【正文】 ...................................................................................................................(1) 第一章 緒論 ........................................................................................................(2) 納米技術(shù)簡(jiǎn)介 ................................................................................................(2) 納米技術(shù)的簡(jiǎn)介 ......................................................................................(2) 納米技術(shù)的含義 ......................................................................................(4) 納米材料含義 ..........................................................................................(5) ZnO 納米材料 .................................................................................................(6) ZnO 納米材料簡(jiǎn)介 ..................................................................................(6) ZnO 納米材料的分類 ..............................................................................(8) ZnO 半導(dǎo)體氣體傳感器 .................................................................................(9) 半導(dǎo)體氣體傳感器原理 .........................................................................(9) ZnO 半導(dǎo)體氣體傳感器分類 ................................................................ (10) 半導(dǎo)體氣體傳感器性能指標(biāo) ................................................................ (10) 制備方法及研究現(xiàn)狀 ................................................................................... (11) 第二章 ZnO納米材料的制備 ................................................................. (13) 實(shí)驗(yàn)所用材料及儀器 ................................................................................... (13) ZnO 制備原理及過程 ................................................................................... (13) 實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析與 討論 ................................................................................... (17) ZnO 氣體傳感器的氣敏機(jī)理 ....................................................................... (19) ZnO 氣體傳感器的性能測(cè)試 ....................................................................... (20) 小結(jié) ............................................................................................................... (23) 第三章 納米材料的現(xiàn)狀及前景 ............................................................. (24) 參 考文獻(xiàn) .............................................................................................................. (25) Abstract ................................................................................................................ (27) 第 1 頁(yè)（ 共 27 頁(yè)） 氧化鋅納米材料的制備及其氣敏性特性研究 作 者：王 洋 指導(dǎo)老師：徐秀梅 摘要： 以二水乙酸鋅（ C4H10O6Zn） 和水合肼（ N2H4?H2O）為原料，采用低溫水熱制備分等級(jí) ZnO 納米材料，通過（ XRD），透射電鏡（ TEM），掃描電子顯微鏡（ SEM），光致發(fā)光譜等 [1]對(duì)所制備的氧化鋅樣品進(jìn)行表征并分析晶體結(jié)構(gòu)，通過交叉實(shí)驗(yàn)分析其生長(zhǎng)機(jī)理，進(jìn)而進(jìn)行氣敏性的研究。檢測(cè) 所測(cè)氣體的組成及其含量由氣體傳感器完成，而氣體傳感器由 ZnO 敏感材料為基體材料制得進(jìn)行。人類社會(huì)已經(jīng)經(jīng)歷了兩次工業(yè)革命，這兩次工業(yè)革命給人類帶來(lái)了極大的便利，但是也帶來(lái)了一系列問題。慶幸的是，越來(lái)越多的人注意到了大氣問題對(duì)人與自然所造成的危害，開始關(guān)注這一問題，關(guān)注 人類自身的健康與安全。 各種各樣的氣體在人們的生活中必不可少，無(wú)法替代。因此開發(fā)和研究高性能的氣體傳感器是未來(lái)的趨勢(shì)。其中 ZnO 半導(dǎo)體氣體傳感器以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì) —— 對(duì)氣體反應(yīng)迅速，耗電量少，適合帶出去，可靠系數(shù)高等，在眾多傳感器中鶴立雞群，被廣泛應(yīng)用。納米技術(shù)主要包括：納米粒子的測(cè)量、加工、制備、組裝技術(shù)；納米材料；納米生物學(xué)技術(shù)；納米物理學(xué)；納米化學(xué)等 [3]。納米電子學(xué)是納米 技術(shù)最重要的內(nèi)容，也是我們研究的主要內(nèi)容。未來(lái)，納米技術(shù)的發(fā)展一定會(huì)影響人類的生產(chǎn)生活方式。 納米技術(shù)的概念最早由加州理工大學(xué)的費(fèi)曼教授在 1959 年提出的，這一概念在 1990 年由 IBM 公司的科學(xué)家做出了證明。納米材料的制備主要存在三個(gè)問題：材料結(jié)構(gòu)的尺寸是否達(dá)到納米級(jí)、材料純度是否足夠高、所得材料的成份是否合理。納米技術(shù)是一種高新技術(shù)，應(yīng)用前景廣闊，屬于朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè)，人們的研究主要集中在基礎(chǔ)的理論研究和實(shí)際應(yīng)用兩個(gè)方面。我 國(guó)曾召開納米科技發(fā)展戰(zhàn)略研 第 4 頁(yè)（ 共 27 頁(yè)） 討大會(huì)，制訂了一系列的的扶持政策及法律，極大地推動(dòng)了我國(guó)納米技術(shù)的發(fā)展。 納米技術(shù)的含義 納米（ nm），一種長(zhǎng)度單位， 1 nm=109 m 的長(zhǎng)度。納米技術(shù)，從微觀上來(lái)說，是指尺寸在 nm 范圍內(nèi)，研究原子、分子和電子內(nèi)部運(yùn)動(dòng)規(guī)律和特性的一項(xiàng)嶄新技術(shù) [3]。但是，對(duì)納米材料進(jìn)行簡(jiǎn)單的加 工并不能稱之為納米技術(shù)，因?yàn)樗鼪]有表現(xiàn)出任何新的結(jié)構(gòu)和性能。納米技術(shù)是一門交叉性很強(qiáng)的綜合學(xué)科，研究的內(nèi)容涉及現(xiàn)代科技的廣闊領(lǐng)域。其中