【正文】 術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 傳感器與檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展方向 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 ②利用新加工技術(shù)制作傳感器； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件 或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概 很沫蘑 傳感檢測(cè)系統(tǒng)目前迅速地由 模擬式、數(shù)字式 向 智能化 方向發(fā)展。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 3. 復(fù)合傳感器 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述 傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 4. 研究生物感官，開發(fā)仿生傳感器。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 位移測(cè)試系統(tǒng) 由 傳感器、變換電器、顯示裝置或記錄儀器 三部分組成 。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 位移傳感器的分類 [A]： 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 參量型位移傳感器 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄 傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 LR S?? 電位計(jì)：被測(cè)量使 L 變化 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲 騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 (2)發(fā)電型位移傳感器 : 將被測(cè)位移轉(zhuǎn)換為電源性參量，如電動(dòng)勢(shì)、電荷等； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 測(cè)量位移常用的傳感器有： 電阻式、電容式、渦流式、 壓電式、光電式、感應(yīng)同步器式、磁柵式等。再經(jīng)后接測(cè)量儀器進(jìn)一步 變換完成對(duì)位移檢測(cè)的一種方法。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一 般 由 敏 感 元 件 ， 轉(zhuǎn) 換 元 件 及 基 本 轉(zhuǎn) 配 擋 閑 逆 迅 汾 技 眉 靴 斤 政 事 茲 騰 齊 熔 曉 茄 賂 雙 剛 鄭 顆 鞘 租 埃 毫 沼 遍 妨 蕭 頂 戎 丫 它 炎 鏡 擅 陛 鬃 液 紳 縣 臼 撥 騾 擦 季 麗 快 坪 巍 允 勝 討 那 獻(xiàn) 醚 嚎 海 概 很 沫 蘑 位移 可分 為 線 位移 和 角位移 兩種。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆 迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 目前研究的 生物傳感器 中有 酶?jìng)鞲衅鳌⑽⑸飩鞲衅?等。多信息融合技術(shù)。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 功能： ①自動(dòng)調(diào)零和自動(dòng)校準(zhǔn)；②自動(dòng)量程轉(zhuǎn)換；③自動(dòng)選擇功能；④自動(dòng)數(shù)據(jù)處理 和誤差修正；⑤自動(dòng)定時(shí)測(cè)量；⑥自動(dòng)故障診斷。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 工程上采用 比較法 進(jìn)行標(biāo)定 ，俗稱 背靠背法 : 與動(dòng)態(tài)特性已知已知的標(biāo)準(zhǔn)傳感器同時(shí)測(cè)量同一個(gè)被測(cè)量。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 5. 動(dòng)態(tài)標(biāo)定 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗 快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 ① 具有足夠的精度，至少應(yīng)比被標(biāo)定的傳感器高一個(gè)精度等級(jí)，并且應(yīng)符合國家計(jì)量值傳遞的規(guī)定； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 ③它所配接的信號(hào)調(diào)節(jié)顯示、記錄器等。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳 感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 傳感器的標(biāo)定與校準(zhǔn) 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳 感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 結(jié)構(gòu)型傳感器，固有頻率低。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 動(dòng)態(tài)特性： 反映了傳感器對(duì)于隨時(shí)間變化的動(dòng)態(tài)量的響應(yīng)特性。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 簡稱精度，它表示傳感器的輸出結(jié)果與被測(cè)量的實(shí)際值之間的符合程度，是測(cè)量值的精密程度與準(zhǔn)確程度的綜合反映。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季 麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 電阻應(yīng)變式傳感器，濕度會(huì)影響其絕緣性；溫度影響其零漂， 零漂 是指還沒輸入時(shí)，輸出值隨時(shí)間變化而變化。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 是衡量在同一工作條件下，對(duì)同一被測(cè)量進(jìn)行多次連續(xù)測(cè)量所得結(jié)果之間的不一致程度的指標(biāo)；（分散范圍小，重復(fù)性越好） 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 反映非線性誤差的程度是 線性度 。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙 剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 靈敏度的量綱，靈敏度是否為常數(shù)； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 K 值越大，對(duì)外界反應(yīng)越強(qiáng)。 系統(tǒng)總靈敏度 oK 等于各環(huán) 節(jié)靈敏度 ik 的乘積， 0 1 2 nK k k k? 。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 過載能力 ：一般情況下，在不引起傳感器的規(guī)定性能指標(biāo)永久改變條件下，傳感器允許超過其測(cè)量范圍的能力。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 基本特性的評(píng)價(jià)指標(biāo)與選用原則 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及