【正文】 為低山丘陵區(qū)，區(qū)內(nèi)河流池塘交錯密布，地勢向海岸方向略有傾斜，%，略低于高潮海水水面。年工作日330天左右，三班制運行。企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為36t/a。812英寸硅外延片生產(chǎn)研發(fā)項目概況(1)項目概況該項目總投資19435萬元，主要進(jìn)行硅外延片的生產(chǎn)，項目建成后公司將生產(chǎn)8英寸硅外延片24萬片/年((折合6英寸P型/N型單層/)；同時開發(fā)12英寸硅外延片，形成小批量生產(chǎn)能力。冷卻水塔運行時產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間。(2)生產(chǎn)工藝①單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：多晶清洗備料單晶生長單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓檢測酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水②硅外延片生產(chǎn)工藝襯底面檢外延生長外延片檢測外延片清洗出廠包裝外延片面檢廢氣廢氣硅外延片生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：(3)主要生產(chǎn)設(shè)備①單晶硅晶錠生產(chǎn)主要生產(chǎn)設(shè)備如下：序號名稱數(shù)量單位序號名稱數(shù)量單位1單晶爐14臺6檢測儀器5臺2真空泵18臺7冷卻塔2組3割斷機(jī)3臺8高純水設(shè)備20t/h1套4滾圓機(jī)2臺5清洗機(jī)3臺②硅外延片生產(chǎn)主要設(shè)備其主要生產(chǎn)設(shè)備如下：序號名稱型號數(shù)量單位序號名稱型號數(shù)量單位1外延爐PE2061S6臺74PP測試儀1臺2CV測試儀1臺8清洗機(jī)1臺3SRP測試儀SSM20001臺9甩干機(jī)1臺4FTIP測試儀1臺10外延爐尾氣處理系統(tǒng)6臺5LTV測試儀1臺6顆粒度測試儀ADE CR81e1臺(4)主要原材料消耗①單晶硅晶錠生產(chǎn)主要原材料消耗如下：序號名稱用量序號名稱用量1多晶硅48t/a4鹽酸2硝酸5氫氧化鈉3氫氟酸其用水量為20t/d，其中：工藝用水70t/d；冷卻水補(bǔ)充300t/d；生活用水及其它用水30t/d。(2)生產(chǎn)工藝其生產(chǎn)工藝及排污位置如下：成品晶錠切片切片檢驗熱處理清洗倒角烘干革命檢驗拋光腐化研磨切割廢水堿性廢水研磨廢水廢氣包裝拋光片產(chǎn)品外延外延清洗檢驗檢驗硅外延片產(chǎn)品廢氣廢水廢水(3)主要設(shè)備其主要生產(chǎn)設(shè)備如下：序號名稱數(shù)量單位序號名稱數(shù)量單位127英寸切片機(jī)31臺6硅片干燥機(jī)8臺216英寸切片機(jī)5臺7自動硅片熱處理爐6臺3磨片機(jī)12臺8高純水設(shè)備30t/h1套4倒角機(jī)15臺高純水設(shè)備12t/h1套5硅片清洗機(jī)22臺9壓縮空氣系統(tǒng)20m3/h7套(4)主要原材料消耗主要原材料消耗量如下：序號名稱用量序號名稱用量1單晶硅100t/a6行星片500片/a227英寸內(nèi)園刀片100片/a7冷卻液40t/a316英寸內(nèi)園刀片2000片/a8研磨液10t/a4倒角砂輪120片/a9硅片包裝盒20000個/a5研磨砂100t/a根據(jù)現(xiàn)有企業(yè)實際情況，其生產(chǎn)用水45t/d，純水用量146t/d。 并與國際著名的ST公司和美國ONSEMI公司建立了良好的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，市場可以得到保障。公司占地面積5萬平方米，均按國際一流的生產(chǎn)要求設(shè)計。 噪聲治理：本項目噪聲主要為各類設(shè)備運行噪聲，生產(chǎn)車間噪聲在70～85dB之間，對有振動設(shè)備均應(yīng)設(shè)防震基礎(chǔ)或減震墊，確保廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。 寧波立立電子股份有限公司(蓋章)法定代表人(簽字)：　　　　　　2006年　　月　　日備注項目名稱： 68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項目環(huán)評類型：環(huán)境影響報告表評價單位： 寧波市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究設(shè)計院 (公章)項目名稱： 68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項目 環(huán)評類型： 環(huán)境影響報告表 項目編號： 20060117 項目負(fù)責(zé)人： 蔡錫明 評價人員情況姓 名從事專業(yè)職稱上崗證號職責(zé)簽名蔡錫明環(huán)境工程高 工環(huán)評崗證字第A20040026號填表趙永才環(huán)境工程高 工環(huán)評崗證字第A20040018號審核建設(shè)項目基本情況項目名稱68英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項目建設(shè)單位寧波立立電子股份有限公司法人代表李立本聯(lián)系人樂永幸通訊地址寧波保稅東區(qū)港東大道20號聯(lián)系電話86881150傳真86881152郵編315800建設(shè)地點寧波保稅東區(qū)港東大道20號立項審批部門寧波市發(fā)改委批準(zhǔn)文號甬發(fā)改備[2005]58號建設(shè)性質(zhì)新建 改擴(kuò)建√技改 行業(yè)類別及代碼C41占地面積㎡綠化面積8276㎡總投資35000(萬元)其中：環(huán)保投資230萬元環(huán)保投資占總投資比例%評價經(jīng)費 萬元預(yù)期投產(chǎn)日期2006年1月工程內(nèi)容及規(guī)模 項目背景寧波立立電子股份有限公司(以下簡稱“立立電子”)系由浙江大學(xué)半導(dǎo)體學(xué)科相關(guān)的技術(shù)和管理人員共同組建的股份制企業(yè)，于2000年6月21日在寧波保稅區(qū)注冊成立。目前，立立電子已成為中國唯一擁有硅單晶錠、拋光片、外延片、芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)。根據(jù)我國半導(dǎo)體集成電路市場和半導(dǎo)體材料市場發(fā)展需要，寧波立立電子股份有限公司在公司現(xiàn)有廠房和完善的檢測設(shè)備及處理系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，擴(kuò)大 68英寸硅拋光片的生產(chǎn)，根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》和《建設(shè)項目環(huán)境保護(hù)管理條例》，為了切實做好環(huán)保工作，寧波立立電子股份有限公司委托寧波市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究設(shè)計院對該本項目進(jìn)行環(huán)境影響評價工作?，F(xiàn)有5套廢氣處理裝置。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級)PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報告，本項目將采用意大利CIR公司進(jìn)口的專用外延爐尾氣處理塔進(jìn)行處理。其生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：廢氣成品晶錠切片切片檢驗熱處理清洗倒角烘干革命檢驗拋光腐化研磨切割廢水酸性/堿性廢水研磨廢水包裝拋光片產(chǎn)品廢水(3)主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要新增生產(chǎn)設(shè)備如下表： 序號名稱型號數(shù)量單位備注1線切割機(jī)E400E122臺瑞士HTC2拋光機(jī)SPEEDFAM594臺日本SPEEDFAM3磨片機(jī)24B5L1臺日本SPEEDFAM4倒角機(jī)WGMW4200B1臺日本ACCRETECH5干燥機(jī)GENEX1日本SET6超聲清洗機(jī)SST2001日本SES7檢測設(shè)備：(1)表面顆粒測試儀CR821美國ADE(2)厚度分選儀ADE72001美國ADE(3)厚度分選儀ADE70001美國ADE(4)主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見下表。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級)PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報告，本項目將采用意大利CIR公司進(jìn)口的專用外延爐尾氣處理塔進(jìn)行處理。(2)供熱由于目前保稅區(qū)東區(qū)內(nèi)沒有集中供熱，為了控制潔凈廠房的溫度和濕度，本項目設(shè)立燃油蒸氣鍋爐一臺，采用0柴油作為燃料，其用量226kg/h，鍋爐工作時間以每天24小時計，年耗燃油量約2128t/a。建設(shè)項目所在地自然環(huán)境社會環(huán)境簡況自然環(huán)境簡況(地形、地貌、地質(zhì)、氣候、氣象、水文、植被、生物多樣性等) 地理位置項目位于寧波保稅區(qū)東區(qū)0125地塊，港東大道20號。由于地處沿海，受海陸風(fēng)影響比較明顯，夏秋季節(jié)受太平洋臺風(fēng)影響，伴有大風(fēng)和暴雨。(2)巖東污水處理廠概況開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠設(shè)計規(guī)模24萬噸/日，一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入運行，其處理工藝為二級氧化溝好氧生化處理工藝，廢水經(jīng)處理達(dá)到城鎮(zhèn)污水處理廠二級標(biāo)準(zhǔn)后排海，并通過排海管進(jìn)行深海排放。 環(huán)境空氣根據(jù)《寧波市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分》，本區(qū)域?qū)俣悈^(qū)，執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)中的二級標(biāo)準(zhǔn)，詳見下表。將單晶硅錠在專用設(shè)備上進(jìn)行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn)，加工成拋光片，控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量，使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。主要污染工序根據(jù)工程分析，本項目建設(shè)投產(chǎn)后寧波立立電子股份有限公司(含寧波立立半導(dǎo)體有限公司)將形成從多晶硅―單晶硅錠―拋光片―外延片產(chǎn)業(yè)鏈中硅拋光片的生產(chǎn)能力，本項目主要為增設(shè)多晶硅―單晶硅錠―拋光片的生產(chǎn)設(shè)備，其污染源分析如下： 廢氣本項目廢氣主要為清洗機(jī)、化腐機(jī)使用氫氟酸、硝酸，由于酸的揮發(fā)及與硅的反應(yīng)產(chǎn)生的酸性廢氣，其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進(jìn)行，通過引風(fēng)機(jī)引入廢氣洗滌吸收塔進(jìn)行處理。(3) 企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為10t/a。硝酸液及硝酸蒸氣對皮膚和粘膜有強(qiáng)刺激和腐蝕作用，皮膚或眼接觸硝酸液可引起灼傷。大量存儲地要有圍墻或門欄，以防萬一漏出時向外擴(kuò)散，并備有中和劑。一旦泄漏立即用水沖洗，如大量溢出，則工作人員均要撤離儲庫，用水或碳酸鈉中和硝酸，～。驗收時核對品名，搬運時輕裝輕卸。固堿可裝入鋼桶中嚴(yán)封，塑料袋、編織袋外成組包裝；或塑料瓶外木箱，儲存于干燥的地方，防止受潮。氫氧化鈉對皮膚污染可用清水徹底沖洗，濺入眼內(nèi)時，迅速用大量清水沖洗。 噪聲污染源治理對本項目空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)、空壓機(jī)組、各類水泵、污水泵等處，產(chǎn)生的噪聲較大。根據(jù)企業(yè)目前所處位置，其廠界可以做到達(dá)標(biāo)，對周圍影響不大。其它生態(tài)保護(hù)措施及預(yù)期效果結(jié)論與建議 寧波立立電子股份有限公司是由浙江大學(xué)大半導(dǎo)體學(xué)科相關(guān)的高級技術(shù)和管理人員發(fā)起設(shè)立的股份制企業(yè)，主要從事單晶硅錠、單晶硅片及拋光片、外延片等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售。 生態(tài)影響分析本項目在保稅區(qū)內(nèi)，屬工業(yè)用地，對周圍生態(tài)環(huán)境的影響在允