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doe基礎(chǔ)知識(shí)(minitab軟件操作實(shí)例講解doe)65152582-在線瀏覽

2025-04-09 13:02本頁(yè)面
  

【正文】 意義的母數(shù)因子( Fix Factor)。如計(jì)量因子:溫度 /壓力等;計(jì)數(shù)因子:原料種類等 ● 水準(zhǔn)( LEVEL) 因子的“水準(zhǔn)”是為了實(shí)驗(yàn)而指定的因子賦予的值。如: 100度溫度下,壓力 1氣壓 ● 處理組合( Treatment Combination) 是指因子各水準(zhǔn)的組合。 2) 確定因子水準(zhǔn)表 。 4) 制訂實(shí)驗(yàn)計(jì)劃表 。 6) 對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析 ,得出因子的的主次關(guān)系和較優(yōu)水準(zhǔn)組合 DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)例題 ? 通過(guò)測(cè)定和分析后,知道影響半導(dǎo)體制造合格率的主要因子是溫度,濃度和壓力 ? 實(shí)驗(yàn)?zāi)康? 掌握合格率與反映溫度,濃度和壓力的關(guān)系,選定使合格率最大化的最合適工程條件 ? 因子的各水準(zhǔn) A 反應(yīng)溫度( ℃ ): 160 ℃ ( 1) 180 ℃ ( +1) B 濃度( %): 20% ( 1) 40% ( +1) C 壓力 ( Psi): 5PSI ( 1) 10PSI( +1) DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)例題 實(shí)驗(yàn)順序 反應(yīng)溫度 ( A) 濃度 ( B) 壓力 ( C) A*B A*C B*C A*B*C 合格率( %) 1 1 1 1 1 1 1 1 60 2 1 1 1 1 1 1 1 72 3 1 1 1 1 1 1 1 54 4 1 1 1 1 1 1 1 68 5 1 1 1 1 1 1 1 52 6 1 1 1 1 1 1 1 83 7 1 1 1 1 1 1 1 45 8 1 1 1 1 1 1 1 80 區(qū)分 A B C A*B A*C B*C A*B*C 總和 211 267 254 254 237 257 256 總和 + 303 247 260 260 277 257 258 差 92 20 6 6 40 0 2 平均效果 23 5 15 10 0 DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)使用 Minitab操作步驟 ? 階段 1 實(shí)際問(wèn)題記述 ? 階段 2 記述關(guān)心的要因和水準(zhǔn) ,使用 MINITAB來(lái)制訂實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表 ,盡 可能把所有的反應(yīng)值在一列中記錄 ,所有的輸入變量 (要因 )的水準(zhǔn)記入記錄已知道的值的列中。(使用最合適化) ? 階段 10 再現(xiàn)最適合條件。 DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)使用 Minitab操作事例 階段 4 通過(guò)圖表分析,分析主效果和交互作用效果 stat/DOE/Factorial Plots。 DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)使用 Minitab操作事例 階段 5 制訂完全模型( Full mode I)的 ANOVA表 DOE基礎(chǔ)知識(shí) 完全要因?qū)嶒?yàn)使用 Minitab操作事例 stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design Graphs/Effects Plots(normal or pareto) 階段 5 制訂完全模型( Full mode
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