【正文】 擴(kuò)建現(xiàn)有廢水處理設(shè)施，確保廢水達(dá)標(biāo)排放。 污染源控制及環(huán)境影響分析⑴廢氣：主要為硅片化腐廢氣，通過(guò)集氣罩經(jīng)引風(fēng)機(jī)送入廢氣水洗塔處理后，可以達(dá)到GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)周圍環(huán)境影響較小。廢水經(jīng)處理后可以達(dá)到巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。其它 主要生態(tài)影響(不夠時(shí)可附另頁(yè))環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響簡(jiǎn)要分析本項(xiàng)目布置在現(xiàn)有生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)，生產(chǎn)廠房施工過(guò)程在其現(xiàn)有工程中已經(jīng)完成，本項(xiàng)目的建設(shè)只作生產(chǎn)廠房的局部調(diào)整，施工期環(huán)境影響不大。廢氣治理措施本項(xiàng)目所產(chǎn)生的酸性、堿性廢氣，經(jīng)過(guò)引風(fēng)機(jī)后，經(jīng)噴淋吸裝置處理后達(dá)到GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》后通過(guò)排氣通排放。處理氫氧化鈉泄漏需穿戴防護(hù)眼鏡與手套。從空氣中迅速吸收水分的同時(shí)，也迅速吸收二氧化碳。危險(xiǎn)特性：在高溫下極易揮發(fā)出劇毒氣體，很易引起人畜中毒。硝酸是揮發(fā)性酸，不宜久儲(chǔ)。吸入可引起肺炎。濃硝酸在長(zhǎng)期儲(chǔ)存后(尤其是在光線照射下)，會(huì)分解釋出二氧化氮。 (4)生活污水：根據(jù)新增職工人數(shù)，其水質(zhì)如下：PH6～9；CODcr400mg/l；SS200mg/l；BOD5 250mg/l。變電站占地面積612 m2，建筑面積612 m2 氫氣站726m2，建筑面積726m2 詳見(jiàn)附圖3。 鍋爐類別適用區(qū)域煙塵(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)煙囪高度(m)燃油鍋爐二類區(qū)1005004008工藝廢氣執(zhí)行GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，其主要指標(biāo)如下表：序號(hào)污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率，kg/h無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒高度m二級(jí)1氮氧化物24015202氟化氫152020(μg//m3) 噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行GB1234890《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，即晝間65dB，夜間55dB。污染物中石油類濃度較高，與該水域海上交通繁忙，油庫(kù)較多，排入含油污水量大有關(guān)。寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)到目前為止，已有近40個(gè)國(guó)家和地區(qū)的投資者在區(qū)內(nèi)設(shè)立企業(yè)4000多家，注冊(cè)資金達(dá)230億元，其中外商投資企業(yè)684家，總投資26億美元。58′。(5)職工人數(shù)、生產(chǎn)制度全公司現(xiàn)有員工及管理人員數(shù)為200人。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：生產(chǎn)工序中使用的石墨基座廢料，其主要成份為廢石墨等，年產(chǎn)生量為30t/a；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：化學(xué)腐蝕過(guò)程產(chǎn)生的腐化廢液，其主要成份為HNOHF等，；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。③ 噪聲噪聲主要來(lái)自于生產(chǎn)設(shè)備(包括純水制作設(shè)備)運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～80dB之間；公用動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機(jī)房、真空機(jī)、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。建筑面積20937m2，職工定員165人，公司是目前國(guó)內(nèi)已建成最大的46英寸重?fù)缴?、磷、硼、銻單晶錠、46英寸硅外延片生產(chǎn)基地；生產(chǎn)廠房面積30000m2，其中凈化面積3300m2，廠房按國(guó)際一流的生產(chǎn)要求設(shè)計(jì)，一期工程于2000年10月正式投產(chǎn)，二期工程用于硅晶體生長(zhǎng)于2001年3月投入試生產(chǎn)，三期外延廠房于2003年12月竣工。其年生產(chǎn)能力為單晶硅拋光片300萬(wàn)片，注冊(cè)資本5000萬(wàn)元，職工定員175人。產(chǎn)品已提供給國(guó)內(nèi)外一批晶圓廠商，如上海先進(jìn)、上海新進(jìn)、上海貝嶺、杭州士蘭、無(wú)錫華晶、美國(guó)Fairchild、美國(guó)IR、美國(guó)TI、日本NEC。公司擁有十多項(xiàng)核心技術(shù)發(fā)明專利，獨(dú)創(chuàng)了酸腐蝕工藝、有蠟貼片工藝、多層外延片工藝。 廢水治理：本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水可以接入生產(chǎn)廢水處理設(shè)施，經(jīng)調(diào)節(jié)中和、混凝沉淀、A/O生化處理后可以達(dá)到巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)保稅區(qū)污水管網(wǎng)系統(tǒng)排入巖東污水處理，再經(jīng)巖東污水處理廠二級(jí)生化處理后排海。五年來(lái)，通過(guò)貫徹“立信、立德、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的理念，遵循著“追求純凈完美，滿足顧客期望”的宗旨，致力于重?fù)较盗泄鑶尉уV、硅拋光片、外延片及復(fù)合半導(dǎo)體材料的研制。擁有三家控股子公司寧波立立半導(dǎo)體有限公司、杭州立昂電子有限公司和杭州立立科技實(shí)業(yè)有限公司。 生產(chǎn)內(nèi)容及規(guī)模根據(jù)項(xiàng)目可行性報(bào)告，本項(xiàng)目主要進(jìn)行硅拋光片的生產(chǎn)，項(xiàng)目建成后公司將新增月產(chǎn)25萬(wàn)片68英寸硅拋光片；產(chǎn)品可用于生產(chǎn)MOS、雙極型集成電路及集成電路外延襯底片等。廢氣經(jīng)處理后正常運(yùn)行情況下可以達(dá)到GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》。②廢水切割、滾園研磨廢水：切割機(jī)、滾園研磨機(jī)在對(duì)硅片切割、研磨過(guò)程中，需采用純水進(jìn)行沖洗，將產(chǎn)生含微量硅屑的研磨切割廢水，廢水量6m3/d。序號(hào)名稱年用量單位來(lái) 源1單晶硅8000kg寧波立立電子公司227英寸內(nèi)園刀片1800片南昌威金、美國(guó)NIFEC3倒角砂輪15片美國(guó)UCC、山東嘉詳碳素廠4研磨砂100kg美國(guó)MICRABRASIVE5行星片100片美國(guó)RODEL6冷卻液5t美國(guó)RODELNALCO7研磨液5t美國(guó)RODELNALCO8拋光液50t美國(guó)RODELNALCO9氫氧化鈉1200kg10鹽酸(MOS純)15000升江蘇江陰潤(rùn)瑪、北京化試11NH4OH(MOS純)20000加侖江蘇江陰潤(rùn)瑪、北京化試12H2O2(MOS純)20000加侖江蘇江陰潤(rùn)瑪、北京化試13氫氟酸(MOS純)1850升江蘇江陰潤(rùn)瑪、北京化試14硝酸(分析純)1120升江蘇江陰潤(rùn)瑪、北京化試15硅片包裝盒80000只美國(guó)EMPAK16高純氣體Ar150升上海寶普17高純氣體N2400升上海寶普(5)三廢排放情況本項(xiàng)目主要在現(xiàn)有生產(chǎn)車間內(nèi)進(jìn)行重新布局和增添相應(yīng)的8英寸生產(chǎn)設(shè)備，其污染源分析如下：①?gòu)U氣本項(xiàng)目腐化工序在現(xiàn)有生產(chǎn)車間通風(fēng)柜內(nèi)進(jìn)行，各通風(fēng)柜均配置相應(yīng)的引風(fēng)機(jī)、廢氣水洗吸收塔，從腐化工序所用原料來(lái)看，其廢氣主要為腐化工序產(chǎn)生的酸性/堿性廢氣，其主要成份為HF、HNONaOH等，目前，其廢氣排放量主要通過(guò)引風(fēng)機(jī)，采用水洗吸收塔吸收處理后通過(guò)排氣筒排放。②生產(chǎn)廢水酸、堿廢水：外延片清洗機(jī)使用鹽酸、氨水、雙氧水清洗硅片，清洗廢水含有一定的鹽酸、氨水及廢氣吸收廢水。根據(jù)《三廢處理工程技術(shù)手冊(cè)—廢氣卷》提供的產(chǎn)污系數(shù)，估算得各大氣污染物排放量如下表：污染物名稱排放系數(shù)排放量濃度煙氣量——TSP15 mg/Nm3SO2364mg/Nm3NO2*136mg/Nm3CO38mg/Nm3*：為原數(shù)值NO2%。廠區(qū)北臨保稅區(qū)界河，靠近港務(wù)局碼頭區(qū)；南依港東大道，與蘭羚鋼鐵公司隔路相望；東為興業(yè)五路，與寧波日月鉆石科技有限公司相鄰；西靠興業(yè)四路，與高新貨柜公司和成路包裝公司隔路相望，本項(xiàng)目主要在公司廠區(qū)中部的單晶、切磨、拋光廠房?jī)?nèi)，詳見(jiàn)地理位置圖。本區(qū)域主要?dú)庀笠厝缦拢簹v年最高氣溫 ℃歷年最低氣溫 ℃年平均氣溫 ℃年平均相對(duì)濕度 82%多年平均降水量 年平均雨日 年平均氣壓 年平均風(fēng)速 主導(dǎo)風(fēng)向 SE(%) N(%) 水文保稅區(qū)毗鄰的金塘水道海域?qū)儆诓徽?guī)半日潮，由于有舟山群島的金塘、大榭、黃蟒等島作屏障，外海涌浪難以傳入，主要波浪是局部水域產(chǎn)生的風(fēng)浪。根據(jù)設(shè)計(jì)要求，其主要接納生活污水、工業(yè)污水以及北侖倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)廢水，進(jìn)入巖東污水處理廠廢水必須符合巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。 污染物名稱取值時(shí)間濃度限值(mg/m3)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均日平均1小時(shí)平均NO2年平均日平均1小時(shí)平均TSP年平均日平均 環(huán)境噪聲保稅區(qū)按GB309693《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》3類標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，即晝間65dB，夜間55dB。本項(xiàng)目主要按上述二步生產(chǎn)工藝，硅拋光片生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：(1)單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污情況單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：多晶清洗備料單晶生長(zhǎng)單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓周檢測(cè)酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水(2)硅拋光片生產(chǎn)工藝及排污情況硅拋光片其生產(chǎn)工藝及排污位置如下：成品晶錠切片切片檢驗(yàn)熱處理清洗倒角烘干革命檢驗(yàn)拋光腐化研磨切割廢水堿性廢水研磨廢水廢氣包裝拋光片產(chǎn)品廢水 主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要生產(chǎn)設(shè)備如下表：序號(hào)名稱型號(hào)數(shù)量單位備注1單晶爐CG600024臺(tái)2單晶爐KAYEX1502臺(tái)3晶錠滾圓機(jī)RSKh80Nah2臺(tái)4氧化爐1臺(tái)5切斷機(jī)OC215D2臺(tái)6XRay測(cè)試儀MOD101MG1031套7氧含量測(cè)試儀QS300J1套8GFA儀RO416S1套9相襯干涉光顯微鏡1臺(tái)10線切割機(jī)DS26E500ED83臺(tái)11清洗機(jī)SST2002臺(tái)12倒角機(jī)WGM42004臺(tái)13磨片機(jī)22B3臺(tái)14貼片機(jī)MT610/MT8403臺(tái)15腐蝕設(shè)備2套16拋光機(jī)SPEEDFAM5016臺(tái)17背封機(jī)WJ999R2臺(tái)18顆粒度測(cè)試儀ADECR81E1套19表面測(cè)試儀ADE72003套20去蠟清洗機(jī)1臺(tái)21片盒清洗機(jī)STORMⅡ1臺(tái)22貼片前清洗機(jī)1臺(tái)23熱處理前清洗機(jī)1臺(tái)24熱處理爐KAKUSAI2臺(tái)25打標(biāo)機(jī)SIGACLEAN2臺(tái)26其他設(shè)備套 主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見(jiàn)下表。 廢水(1) 切割研磨廢水本項(xiàng)目切割研磨廢水主要包括單晶錠切割、滾園研