【正文】 這些趨勢變量的顯示范圍。正常運行時，模式編號，步驟編號，功率設定值和隔熱籠位置的值每五分鐘存于表中。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 27 功率曲線對比圖 這張圖是 模式，步驟，功率設定值和隔熱籠位置的實時值繪制而成。只要配方步驟或時間沒有被改變 ，圖中以前的模式和步驟與實時值保持同步。將以前的數據和現在的數據疊加可以相對簡單的決定現在的數據是否保存作為將來的“ profile” 。 功率數據模式 /步驟界面 按“ Open mode/step screen”按鈕打開相鄰的窗口。實時值和過去值的記錄會有所不同，因為 他們在不斷的嘗試與過去保存的“ profile”配方中的模式編號和步驟編號相匹配。 所以如果控制熱電偶發(fā)生故障，“ profile”就可以繼續(xù)用于完成長晶。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 28 模式 /步驟界面 模式 /步驟失效界面 有是索引 值 達到 表格 最大 值 999，表明不能找到精確的匹配。這僅會出現一個問題，就是如果長晶循環(huán)是用功率模式控制時。“ clear alarm latch”按鈕將變成可見。 注意： 因為這個進程將匹配開始的配方步驟，所以時間和數值可能不能 配合很好。記住恢復程序。 按這個按鈕來切換激活或者失效狀態(tài)。 “ disable power profile”按鈕 如果爐子運行在功率控制模式并且熱電偶已經維修，“ disable power profile”按鈕在熱電偶重置后將顯示出來。 注意： 你手動 調回 溫度控制或者電源調節(jié) 或配方時要注意。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 29 “ last log table”按鈕 這個按鈕打開功率數據圖表界面。 這可以幫助決定在報警發(fā)生前模式 /步驟是否失效。如果選擇不同意，文字和按鈕 將僅 消失。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 30 5. 爐子的操作 概述 一般情況下， DSS 爐能在全自動模式下運行，幾乎不需要操作工的干預。操作工也必須定期記錄這些操作參數，為接班的操作工提供參考及預測工藝流程。 如果控制系統沒有處于自動模式下，操作工能進入手動操作屏幕，使大氣壓進入爐腔，打開上下腔室，隔熱層移動到 新位置等等。 打開爐腔 按下手動按鈕打開手動界面 手動界面 如果爐腔內壓力沒有超過 980mbar ,按一次 “ Backfill（重新壓入氣體） ” 按鈕使壓力投料 檢查 配方參數 自動運行 取錠 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 31 上升到 980mbar 以上（當壓力上升到 980mbar 時，自動停止加壓動作）。 移除夾子警告界面 松開 4 個將上面的腔室和下面的腔室連成 一體的夾子后點擊夾子警告屏幕上的“ YES” ，打開下面的屏幕： 下爐腔提升界面 提升下面腔室控制器 上限開關 中間的上限開關（減速） 中間的下限開關（減速） 安全離合器 下限開關 下腔室方向控制箭頭 ↑ 提升 /下降鈕 ON 啟動速度 下腔室速度（ %） 15 加速度 下腔室的最大速度 35 下腔室的速度遞減量 5 關閉窗口 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 32 提升下面腔室的控制屏幕 下面腔室的方向控制箭頭必須指向下 — 否則，單擊此箭頭，使箭頭指向下。 檢查下面腔室的最大提升速度是否小于或等于 40，遞減速度是否為 5，啟動速度是否為 0，遞增速度是否為 3。 下面的腔室開始向下移動，加速到最大速度（〈 =40%〉且保持這 個速度直到腔室傳感器探測到下限的減速開關，減速到最大速度的 5%。 取出長晶好的硅錠 警告： 如果硅錠特別熱（大于 300℃ ），必須等待 30 分鐘直到石英坩堝完全碎裂以防飛濺的坩堝碎片燙傷。 隔熱層 應該 完全打開（ 37到 38cm）， 若沒有完全打開則 按下手動按鈕后再按下隔熱層手動按鈕，打開隔熱層 界面 。 注意： 引導 籠子 接近坩堝。 慢慢抽出裝載機或者叉車， 時刻注意籠子和上爐腔的位置。 導軌 石墨護板 Crucible support plates 坩堝 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 34 仔細移除并丟掉破損的坩堝碎片。在觸碰任何冷金屬前錠的溫度必須低于 100℃ 避免錠破碎的可能。 放開剪刀夾鎖定裝置 ，這可以讓剪刀加緊錠。提升錠離開坩堝底部，試試夾子是否抓緊，然后將錠慢慢的提離剩余的坩堝并將它放到存放點。 按照下列步驟準備坩堝和放入硅 料： 警告： 當加入硅料時，必須戴上防塵面具以防吸入硅料粉塵。 注意： 不要觸碰新坩堝的內表面，否則會污染和損傷內表面涂層。 裝入新硅料前，檢查爐腔內是否干凈，有沒有上一個工藝循環(huán)剩下的殘留物。 2） 輕輕地把最小塊的硅料放在坩堝底部。輕輕地滑出硅料，托在手中，和另一個操作工一起把料擺在坩堝底部，小心刺破涂層。 警告： 裝料時，小心硅塊的尖角劃破了你的手套。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 35 3） 當坩堝半滿時，在硅料表面均勻地擺放需要的添加劑。將硅料擺在中間位置以防掉落。 將螺栓對準安裝孔螺入且固定。 繼續(xù)固定支撐板直到完全圍住坩堝。 當叉車距離地面 10cm20cm 的位置時，將坩堝放入爐內。 調節(jié)上升 /下降控制器，將速度調到最小值，慢慢地降低坩堝，小心地放到石墨塊上。 檢查暴露在外的底部腔室是否有大塊的硅料或者石英坩堝是否位于 DSblock 的中間。 清潔上部腔室上的密封法 蘭和底部腔室上的 O 形環(huán)。 在手動屏幕上，按下腔室提升按鈕，打開下面的腔室提升屏幕。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 37 檢查下面腔室的最大速度是否小于或者等于 40，遞減速度是否為 5，啟動速度是否為 0，遞增速度是否為 3。 下面的腔室開始向上運動。當腔室到達上限位時，將會停止運動。如果激發(fā)了一個制動動作，離合器將觸發(fā)一個臨近傳感器，下面的腔室提升屏幕上的離合器指示燈會變成紅色。 卡上 4 個夾子。在手動屏幕上，單擊 V/G 中的 G 或者 V 直到顯示 V 后在打開羅茨泵閥門繼續(xù)降低腔內的壓力。 用機械泵降低腔室內的壓力至 50mbar，然后啟動羅茨泵，這兩個泵同時作用，繼續(xù)降壓到 。降壓前和壓力降到 前，用泵抽出坩堝和硅料上粘附的潮氣。一旦點擊自動按鈕主參 數中的出氣時間將會減少。 如果沒有配方的名字或者名字錯誤，按下屏幕底部的模式按鈕后再按下裝入配方鈕，從顯示的清單中選擇一個正確的名字。 按下報警鈕，確認沒有任何報警狀態(tài)。 Chamber clamp Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 38 按下模式鈕后再按下自動鈕，你能聽到加熱器電源接觸器閉合的聲音，可以看見自動鈕旁邊的綠色按鈕。 打開降壓檢查屏幕。每一步操作結束后，淡綠色的燈會變成深綠色。同時監(jiān)控爐子的整個降壓時間 — 即剩下的降壓時間（秒）減去達到固有壓力后的降壓時間。 一旦剩下的抽氣時間降到 0，將會關閉羅茨泵并開始測試壓力上升率。 檢漏界面 TC管漏氣警告界面 水流量太低不可以操作爐子 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 39 基本壓力太高 氣體漏氣率太高 自動運行順序 自動長晶循環(huán)的第一個階段是缺省的，配方也無法更改它。在長晶循環(huán)的第一個階段里，隔熱層首先運動到下限位置，到 的位置后再執(zhí)行 “ 起始位置子程序 ” 。 消除報警聲音后在爐子頂部查看隔熱層的實際提升位置，估計還要提升多長的距離才能到下限位置。一旦執(zhí)行 “ 起始位置子程序 ” 就可以關閉隔熱層手動屏幕 即現在繼續(xù)使用自動控制模式。一般情況下，配方先控制加熱循環(huán)的 35 個階段，再控制熔化循環(huán)的 811 個階段，然后控制長晶循環(huán)的 57 個階段和退火循環(huán)的 3 個階段，最后控制冷卻循環(huán)的 512 個階段。在真空狀態(tài)下，執(zhí)行所有的加熱過程。 一般情況下，熔化循環(huán)的第一個階段仍處于真空狀態(tài)下和溫度控制與功率控制的 轉換溫度下以抽取坩堝和硅料里的氣體。 溫度從溫度控制與功率控制的轉換溫度增加到 15351550176。在某一個或者許多個這樣的保溫階段里，在配方的專用功能欄里激活熔化結束程序。 操作工應該先消除報警聲音，再通過頂部的視孔檢查剩下的固體硅片是否完全熔化（即熔化已經結束）。操作工應該選擇 “ 是 ” 或者 “ 刪除 ” 后才能確認熔化結束。如果爐子正處于暫停模式下或者已經按下了禁止熔化結束鈕，將會暫停熔化結束程序，也不會有熔化結束報警。 也能利用熔化和長晶結束趨勢圖屏幕上的趨勢來確認熔化結束。 熔化 和長晶結束趨勢圖 在長晶的第一個階段，溫度達到長晶設定溫度，打開隔熱層以冷卻 DS— Block，硅錠從坩堝底部開始長晶到頂部。在長晶階段，熔體高溫計測量熔體表面溫度，如果溫度出現明顯變化，會打開中間部分長晶結束屏幕： 在中間部分長晶結束屏幕上，要求操作工從熔體頂部查看硅錠中間是否已經凝固。熔體高溫計也能探測出熔體頂部是否凝固。 溫度繼續(xù)降低使硅錠中間部分完成長晶過程。打開邊角長晶結束屏幕，要求操作工確認邊角已經凝固。程序將進入退火階段。 在退火循環(huán)的最后一個階段里，控制模式轉換到功率控制模式，功率達到配方規(guī)定值。 當 DSBlock 溫度低于 800℃ 時，重新打開隔熱層以加速冷卻。冷卻結束程序還有一個特殊功能就是監(jiān)控 DSBlock 溫度和 DSBlock 何時達到主參數屏幕里顯示的冷卻結束時的轉換溫度（ 450℃ ）。在最后一個冷卻階段，完全打開隔熱層 ，壓力達到 950mbar，準備出錠。燈連續(xù)閃爍說明將要打開爐子，準備出錠。操作者應該觀察電流和上次運行的功率 /隔熱籠設定值 與每個曲線頂部的曲線 是不是接近。如果所有的看起來都正常，或者所有的偏差都可以被接收，電極 “ accept profile” 按鈕并且 等待控制器完成數據轉換 這將花費 306