【正文】 判斷氣體的相關(guān)信息。這是金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器的氣敏特性。當(dāng)氧化物與還原 性氣體（氫氣，一氧化碳，硫化氫等）接觸是時電子從還原性氣體轉(zhuǎn)移到氧化物表面，兩者發(fā)生氧化還原反應(yīng)，氧化物帶負(fù)電荷，導(dǎo)致金屬氧化物電阻率發(fā)生變化，在氧化物表面與內(nèi)部形成電場，這一電場可以阻止電子從還原性氣體向金屬氧化物轉(zhuǎn)移，維持金屬氧化物內(nèi)外的平衡狀態(tài)。這是傳感器的氣敏機(jī)理。 靈敏度是指被測氣體的濃度變化引起元件阻值的變化的程度 [26]。要想提高傳感器的靈敏度，主要從兩方面入手：優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)和對傳感器的材料精益求精。我們定義，氣敏元件在空氣中的阻值為 Ra，在不同濃度的待測氣體中阻值為 Rg，因此，氣敏元件的靈敏度可以定義為S=Ra/Rg[27]。圖 是花狀的氧化鋅對同一溫度（ 150℃ ）、同一濃度（ 100 ppm）的不同氣體的反應(yīng)程度。很明顯，所制備的傳感器對硫化氫H2S 響應(yīng)良好，靈敏度高，而對其他幾種氣體反應(yīng)不明顯。同時，二者可以還發(fā)生了脫硫反應(yīng)生成了硫單質(zhì)。 圖 ZnO對不同氣體的響應(yīng)程度 第 22 頁（ 共 27 頁） 圖 溫度對 ZnO靈敏度的影響 圖 是所制得傳感器對同一濃度的不同濃度的氣體（上邊為乙醇，下面是丙酮）的靈敏度與工作溫度的關(guān)系曲線。 這也要求我們針對不同的需求制造不同種類的傳感器滿足工業(yè)的要求。不同溫度下的氣體對同一傳感器影響也大不相同。圖中兩種氣體的濃度為一樣。丙酮傳感器的靈敏度在 263℃靈敏度最大。 主要原因是 ZnO 表面原子受溫度的影響，能級不穩(wěn)定，發(fā)生遷躍，也會影響吸附氧氣的數(shù)量。當(dāng)溫度過高時 ZnO 表面原子的 第 23 頁（ 共 27 頁） 性能會遭到破壞，氧氣受熱膨脹，與傳感器的接觸面積減小，吸附氧氣的數(shù)量也會減少，進(jìn)而影響傳感器響應(yīng)速度。 小結(jié) 試驗中我們首先制備了納米級 ZnO,通過 XRD、 TEM、 SEM，對所制備的氧化鋅納米材料進(jìn)行表征，對它的生長機(jī)理有了清晰地認(rèn)識。結(jié)果表明，氧化鋅納米材料氣體傳感器在 150℃ 時，對 H2S 有較好的選擇性，靈敏度。本文中我們首先介紹了納米技術(shù)及納米材料，使人們對納米材料有了初步的認(rèn)識。詳細(xì)分析了氧化鋅納米材料的生長機(jī)理，并且討論了它的靈敏度、選擇性、穩(wěn)定性以及對氣體的響應(yīng)時間和反應(yīng)速度。 由于氧化鋅的廣泛應(yīng)用和良好的市場的前景，氧化鋅的納米材料的開發(fā)與應(yīng)用已引起世界各方面的高度關(guān)注。但是，納米技術(shù)的應(yīng)用剛剛起步，需要我們深入研究探討?？偟膩碚f，納米材料研究主要包括 ① 納米結(jié)構(gòu)的研究和性能的分析，表征； ② 納米材料的合理制備； ③ 納米材料形狀，大小的可控研究； ④ 納米 材料的工業(yè)化生產(chǎn)及可控研究。這些問題一旦解決，納米技術(shù)的發(fā)展就會如虎添翼，突飛猛進(jìn)。西安工業(yè)大學(xué)， 第 26 頁（ 共 27 頁） 2020:29. [18] 孫鵬 .基于分等級結(jié)構(gòu)氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器的研究 [D].吉林：吉林大 學(xué)， 2020:14. [19] 邱美艷 .薄膜型氣體傳感器的研究與制備 [D].河北：河北工業(yè)大學(xué)， 2020. [20] 王建章 .溶膠 凝膠法制備氧化鉺粉體及粉體形態(tài)控制 [D].哈爾濱：哈爾 濱工業(yè)大學(xué)， 2020. [21] 周向紅，劉楊， 藏嘉澍 .關(guān)于水熱反應(yīng)產(chǎn)氫的研究 [J].科技致富向?qū)В?2020， （ 12）： 168170. [22] 曹陽 .分等級 ZnO納米結(jié)構(gòu)的制備及其氣敏特性的研究 [D].吉林：吉林大 學(xué)， 2020. [23] 張敏 .液相法制備特殊形貌 ZnO及其光催化性能研究 [D].武漢理工大學(xué)， 2020. [25] 任斌 .CaO基 CO2吸附劑的制備及性能研究 [D].南京工業(yè)大學(xué)， 2020. [26] 劉新，李淑娥 .氣體傳感器的應(yīng)用與發(fā)展 [J].中國西部科技， 2020，（ 14）： 1315. [27] 吳娜 .甲醛氣敏元件研制及靈敏度特性研究 [D].大連：大連理工大學(xué)， 2020:64. The preparation of zinc oxide nanomaterials And the research of gas sensitive characteristic WangYang 第 27 頁（ 共 27 頁） Abstract: In this work, hierarchical ZnO materials were successfully synthesized by hydrothermal synthesis method in the presence of two water zinc acetate (C4H10O6Zn) and hydrazine hydrate (N2H4?H2O) as raw material, we can represent and analysis of the sample by using Xray diffraction (XRD), Scanning electron microscope (SEM), Transmission electron microscopy (TEM) and photoluminescence. Through cross experiment to analyze its growth mechanism and research gas sensitive. By ZnO sensitive materials for the substrate material, we can obtain gas sensor and the gas position and its content. Keywords： Hydrothermal method。 The sensor。盡我所知，除文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，不包含其他人或組織已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得 及其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的材料。 作 者 簽 名： 日 期： 指導(dǎo)教師簽名： 日 期： 使用授權(quán)說明 本人完全了解 大學(xué)關(guān)于收集、保存、使用畢業(yè)設(shè)計（ 論文）的規(guī)定，即：按照學(xué)校要求提交畢業(yè)設(shè)計（論文）的印刷本和電子版本；學(xué)校有權(quán)保存畢業(yè)設(shè)計（論文）的印刷本和電子版，并提供目錄檢索與閱覽服務(wù)；學(xué)?？梢圆捎糜坝?、縮印、數(shù)字化或其它復(fù)制手段保存論文；在不以贏利為目的前提下，學(xué)?？梢怨颊撐牡牟糠只蛉績?nèi)容。除了文中特別加以標(biāo)注引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體已 經(jīng)發(fā)表或撰寫的成果作品。本人完全意識到本聲明的法律后果由本人承擔(dān)。本人授權(quán) 大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編本學(xué)位論文。 作者簽名： 日期： 年 月 日 導(dǎo)師簽名： 日期： 年 月 日 第 30 頁（ 共 27 頁） 注 意 事 項 （論文）的內(nèi)容包括： 1）封面（按教務(wù)處制定的標(biāo)準(zhǔn)封面格式制作） 2）原創(chuàng)性聲明 3）中文摘要（ 300 字左右）、關(guān)鍵詞 4）外文摘要、關(guān)鍵詞 5）目次頁（附件不統(tǒng)一編入） 6）論文主體部分：引言（或緒論）、正文、結(jié)論 7）參考文獻(xiàn) 8）致謝 9）附錄（對論文支持必要時） ：理工類設(shè)計（論文）正文字?jǐn)?shù)不少于 1 萬字（不包括圖紙、程 序清單等），文科類論文正文字?jǐn)?shù)不少于 萬字。 、圖表要求： 1）文字通順，語言流暢，書寫字跡工整，打印字體及大小符合要求，無錯別字，不準(zhǔn)請他人代寫 2）工程設(shè)計類題目的圖紙，要求部分用尺規(guī)繪制，部分用計算機(jī)繪制，所有圖紙應(yīng)符合國家技術(shù)