doe基礎(chǔ)知識(minitab軟件操作實例講解doe)-在線瀏覽
2025-04-09 13:00本頁面
【正文】 礎(chǔ)知識 實驗計劃法概要 ? DOE用語整理 ● 因子（ Factors） 是指影響輸出變量（ Y）的輸入變量（ X），即具有溫度 /壓力 /作業(yè)方法等技術(shù)水準 意義的母數(shù)因子（ Fix Factor）。如計量因子：溫度 /壓力等；計數(shù)因子：原料種類等 ● 水準（ LEVEL） 因子的 “ 水準 ” 是為了實驗而指定的因子賦予的值。如： 100度溫度下，壓力 1氣壓 ● 處理組合（ Treatment Combination） 是指因子各水準的組合。 2) 確定因子水準表 。 4) 制訂實驗計劃表 。 6) 對實驗結(jié)果進行統(tǒng)計分析 ,得出因子的的主次關(guān)系和較優(yōu)水準組合 DOE基礎(chǔ)知識 完全要因?qū)嶒灷} ? 通過測定和分析后，知道影響半導體制造合格率的主要因子是溫度，濃度和壓力 ? 實驗目的 掌握合格率與反映溫度，濃度和壓力的關(guān)系，選定使合格率最大化的最合適工程條件 ? 因子的各水準 A 反應(yīng)溫度（ ℃ ）： 160 ℃ （ 1） 180 ℃ （ +1） B 濃度（ %）： 20% （ 1） 40% （ +1） C 壓力 （ Psi）： 5PSI （ 1） 10PSI（ +1） DOE基礎(chǔ)知識 完全要因?qū)嶒灷} 實驗順序 反應(yīng)溫度 （ A） 濃度 （ B） 壓力 （ C） A*B A*C B*C A*B*C 合格率（ %） 1 1 1 1 1 1 1 1 60 2 1 1 1 1 1 1 1 72 3 1 1 1 1 1 1 1 54 4 1 1 1 1 1 1 1 68 5 1 1 1 1 1 1 1 52 6 1 1 1 1 1 1 1 83 7 1 1 1 1 1 1 1 45 8 1 1 1 1 1 1 1 80 區(qū)分 A B C A*B A*C B*C A*B*C 總和 211 267 254 254 237 257 256 總和 + 303 247 260 260 277 257 258 差 92 20 6 6 40 0 2 平均效果 23 5 15 10 0 DOE基礎(chǔ)知識 完全要因?qū)嶒炇褂?Minitab操作步驟 ? 階段 1 實際問題記述 ? 階段 2 記述關(guān)心的要因和水準 ,使用 MINITAB來制訂實驗數(shù)據(jù)表 ,盡 可能把所有的反應(yīng)值在一列中記錄 ,所有的輸入變量 (要因 )的水準記入記錄已知道的值的列中。（使用最合適化） ? 階段 10 再現(xiàn)最適合條件。 DOE基礎(chǔ)知識 完全要因?qū)嶒炇褂?Minitab操作事例 階段 4 通過圖表分析，分析主效果和交互作用效果 stat/DOE/Factorial Plots。 DOE基礎(chǔ)知識 完全要因?qū)嶒炇褂?Minitab操作事例 階段 5 制訂完全模型（ Full mode I）的 ANOVA表 DOE基
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