈狹長不規(guī)則三角形,西北為濱海水網平原,東南
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