【正文】 ，其上部可裝目鏡頭及投影器。平工作臺上有玻璃臺板和T形槽，可用螺釘和壓板夾緊工件；圓工作臺用于分度測量或極坐標(biāo)測量。從中央目鏡可觀察到分劃板上的米字刻線和被測工件的輪廓影像；從角度讀數(shù)目鏡中，可觀察到分劃板上360176。光學(xué)接觸器可固定在主顯微鏡的3倍物鏡上，接觸器的觸頭與工件接觸，照明光源照亮固定的、帶有雙刻線的分劃板，雙刻線影像經(jīng)觸頭上方的反射鏡、主顯微鏡的物鏡放大成像在米字線分劃板上。（2）工具顯微鏡縱、橫向讀數(shù)裝置 在工具顯微鏡上，工作臺縱、橫向移動距離的讀數(shù)裝置常用類似千分尺的測微螺旋機構(gòu)。讀數(shù)時，旋轉(zhuǎn)螺旋分劃板微調(diào)手柄，使毫米刻線位于阿基米得螺旋雙刻線之間。4）直角坐標(biāo)測量法 按縱、橫兩垂直方向測量被測工件的坐標(biāo)值。測量模具輪廓時，萬能工具顯微鏡的目鏡焦距要調(diào)到模具刃口表面。然后移動縱、橫向滑臺，用目鏡米字線的60176。或120176。時，K1=。轉(zhuǎn)動側(cè)角目鏡變換一個角度α/2，微動縱向滑臺，使米字線的中垂線與圓弧相切于E點，記下縱向讀數(shù)。K1取值同前，當(dāng)=60176。a圖所示為在萬能工具顯微鏡上測量外錐角的方法。首先按基準(zhǔn)A、B面找正凹模，使其與工具顯微鏡的縱、橫坐標(biāo)方向一致。工業(yè)發(fā)達國家，測量機已經(jīng)非常普及，大約每七臺數(shù)控機床要配備一臺三坐標(biāo)測量機。因此它不僅可方便地進行空間三維尺寸的測量，還可實現(xiàn)主動測量和自動檢測。 1．三坐標(biāo)測量機分類三坐標(biāo)測量機按其工作方式可分為:點位測量方式和連續(xù)掃描測量方式。測量方式大致可分為接觸式（如機械式）與非接觸式（如光學(xué)式）兩種。2．三坐標(biāo)測量機的構(gòu)成，是由三個正交的直線運動軸構(gòu)成的，這三個坐標(biāo)軸的相互配置位置對測量機的精度以及對被測工件的適應(yīng)性影響較大。 1）導(dǎo)軌 導(dǎo)軌是測量機的導(dǎo)向裝置，直接影響測量機的精度，因而要求其具有較高的直線性精度。有些測量機還裝有可升降（Z軸）、有旋轉(zhuǎn)（W軸）的工作臺，以擴大Z軸的測量范圍和測量功能。 龍門式結(jié)構(gòu)，它與移動橋式結(jié)構(gòu)的主要區(qū)別是它的移動部分只是橫梁，移動部分質(zhì)量小，整個結(jié)構(gòu)剛性好，三個坐標(biāo)測量范圍較大時也可保證測量精度，適用于大機型。 標(biāo)鏜床式結(jié)構(gòu)（單柱固定式結(jié)構(gòu)），它是在坐標(biāo)鏜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。目前三坐標(biāo)測量機上使用的標(biāo)尺大多的是光柵尺，有些測量機使用了同步感應(yīng)器，為了達到更高的精度，有的測量機甚至使用了激光干涉儀。此外，生產(chǎn)型測量機還配有專用測頭式切削工具，如專用銑削頭和氣動鉆頭等。這種測頭既可以用于瞄準(zhǔn)(過零發(fā)信)，也可以用于測微測給定坐標(biāo)值的偏差)?！　榱颂岣邷y量效率以及探測各種零件的不同部位，常需為測頭配置一些附件，如測端、探針、連接器、測頭回轉(zhuǎn)附件等。早期的坐標(biāo)測量機以手動型和機動型為主，其測量是由操作者直接手動或通過操縱桿完成各個點的采樣，然后在計算機中進行數(shù)據(jù)處理。在用于檢測時通過該系統(tǒng)，操作者可以在該系統(tǒng)內(nèi)手動編制檢測程序（對話式窗口編程）、自動編制程序（通過引入CAD模型自動生成檢測程序）、自學(xué)習(xí)編程（機器記下所有指令代碼，在多批次重復(fù)檢測時，不需再編程）、脫機編程（在該系統(tǒng)外部編制好程序通過公用結(jié)口引入）。 三坐標(biāo)測量機除用于零件的測量外，還可用于如劃線、打沖眼、鉆孔、微量銑削及末道工序精加工等輕型加工，在模具制造中可用于模具的安裝、裝配。 1基座；2立柱；3水平臂；4支承箱；5測頭；6工作臺立柱式三坐標(biāo)劃線機，由機械主體部分和數(shù)字顯微處理系統(tǒng)組成。數(shù)顯微處理系統(tǒng)由光柵編碼器、無滑滯滾動的角度長度轉(zhuǎn)換裝置和微電腦數(shù)顯電氣等組成。（1）坐標(biāo)系的概念1）機床坐標(biāo)系　也稱作絕對坐標(biāo)系。一般在較低端的測量機（如較一般的劃線機）上會用到機床坐標(biāo)系，它需要操作者將工件的某軸線擺放到機床坐標(biāo)系的相應(yīng)軸線平行，然后建立相對坐標(biāo)系再測量。（2）角度的校驗和觸頭的定義 在觸頭更換后，系統(tǒng)啟動需要把觸頭的定義輸入到指定的地方，由于一般系統(tǒng)采用的自動補償接觸檢測、測量，也就是說實際上檢測、測量的是接觸頭的球心，得到的結(jié)果是系統(tǒng)自動“加了一個半徑”。測量時，工件任意地放在工作臺上，其基準(zhǔn)線或基準(zhǔn)面與測量機的坐標(biāo)軸（x、y、z軸的移動方向）不需要精確找正，為了消除這種基準(zhǔn)不重合對測量精度的影響，用計算機對其進行坐標(biāo)轉(zhuǎn)換，根據(jù)新基準(zhǔn)計算校正測量結(jié)果。④調(diào)用相應(yīng)子程序進行測量并存儲結(jié)果。（4）觸頭選用對于測量工件的材質(zhì)、測量零件的形狀、測量部位在測量前都是觸頭選擇的因素。這是由于軟件對球頭半徑補償所致，當(dāng)判斷出運動方向為ｐ向進給時，球頭半徑補償在ｐ向，同理如判斷為ｑ向進給時，補償方向在ｑ向。對于在數(shù)控機床上加工的形狀復(fù)雜的零件，當(dāng)其形狀難于建立數(shù)學(xué)模型使程序編制困難時，常?？梢越柚跍y量機。20 / 20。例如高速數(shù)字化掃描機實際上是一臺連續(xù)掃描測量方式坐標(biāo)測量機，主要用于對模具未知曲面進行掃描測量，可將測得的數(shù)據(jù)存入計算機，根據(jù)模具制造需要，實現(xiàn)1）對掃描模型進行陰、陽模轉(zhuǎn)換，生成需要的CNC加工程序。圖ｂ為合理的不同進給方向。?。幔┲螠y頭　　　　　　　　ｂ）盤形測頭　　　　　　?。悖┣蝾^測頭　　　　　　　　　　　　　測量不同的形狀選用的觸頭（5）.觸頭運動方式ｐｑ觸頭在測量時，在運動方向的選擇上必須要在理論上保證測量數(shù)據(jù)的可靠性及準(zhǔn)確度。⑥調(diào)用相應(yīng)子程序進行測量并存儲結(jié)果。②運行找正程序。一般大部分測量機廠家都是用標(biāo)準(zhǔn)球（也叫基準(zhǔn)球）進行校驗。對于某些大型測量機，在需要承載能力較大的情況下，床身和工作臺分開安裝，也就是說工作臺的變形、破壞不會影響到測量機本身的精度，此時必須用到工件坐標(biāo)系。一般在測量機初始啟動時，都要“回零”，就是初始化回原點。該類檢測設(shè)備由于精度較低，一般不作數(shù)據(jù)采集用，不用于終加工工序或產(chǎn)品的檢測、測量。儀器基座1可在工作臺導(dǎo)槽中移動或定位鎖緊，水平臂可在支承箱中作水平移動。它屬于生產(chǎn)適用型三坐標(biāo)機，可承受檢測環(huán)境較惡劣的劃線和計量測試技術(shù)工作。在用于測量時，該系統(tǒng)可以進行大量的數(shù)據(jù)處理并通過內(nèi)部的幾何元素定義生成相應(yīng)的幾何體，然后通過公共接口傳出該系統(tǒng)以作他用。數(shù)控系統(tǒng)控制器功率驅(qū)動器電機機械傳動伺服系統(tǒng)測量與反饋 2）數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)包括計算機、專用的軟件系統(tǒng)、專用程序或程序包。其主要功能是：讀取空間坐標(biāo)值，控制測量瞄準(zhǔn)系統(tǒng)對測頭信號進行實時響應(yīng)與處理，控制機械系統(tǒng)實現(xiàn)測量所必需的運動，實時監(jiān)控坐標(biāo)測量機的狀態(tài)以保障整個系統(tǒng)的安全性與可靠性等?！　》墙佑|式測頭，主要由光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成，如投影屏式顯徽鏡、電視掃描頭。機械接觸式測頭主要用于手動測量，由于手動測量的測量力不易控制，測量力的變化會降低瞄準(zhǔn)精度，因此，只適用于一般精度的測量。2）測頭 測頭的類型按測量方法可分接觸式和非接觸式兩類。 （2）三坐標(biāo)測量機的測量系統(tǒng)三坐標(biāo)測量機的測量系統(tǒng)包括測頭和標(biāo)尺。 單柱移動式結(jié)構(gòu)，也稱為儀器臺式結(jié)構(gòu)，它是在工具顯微鏡的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。固定橋式結(jié)構(gòu)，其橋框固定不動，其主要部件的運動穩(wěn)定性好，運動誤差小，適用于高精度測量，但工作臺負(fù)載能力小。目前多數(shù)三坐標(biāo)測量機已采用空氣靜壓導(dǎo)軌（又稱為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌），它具有許多優(yōu)點，如制造簡單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。a、b）懸臂式；c、d）橋式；e、f ）龍門式；g）立柱式；h）坐標(biāo)鏜床式 三坐標(biāo)測量機的構(gòu)成（1）三坐標(biāo)測量機的主體。按測量精度可分為精密型（計量型），一般放在有恒溫條件的計量室，用于精密測量，～2μm 。連續(xù)掃描測量方式是對曲線、曲面輪廓進行連續(xù)測量，多為大、中型測量機。三坐標(biāo)測量機充分顯示了在測量方面的萬能性、測量對象的多樣性。測量精確可靠，萬能性強。則該孔的位置度誤差值ｆ