【正文】 坐標(biāo)測(cè)量法、極坐標(biāo)測(cè)量法或采用光學(xué)接觸法測(cè)量。測(cè)量時(shí)，被測(cè)零件平放在工作臺(tái)臺(tái)面上，工具顯微鏡的立柱不需要傾斜。測(cè)量模具輪廓時(shí)，萬(wàn)能工具顯微鏡的目鏡焦距要調(diào)到模具刃口表面。不論樣板或模具的形狀多么復(fù)雜，其輪廓總是由圓弧與直線組成，測(cè)量時(shí)只要找出直線與圓弧的交點(diǎn)，其輪廓尺寸就不難檢測(cè)了。)為圓弧檢測(cè)方法。測(cè)量前，先調(diào)整測(cè)角目鏡，使米字線的水平線與圓弧頂點(diǎn)相切，記下橫向讀數(shù)。然后移動(dòng)縱、橫向滑臺(tái)，用目鏡米字線的60176。或120176。交角線與圓弧兩邊同時(shí)相切，并記下橫向讀數(shù)，兩次讀數(shù)之差為h，便可由下式算出圓弧半徑。 （）式中 —為目鏡米字線交角，其值為60176?；?20176。K1—計(jì)算系數(shù)。當(dāng)=60176。時(shí)，K1=1；=120176。時(shí)，K1=。h—測(cè)量讀數(shù)差值。當(dāng)被測(cè)圓弧較大，視場(chǎng)中只能看到其中一部分時(shí)，)所示方法。測(cè)量時(shí)，使目鏡米字線的水平線與圓弧頂點(diǎn)相切于D點(diǎn)，將橫向滑臺(tái)移動(dòng)一個(gè)距離H（取整數(shù)最好），使水平線與圓弧相割。轉(zhuǎn)動(dòng)側(cè)角目鏡變換一個(gè)角度α/2，微動(dòng)縱向滑臺(tái)，使米字線的中垂線與圓弧相切于E點(diǎn)，記下縱向讀數(shù)。然后反向移動(dòng)縱向滑臺(tái)，反向旋轉(zhuǎn)測(cè)角目鏡變換α角度，并使米字線中央垂線相切圓弧于F點(diǎn)，再記下縱向讀數(shù)，兩次縱向讀數(shù)差為AB?？捎上率剿愠鰣A弧半徑。 R=K2ABK1H （）式中 KK2—計(jì)算系數(shù)。K1取值同前，當(dāng)=60176。時(shí)，K2=；=120176。時(shí)，K2=。 外錐角的測(cè)量 用萬(wàn)能工具顯微鏡測(cè)量錐角，一般可以利用儀器附件如分度臺(tái)、分度頭、測(cè)角目鏡等進(jìn)行直接測(cè)量。a圖所示為在萬(wàn)能工具顯微鏡上測(cè)量外錐角的方法。將被測(cè)工件安裝在儀器兩頂尖之間，用測(cè)量刀測(cè)出相距L的兩端直徑D與d，則工件圓錐角為： () 準(zhǔn)確度要求較高的內(nèi)錐體測(cè)量（），可在萬(wàn)能工具顯微鏡上用光學(xué)靈敏杠桿測(cè)量。測(cè)量時(shí)，工件安置在儀器的玻璃工作臺(tái)上，用光學(xué)靈敏杠桿先在接近內(nèi)錐體大端處測(cè)量，得到讀數(shù)L1，然后在工件下墊上尺寸為H的量塊組或已知尺寸的標(biāo)準(zhǔn)件，在接近內(nèi)錐體小端處進(jìn)行第二次測(cè)量，得到讀數(shù)L2，則被測(cè)內(nèi)錐體的錐角為： ()，圖a是一個(gè)多孔凹模的設(shè)計(jì)圖，圖上對(duì)各孔有位置度的要求。采用工具顯微鏡測(cè)量該多孔凹模的方法可用直角坐標(biāo)測(cè)量法，如圖b所示。首先按基準(zhǔn)A、B面找正凹模，使其與工具顯微鏡的縱、橫坐標(biāo)方向一致。然后測(cè)出xx2和yy2，則孔的圓心坐標(biāo)x、y為：　　　　　　　　　 ，　 （）將x、y與設(shè)計(jì)給定的尺寸比較，得到偏差值ｆｘ和ｆｙ。則該孔的位置度誤差值ｆ為：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　()　　其他各孔的位置度誤差的測(cè)量方法與上述方法相同,可逐孔進(jìn)行測(cè)量和計(jì)算。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（Checking and Measuring Machine）是一種以精密機(jī)械為基礎(chǔ)，綜合應(yīng)用電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、光柵與激光干涉技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)的檢測(cè)儀器，其精度高于一般的數(shù)控機(jī)床，被廣泛應(yīng)用在模具、汽車(chē)、航空、航天、機(jī)械等制造業(yè)，可對(duì)產(chǎn)品的幾何尺寸和形位公差進(jìn)行精確檢測(cè)。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家，測(cè)量機(jī)已經(jīng)非常普及，大約每七臺(tái)數(shù)控機(jī)床要配備一臺(tái)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主要功能是：1）可實(shí)現(xiàn)空間坐標(biāo)點(diǎn)的測(cè)量，可方便的測(cè)量各種零件的三維輪廓尺寸、位置精度等。測(cè)量精確可靠，萬(wàn)能性強(qiáng)。2）由于計(jì)算機(jī)的引入，可方便的進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算與程序控制，并具有很高的智能化程度。因此它不僅可方便地進(jìn)行空間三維尺寸的測(cè)量，還可實(shí)現(xiàn)主動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)檢測(cè)。3）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)除了具備常規(guī)的幾何尺寸和形位公差檢測(cè)功能外，在逆向工程技術(shù)和曲面坐標(biāo)檢測(cè)方面具有特殊的優(yōu)勢(shì)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)充分顯示了在測(cè)量方面的萬(wàn)能性、測(cè)量對(duì)象的多樣性。在模具制造業(yè)中應(yīng)用廣泛。 1．三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)分類(lèi)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)按其工作方式可分為:點(diǎn)位測(cè)量方式和連續(xù)掃描測(cè)量方式。點(diǎn)位測(cè)量方式是由測(cè)量機(jī)采集零件表面上一系列有意義的空間點(diǎn)，通過(guò)數(shù)學(xué)處理，求出這些點(diǎn)所組成的特定幾何元素的形狀和位置。連續(xù)掃描測(cè)量方式是對(duì)曲線、曲面輪廓進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，多為大、中型測(cè)量機(jī)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)按結(jié)構(gòu)分類(lèi)，有橋式測(cè)量機(jī)、龍門(mén)式測(cè)量機(jī)、水平臂（單臂或懸臂）、坐標(biāo)鏜床式式測(cè)量機(jī)和便攜式測(cè)量機(jī)。測(cè)量方式大致可分為接觸式（如機(jī)械式）與非接觸式（如光學(xué)式）兩種。按測(cè)量范圍可分為大型、中型和小型。按測(cè)量精度可分為精密型（計(jì)量型），一般放在有恒溫條件的計(jì)量室，用于精密測(cè)量，～2μm 。另一類(lèi)為生產(chǎn)型，一般放在生產(chǎn)車(chē)間，用于生產(chǎn)過(guò)程檢測(cè)，分辨能力5μm或10μm。2．三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的構(gòu)成，是由三個(gè)正交的直線運(yùn)動(dòng)軸構(gòu)成的，這三個(gè)坐標(biāo)軸的相互配置位置對(duì)測(cè)量機(jī)的精度以及對(duì)被測(cè)工件的適應(yīng)性影響較大。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的基本構(gòu)成主要由測(cè)量機(jī)主體、測(cè)量系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。a、b）懸臂式；c、d）橋式；e、f ）龍門(mén)式；g）立柱式；h）坐標(biāo)鏜床式 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的構(gòu)成（1）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體。測(cè)量機(jī)主體包括沿X軸移動(dòng)的主滑架5，沿Y向移動(dòng)的副滑架4，測(cè)頭安裝在沿z向移動(dòng)軸3上，5是測(cè)量工作臺(tái)。 1）導(dǎo)軌 導(dǎo)軌是測(cè)量機(jī)的導(dǎo)向裝置，直接影響測(cè)量機(jī)的精度，因而要求其具有較高的直線性精度。在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上使用的導(dǎo)軌有滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，但常用的為滑動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，滾動(dòng)導(dǎo)軌應(yīng)用較少，因?yàn)闈L動(dòng)導(dǎo)軌的耐磨性較差，剛度也較滑動(dòng)導(dǎo)軌低。目前多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已采用空氣靜壓導(dǎo)軌（又稱(chēng)為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌），它具有許多優(yōu)點(diǎn)，如制造簡(jiǎn)單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 1工作臺(tái)；2測(cè)頭；3z軸；4副滑架；5主滑架 1導(dǎo)軌；2橫量；CZ/W軸2）工作臺(tái) 大多廠家已采用花崗巖、大理石、來(lái)制造工作臺(tái)，這是因?yàn)榛◢弾r變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹，且價(jià)格低廉、易于加工。有些測(cè)量機(jī)還裝有可升降（Z軸）、有旋轉(zhuǎn)（W軸）的工作臺(tái)，以擴(kuò)大Z軸的測(cè)量范圍和測(cè)量功能。移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)是目前應(yīng)用最廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，敞開(kāi)性好，工件安裝在固定工作臺(tái)上，承載能力強(qiáng)，用于中等精度的測(cè)量。固定橋式結(jié)構(gòu)，其橋框固定不動(dòng)，其主要部件的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性好，運(yùn)動(dòng)誤差小，適用于高精度測(cè)量，但工作臺(tái)負(fù)載能力小。橋式結(jié)構(gòu)主要用于高精度的中小機(jī)型。 龍門(mén)式結(jié)構(gòu)，它與移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)的主要區(qū)別是它的移動(dòng)部分只是橫梁，移動(dòng)部分質(zhì)量小，整個(gè)結(jié)構(gòu)剛性好，三個(gè)坐標(biāo)測(cè)量范圍較大時(shí)也可保證測(cè)量精度，適用于大機(jī)型。懸臂式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有很好的敞開(kāi)性，但當(dāng)滑架在懸臂上作Y向運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)使懸臂的變形發(fā)生變化，故測(cè)量精度不高，一般用于測(cè)量精度要求不太高的小型測(cè)量機(jī)。 單柱移動(dòng)式結(jié)構(gòu)，也稱(chēng)為儀器臺(tái)式結(jié)構(gòu)，它是在工具顯微鏡的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。其優(yōu)點(diǎn)是操作方便、測(cè)量精度高，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，測(cè)量范圍小，適用于高精度的小型數(shù)控機(jī)型。 標(biāo)鏜床式結(jié)構(gòu)（單柱固定式結(jié)構(gòu)），它是在坐標(biāo)鏜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。其結(jié)構(gòu)牢靠、敞開(kāi)性較好，但工件的重量對(duì)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)有影響，兩維平動(dòng)工作臺(tái)行程不可能太大，僅用于測(cè)量精度中等的中小型測(cè)量機(jī)。 （2）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量系統(tǒng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量系統(tǒng)包括測(cè)頭和標(biāo)尺。1）標(biāo)尺系統(tǒng) 是用來(lái)度量各軸的坐標(biāo)數(shù)值的。目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上使用的標(biāo)尺大多的是光柵尺，有些測(cè)量機(jī)使用了同步感應(yīng)器，為了達(dá)到更高的精度，有的測(cè)量機(jī)甚至使用了激光干涉儀。測(cè)頭是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)用來(lái)拾取信號(hào)的，因而測(cè)頭的性能直接影響測(cè)量精度和測(cè)量效率，沒(méi)有先進(jìn)的測(cè)頭就無(wú)法充分發(fā)揮測(cè)量機(jī)的功能。2）測(cè)頭 測(cè)頭的類(lèi)型按測(cè)量方法