【正文】 作臺(tái)等主要部件組成。它們的測(cè)量精度和測(cè)量范圍不同，但基本結(jié)構(gòu)、測(cè)量方法大致相同。工具顯微鏡的目鏡由玻璃分劃板、中央目鏡、角度讀數(shù)目鏡、反射鏡和手輪組成。3）光學(xué)接觸法 用光學(xué)接觸器的球形觸頭與被測(cè)工件相接觸，而用主顯微鏡的米字刻線與觸頭位置有關(guān)的雙刻線套合，并由縱、橫向讀數(shù)裝置讀數(shù)。時(shí)，K1=1；=120176。采用工具顯微鏡測(cè)量該多孔凹模的方法可用直角坐標(biāo)測(cè)量法，如圖b所示。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)按結(jié)構(gòu)分類，有橋式測(cè)量機(jī)、龍門式測(cè)量機(jī)、水平臂（單臂或懸臂）、坐標(biāo)鏜床式式測(cè)量機(jī)和便攜式測(cè)量機(jī)。橋式結(jié)構(gòu)主要用于高精度的中小機(jī)型?！　‰姎饨佑|式測(cè)頭的觸端與被測(cè)件接觸后可作偏移，傳感器輸出模擬位移量信號(hào)。目前機(jī)械制造業(yè)、汽車工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)和國防工業(yè)等都廣泛使用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已成為現(xiàn)代工業(yè)檢測(cè)和質(zhì)量控制不可缺少的測(cè)量設(shè)備。如果不能正?；亓?，測(cè)量機(jī)軟件或硬件上存在某種錯(cuò)誤。對(duì)于三維找正中的第三軸，系統(tǒng)自動(dòng)根據(jù)右手坐標(biāo)準(zhǔn)則確定。2）借助繪圖設(shè)備和繪圖軟件得到復(fù)雜零件的設(shè)計(jì)圖樣即生成各種CAD數(shù)據(jù)。③選定第一坐標(biāo)軸。測(cè)量前必須建立坐標(biāo)系，并根據(jù)被測(cè)件的形狀特點(diǎn)選擇測(cè)頭并進(jìn)行測(cè)頭的定義和校驗(yàn)，并對(duì)被測(cè)件的安裝位置進(jìn)行找正。計(jì)算機(jī)是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制中心，用于控制全部測(cè)量操作、數(shù)據(jù)處理和輸入輸出。在接觸式測(cè)量頭中又分機(jī)械式測(cè)頭和電氣式測(cè)頭。 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 1工作臺(tái)；2測(cè)頭；3z軸；4副滑架；5主滑架 1導(dǎo)軌；2橫量；CZ/W軸2）工作臺(tái) 大多廠家已采用花崗巖、大理石、來制造工作臺(tái)，這是因?yàn)榛◢弾r變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹，且價(jià)格低廉、易于加工。在模具制造業(yè)中應(yīng)用廣泛。 外錐角的測(cè)量 用萬能工具顯微鏡測(cè)量錐角，一般可以利用儀器附件如分度臺(tái)、分度頭、測(cè)角目鏡等進(jìn)行直接測(cè)量。 （）式中 —為目鏡米字線交角，其值為60176。 阿基米得螺旋線顯微鏡的讀數(shù) 阿基米得螺旋顯微鏡的讀書方法：在顯微鏡讀數(shù)鏡頭中可看到三種刻度：一種是毫米玻璃刻線尺上的刻度，其間距代表1mm；；一種是有十圈多一點(diǎn)的阿基米得螺旋刻度和螺旋線里面圓周上一擺格圓周刻度。 萬能工具顯微鏡的縱向?qū)к壷胁抗ぷ骰_(tái)可分為平工作臺(tái)或圓工作臺(tái)。3．電動(dòng)輪廓儀 電動(dòng)輪廓儀（又稱表面粗糙度檢查儀或側(cè)面儀）是利用針描法來測(cè)量表面粗糙度。的觀察光管，于是從目鏡中可看到一條凹凸不平的亮帶（A向視圖中未打點(diǎn)的部分）。 利用正弦尺測(cè)量圓錐量規(guī) 為了提高模具加工的成形質(zhì)量和成形極限，需要對(duì)模具零件工作表面加工后的表面質(zhì)量嚴(yán)格控制，特別是產(chǎn)品成型面要求可達(dá)Ra（～）μm,而對(duì)于非成形面，如壓邊面、流道、安裝面等也較高的表面粗糙度要求。用于間接測(cè)量的測(cè)量工具有正弦尺、鋼球、圓柱、平板以及千分尺、指示表和萬能工具顯微鏡等。量塊用軸承鋼制造，最厚的為1000毫米。測(cè)量高度、深度及長度尺寸的量規(guī)分別稱為高度量規(guī)、深度量規(guī)及長度量規(guī)，統(tǒng)稱為直線尺寸量規(guī)。轉(zhuǎn)動(dòng)微分筒上的一個(gè)刻度，這就是千分尺的分度值。 5）立體樣板 立體樣板主要用于覆蓋件控制修邊模的曲面形狀和尺寸。用于大型曲面零件制造的大型覆蓋件冷沖壓模具的工作部分，大多由三維曲面構(gòu)成，表面粗糙度及精度（特別是汽車外覆蓋件的形狀精度）等級(jí)要求均較高，加工時(shí)需采用樣型和樣架等專用檢驗(yàn)工具配合加工。在模具制造中，用的最多的是加工樣板。在有的企業(yè)中，把模具零件的精度分類進(jìn)行質(zhì)量管理，如一類、二類、三類尺寸來劃分。斷面輪廓特殊部位形狀樣板，一般按最大極限尺寸制造，作為特殊形狀的驗(yàn)規(guī)。工藝主模型的工藝補(bǔ)充部分上劃有沖模中心線。游標(biāo)量具分為游標(biāo)卡尺（）、游標(biāo)深度尺和游標(biāo)高度尺。比較儀量程小、測(cè)量精度高，適用于精密測(cè)量。；最厚的為3毫米。 塊是長度測(cè)量系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)儀器，用于檢定低一等的量塊、千分尺、卡尺、比較儀和一些光學(xué)測(cè)量儀等，也常和比較儀一起利用相對(duì)法測(cè)量工件尺寸。它隨玻璃管傾斜而移動(dòng)，從玻璃管上的刻度可以讀出傾斜的角度。 指示表是利用精密齒條齒輪機(jī)構(gòu)制成的表式通用工具。利用正弦定義測(cè)量角度和錐度等的量規(guī)，也稱正弦尺。用表面粗糙度樣板比較法測(cè)量簡便易行，是實(shí)際生產(chǎn)中的主要測(cè)量手段。4）調(diào)整手輪9，使顯微鏡徐緩下降，直至在被測(cè)表面上能看到扁平的綠色光帶為止。儀器還配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測(cè)量。主顯微鏡在橫向的移動(dòng)可通過橫向刻線尺117及固定在底座上另一橫向讀數(shù)顯微鏡4讀出。光學(xué)接觸器可固定在主顯微鏡的3倍物鏡上，接觸器的觸頭與工件接觸，照明光源照亮固定的、帶有雙刻線的分劃板，雙刻線影像經(jīng)觸頭上方的反射鏡、主顯微鏡的物鏡放大成像在米字線分劃板上。測(cè)量模具輪廓時(shí)，萬能工具顯微鏡的目鏡焦距要調(diào)到模具刃口表面。轉(zhuǎn)動(dòng)側(cè)角目鏡變換一個(gè)角度α/2，微動(dòng)縱向滑臺(tái)，使米字線的中垂線與圓弧相切于E點(diǎn)，記下縱向讀數(shù)。工業(yè)發(fā)達(dá)國家，測(cè)量機(jī)已經(jīng)非常普及，大約每七臺(tái)數(shù)控機(jī)床要配備一臺(tái)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。2．三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的構(gòu)成，是由三個(gè)正交的直線運(yùn)動(dòng)軸構(gòu)成的，這三個(gè)坐標(biāo)軸的相互配置位置對(duì)測(cè)量機(jī)的精度以及對(duì)被測(cè)工件的適應(yīng)性影響較大。 標(biāo)鏜床式結(jié)構(gòu)（單柱固定式結(jié)構(gòu)），它是在坐標(biāo)鏜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。　　為了提高測(cè)量效率以及探測(cè)各種零件的不同部位，常需為測(cè)頭配置一些附件，如測(cè)端、探針、連接器、測(cè)頭回轉(zhuǎn)附件等。 1基座；2立柱；3水平臂；4支承箱；5測(cè)頭；6工作臺(tái)立柱式三坐標(biāo)劃線機(jī)，由機(jī)械主體部分和數(shù)字顯微處理系統(tǒng)組成。（2）角度的校驗(yàn)和觸頭的定義 在觸頭更換后，系統(tǒng)啟動(dòng)需要把觸頭的定義輸入到指定的地方，由于一般系統(tǒng)采用的自動(dòng)補(bǔ)償接觸檢測(cè)、測(cè)量，也就是說實(shí)際上檢測(cè)、測(cè)量的是接觸頭的球心，得到的結(jié)果是系統(tǒng)自動(dòng)“加了一個(gè)半徑”。這是由于軟件對(duì)球頭半徑補(bǔ)償所致，當(dāng)判斷出運(yùn)動(dòng)方向?yàn)椋鹣蜻M(jìn)給時(shí)，球頭半徑補(bǔ)償在ｐ向，同理如判斷為ｑ向進(jìn)給時(shí)，補(bǔ)償方向在ｑ向。圖ｂ為合理的不同進(jìn)給方向。一般大部分測(cè)量機(jī)廠家都是用標(biāo)準(zhǔn)球（也叫基準(zhǔn)球）進(jìn)行校驗(yàn)。儀器基座1可在工作臺(tái)導(dǎo)槽中移動(dòng)或定位鎖緊，水平臂可在支承箱中作水平移動(dòng)。其主要功能是：讀取空間坐標(biāo)值，控制測(cè)量瞄準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)測(cè)頭信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)響應(yīng)與處理，控制機(jī)械系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)測(cè)量所必需的運(yùn)動(dòng)，實(shí)時(shí)監(jiān)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的狀態(tài)以保障整個(gè)系統(tǒng)的安全性與可靠性等。 （2）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量系統(tǒng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量系統(tǒng)包括測(cè)頭和標(biāo)尺。a、b）懸臂式；c、d）橋式；e、f ）龍門式；g）立柱式；h）坐標(biāo)鏜床式 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的構(gòu)成（1）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體。測(cè)量精確可靠，萬能性強(qiáng)?？捎上率剿愠鰣A弧半徑。)為圓弧檢測(cè)方法。光學(xué)接觸器用于測(cè)量孔徑、槽寬，以及端面長度、直線度、平行度等。主顯微鏡可沿立柱升降以調(diào)整焦距，因而可由此顯微鏡看到被測(cè)工件的輪廓影像。 萬能工具顯微鏡是長度計(jì)量部門最常見的光學(xué)儀器之一。5）調(diào)整調(diào)節(jié)環(huán)16和調(diào)節(jié)螺釘17，使在目鏡視場(chǎng)中央出現(xiàn)最窄最清晰的亮帶。 2. 雙管顯微鏡（光切顯微鏡）（） 雙管顯微鏡是根據(jù)光切法原理測(cè)量表面粗糙度的儀器，一般按Rz（也可按Rmax）評(píng)定Rz（50～）μm級(jí)的表面粗糙度。兩圓柱的軸心線距離L一般為100㎜或 200㎜。改變測(cè)頭形狀并配以相應(yīng)的支架﹐可制成百分表的變形品種,例如厚度百分表﹑深度百分表和內(nèi)徑百分表等。框式水平儀有兩個(gè)相互垂直的測(cè)量面，因此可以在水平和垂直兩個(gè)位置上測(cè)量。 測(cè)量形位誤差的常