【正文】 設(shè)防震基礎(chǔ)或減震墊，確保廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。 廢水治理：本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水可以接入生產(chǎn)廢水處理設(shè)施，經(jīng)調(diào)節(jié)中和、混凝沉淀、A/O生化處理后可以達(dá)到巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)，通過保稅區(qū)污水管網(wǎng)系統(tǒng)排入巖東污水處理，再經(jīng)巖東污水處理廠二級(jí)生化處理后排海。 寧波立立電子股份有限公司(蓋章)法定代表人(簽字)：　　　　　　2006年　　月　　日備注項(xiàng)目名稱： 68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目環(huán)評(píng)類型：環(huán)境影響報(bào)告表評(píng)價(jià)單位： 寧波市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究設(shè)計(jì)院 (公章)項(xiàng)目名稱： 68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目 環(huán)評(píng)類型： 環(huán)境影響報(bào)告表 項(xiàng)目編號(hào)： 20060117 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人： 蔡錫明 評(píng)價(jià)人員情況姓 名從事專業(yè)職稱上崗證號(hào)職責(zé)簽名蔡錫明環(huán)境工程高 工環(huán)評(píng)崗證字第A20040026號(hào)填表趙永才環(huán)境工程高 工環(huán)評(píng)崗證字第A20040018號(hào)審核建設(shè)項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目名稱68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)單位寧波立立電子股份有限公司法人代表李立本聯(lián)系人樂永幸通訊地址寧波保稅東區(qū)港東大道20號(hào)聯(lián)系電話86881150傳真86881152郵編315800建設(shè)地點(diǎn)寧波保稅東區(qū)港東大道20號(hào)立項(xiàng)審批部門寧波市發(fā)改委批準(zhǔn)文號(hào)甬發(fā)改備[2005]58號(hào)建設(shè)性質(zhì)新建 改擴(kuò)建√技改 行業(yè)類別及代碼C41占地面積㎡綠化面積8276㎡總投資35000(萬元)其中：環(huán)保投資230萬元環(huán)保投資占總投資比例%評(píng)價(jià)經(jīng)費(fèi) 萬元預(yù)期投產(chǎn)日期2006年1月工程內(nèi)容及規(guī)模 項(xiàng)目背景寧波立立電子股份有限公司(以下簡稱“立立電子”)系由浙江大學(xué)半導(dǎo)體學(xué)科相關(guān)的技術(shù)和管理人員共同組建的股份制企業(yè)，于2000年6月21日在寧波保稅區(qū)注冊(cè)成立。公司擁有十多項(xiàng)核心技術(shù)發(fā)明專利，獨(dú)創(chuàng)了酸腐蝕工藝、有蠟貼片工藝、多層外延片工藝。目前，立立電子已成為中國唯一擁有硅單晶錠、拋光片、外延片、芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)。產(chǎn)品已提供給國內(nèi)外一批晶圓廠商，如上海先進(jìn)、上海新進(jìn)、上海貝嶺、杭州士蘭、無錫華晶、美國Fairchild、美國IR、美國TI、日本NEC。根據(jù)我國半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)和半導(dǎo)體材料市場(chǎng)發(fā)展需要，寧波立立電子股份有限公司在公司現(xiàn)有廠房和完善的檢測(cè)設(shè)備及處理系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，擴(kuò)大 68英寸硅拋光片的生產(chǎn)，根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》和《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》，為了切實(shí)做好環(huán)保工作，寧波立立電子股份有限公司委托寧波市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究設(shè)計(jì)院對(duì)該本項(xiàng)目進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作。其年生產(chǎn)能力為單晶硅拋光片300萬片，注冊(cè)資本5000萬元，職工定員175人?，F(xiàn)有5套廢氣處理裝置。建筑面積20937m2，職工定員165人，公司是目前國內(nèi)已建成最大的46英寸重?fù)缴?、磷、硼、銻單晶錠、46英寸硅外延片生產(chǎn)基地；生產(chǎn)廠房面積30000m2，其中凈化面積3300m2，廠房按國際一流的生產(chǎn)要求設(shè)計(jì)，一期工程于2000年10月正式投產(chǎn)，二期工程用于硅晶體生長于2001年3月投入試生產(chǎn)，三期外延廠房于2003年12月竣工。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級(jí))PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報(bào)告，本項(xiàng)目將采用意大利CIR公司進(jìn)口的專用外延爐尾氣處理塔進(jìn)行處理。③ 噪聲噪聲主要來自于生產(chǎn)設(shè)備(包括純水制作設(shè)備)運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～80dB之間；公用動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機(jī)房、真空機(jī)、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。其生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：廢氣成品晶錠切片切片檢驗(yàn)熱處理清洗倒角烘干革命檢驗(yàn)拋光腐化研磨切割廢水酸性/堿性廢水研磨廢水包裝拋光片產(chǎn)品廢水(3)主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要新增生產(chǎn)設(shè)備如下表： 序號(hào)名稱型號(hào)數(shù)量單位備注1線切割機(jī)E400E122臺(tái)瑞士HTC2拋光機(jī)SPEEDFAM594臺(tái)日本SPEEDFAM3磨片機(jī)24B5L1臺(tái)日本SPEEDFAM4倒角機(jī)WGMW4200B1臺(tái)日本ACCRETECH5干燥機(jī)GENEX1日本SET6超聲清洗機(jī)SST2001日本SES7檢測(cè)設(shè)備：(1)表面顆粒測(cè)試儀CR821美國ADE(2)厚度分選儀ADE72001美國ADE(3)厚度分選儀ADE70001美國ADE(4)主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見下表。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：化學(xué)腐蝕過程產(chǎn)生的腐化廢液，其主要成份為HNOHF等，；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級(jí))PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報(bào)告，本項(xiàng)目將采用意大利CIR公司進(jìn)口的專用外延爐尾氣處理塔進(jìn)行處理。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：生產(chǎn)工序中使用的石墨基座廢料，其主要成份為廢石墨等，年產(chǎn)生量為30t/a；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。(2)供熱由于目前保稅區(qū)東區(qū)內(nèi)沒有集中供熱，為了控制潔凈廠房的溫度和濕度，本項(xiàng)目設(shè)立燃油蒸氣鍋爐一臺(tái)，采用0柴油作為燃料，其用量226kg/h，鍋爐工作時(shí)間以每天24小時(shí)計(jì)，年耗燃油量約2128t/a。(5)職工人數(shù)、生產(chǎn)制度全公司現(xiàn)有員工及管理人員數(shù)為200人。建設(shè)項(xiàng)目所在地自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡況自然環(huán)境簡況(地形、地貌、地質(zhì)、氣候、氣象、水文、植被、生物多樣性等) 地理位置項(xiàng)目位于寧波保稅區(qū)東區(qū)0125地塊，港東大道20號(hào)。58′。由于地處沿海，受海陸風(fēng)影響比較明顯，夏秋季節(jié)受太平洋臺(tái)風(fēng)影響，伴有大風(fēng)和暴雨。寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)到目前為止，已有近40個(gè)國家和地區(qū)的投資者在區(qū)內(nèi)設(shè)立企業(yè)4000多家，注冊(cè)資金達(dá)230億元，其中外商投資企業(yè)684家，總投資26億美元。(2)巖東污水處理廠概況開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠設(shè)計(jì)規(guī)模24萬噸/日，一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入運(yùn)行，其處理工藝為二級(jí)氧化溝好氧生化處理工藝，廢水經(jīng)處理達(dá)到城鎮(zhèn)污水處理廠二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后排海，并通過排海管進(jìn)行深海排放。污染物中石油類濃度較高，與該水域海上交通繁忙，油庫較多，排入含油污水量大有關(guān)。 環(huán)境空氣根據(jù)《寧波市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分》，本區(qū)域?qū)俣悈^(qū)，執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，詳見下表。 鍋爐類別適用區(qū)域煙塵(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)煙囪高度(m)燃油鍋爐二類區(qū)1005004008工藝廢氣執(zhí)行GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，其主要指標(biāo)如下表：序號(hào)污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率，kg/h無組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒高度m二級(jí)1氮氧化物24015202氟化氫152020(μg//m3) 噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行GB1234890《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，即晝間65dB，夜間55dB。將單晶硅錠在專用設(shè)備上進(jìn)行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn)，加工成拋光片，控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量，使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。變電站占地面積612 m2，建筑面積612 m2 氫氣站726m2，建筑面積726m2 詳見附圖3。主要污染工序根據(jù)工程分析，本項(xiàng)目建設(shè)投產(chǎn)后寧波立立電子股份有限公司(含寧波立立半導(dǎo)體有限公司)將形成從多晶硅―單晶硅錠―拋光片―外延片產(chǎn)業(yè)鏈中硅拋光片的生產(chǎn)能力，本項(xiàng)目主要為增設(shè)多晶硅―單晶硅錠―拋光片的生產(chǎn)設(shè)備，其污染源分析如下： 廢氣本項(xiàng)目廢氣主要為清洗機(jī)、化腐機(jī)使用氫氟酸、硝酸，由于酸的揮發(fā)及與硅的反應(yīng)產(chǎn)生的酸性廢氣，其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進(jìn)行，通過引風(fēng)機(jī)引入廢氣洗滌吸收塔進(jìn)行處理。 (4)生活污水：根據(jù)新增職工人數(shù)，其水質(zhì)如下：PH6～9；CODcr400mg/l；SS200mg/l；BOD5 250mg/l。(3) 企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為10t/a。濃硝酸在長期儲(chǔ)存后(尤其是在光線照射下)，會(huì)分解釋出二氧化氮。硝酸液及硝酸蒸氣對(duì)皮膚和粘膜有強(qiáng)刺激和腐蝕作用，皮膚或眼接觸硝酸液可引起灼傷。吸入可引起肺炎。大量存儲(chǔ)地要有圍墻或門欄，以防萬一漏出時(shí)向外擴(kuò)散，并備有中和劑。硝酸是揮發(fā)性酸，不宜久儲(chǔ)。一旦泄漏立即用水沖洗，如大量溢出，則工作人員均要撤離儲(chǔ)庫，用水或碳酸鈉中和硝酸，～。危險(xiǎn)特性：在高溫下極易揮發(fā)出劇毒氣體，很易引起人畜中毒。驗(yàn)收時(shí)核對(duì)品名，搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸。從空氣中迅速吸收水分的同時(shí)，也迅速吸收二氧化碳。固堿可裝入鋼桶中嚴(yán)封，塑料袋、編織袋外成組包裝；或塑料瓶外木箱，儲(chǔ)存于干燥的地方，防止受潮。處理氫氧化鈉泄漏需穿戴防護(hù)眼鏡與手套。氫氧化鈉對(duì)皮膚污染可用清水徹底沖洗，濺入眼內(nèi)時(shí)，迅速用大量清水沖洗。廢氣治理措施本項(xiàng)目所產(chǎn)生的酸性、堿性廢氣，經(jīng)過引風(fēng)機(jī)后，經(jīng)噴淋吸裝置處理后達(dá)到GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》后通過排氣通排放。 噪聲污染源治理對(duì)本項(xiàng)目空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)、空壓機(jī)組、各類水泵、污水泵等處，產(chǎn)生的噪聲較大。其它 主要生態(tài)影響(不夠時(shí)可附另頁)環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響簡要分析本項(xiàng)目布置在現(xiàn)有生產(chǎn)廠房內(nèi)，生產(chǎn)廠房施工過程在其現(xiàn)有工程中已經(jīng)完成，本項(xiàng)目的建設(shè)只作生產(chǎn)廠房的局部調(diào)整，施工期環(huán)境影響不大。根據(jù)企業(yè)目前所處位置，其廠界可以做到達(dá)標(biāo)，對(duì)周圍影響不大。廢水經(jīng)處理后可以達(dá)到巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。其它生態(tài)保護(hù)措施及預(yù)期效果結(jié)論與建議 寧波立立電子股份有限公司是由浙江大學(xué)大半導(dǎo)體學(xué)科相關(guān)的高級(jí)技術(shù)和管理人員發(fā)起設(shè)立的股份制企業(yè)，主要從事單晶硅錠、單晶硅片及拋光片、外延片等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售。 污染源控制及環(huán)境影響分析⑴廢氣：主要為硅片化腐廢氣，通過集氣罩經(jīng)引風(fēng)機(jī)送入廢氣水洗塔處理后，可以達(dá)到GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)周圍環(huán)境影響較小。 生態(tài)影響分析本項(xiàng)目在保稅區(qū)內(nèi)，屬工業(yè)用地，對(duì)周圍生態(tài)環(huán)境的影響在允許范圍內(nèi)。擴(kuò)建現(xiàn)有廢水處理設(shè)施，確保廢水