【正文】 巍允勝討那 獻醚嚎海概很沫蘑 精確度 ： 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感 器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī) 定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器的響應(yīng)特性必須在所測頻率范圍內(nèi)努力保持 不失真測量 條件 ，時間延遲越小越好 。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 一般地，利用光電效應(yīng)、壓電效應(yīng)等物性型傳感器，響應(yīng)時間快，工作頻率范圍寬。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換 成可用輸出信號的器件或裝置。 頻域內(nèi)， 采用正弦輸入信號分析傳感器 檢測系統(tǒng)的頻率響應(yīng)，包括 幅頻特性和相頻特性 ；時 域內(nèi)，采用系統(tǒng)對階躍信號的瞬態(tài)響應(yīng)的超調(diào)量、響應(yīng)時間、上升時間 等來分析系統(tǒng)的動態(tài)特性。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統(tǒng)常用傳 感 器 1. 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它 炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 標定 （計量學(xué)稱之為 定度 ）是指在明確傳感器 輸入 /輸出 變換關(guān)系的前提下，利用某種標準器具產(chǎn)生已知的 標準非電量 （或其它標準量）輸入，確定其輸出電量與其 輸入 量之間的過程。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛 鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 校準 是指傳感器在使用前或使用過程中或擱置一段時間再使用時，必須對其性能參數(shù)進行復(fù)測或作必要的 調(diào)整 與 修正 ，以確保傳感器的測量精度。1. 1 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘 租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 標定系統(tǒng)的組成 ： 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ②待標定傳感器； 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并 按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。對傳感器進行靜態(tài)標定時，首先要建立靜態(tài)標定系統(tǒng)。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 傳感器的 靜態(tài)標定設(shè)備 有：力標定設(shè)備，壓力標定設(shè)備，溫度標定設(shè)備等。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏 感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 對 標定 設(shè)備要求： 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ② 量程范圍應(yīng)與被標定傳 感器的量程相適應(yīng)； 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感 器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器 的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 通過確定其線性工作范圍 、 頻率響應(yīng)函數(shù) 、 幅頻特性和相頻特性曲線 、 階躍響應(yīng)曲線，來確定傳感器的頻率響應(yīng)范圍 、 幅值誤差和相位誤差 、 時間常數(shù) 、阻尼比 、 固有頻率等。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 動態(tài)標定的目的 是檢驗測試傳感器的動態(tài)性能指標。 1. 1 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔 曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 常用的標準動態(tài)激勵設(shè)備有 激振器、激波管、周期與非周期函數(shù)壓力發(fā)生器；（其中激振器可用于位移、速度、加速度、力、壓力傳感器的動態(tài)標定）。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉 茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 振幅測量法 為 絕對標定 法 ， 精度較高，但所需設(shè)備復(fù)雜，標定不方便，故常用于高精度傳感器與標準傳感器的標定 。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑 逆 迅 汾 技 眉 靴 斤 政 事 茲 騰 齊 熔 曉 茄 賂 雙 剛 鄭 顆 鞘 租 埃 毫 沼 遍 妨 蕭 頂 戎 丫 它 炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 1. 開發(fā)新型傳感器 。 1. 1 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ①利用新材料制作傳感器； 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感 器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ③采用新原理制作傳感器。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾 技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 2. 傳感檢測技術(shù)的智能化 ： 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 能同時檢測幾種物理量具有復(fù)合檢測功能的傳感器。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 生物傳感器 與微電子技術(shù)相結(jié)合，將開創(chuàng)人造器官的新時代。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛 鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 第二章 位移檢測傳感器 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 測量位移常用的方法有 ： 機械法 ， 光測法 ， 電測法 。 1. 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 電測法： 是利用各種傳感器將位移量變換成電量或電參數(shù)。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技 術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受 規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的 組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 (1)參量型位移傳感器 ： 將被測位移轉(zhuǎn)換為電參數(shù) ,如電阻、電容、電感等； 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾 擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 (3)大位移傳感器 ： 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電 一 體 化 系 統(tǒng) 常 用 傳 感 器 1. 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 電阻式位移傳感器 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一 般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 應(yīng)變片：被測量使三者均變化 傳感器與檢測技術(shù)教案 289 傳感器與檢測技術(shù)目錄傳感器與檢測技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝