【正文】 主要對(duì)象來分類。 圖十六 單向流氣流流型 ② 非單向流（亂流）潔凈室 圖十七 非單向流氣流流型 ③ 混合流潔凈室 圖十八 混合流氣流流型 ④ 矢流（對(duì)角流）潔凈室 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 12 圖十九 矢流氣流流型 ⑤ 各種氣流的特點(diǎn)、創(chuàng)造的潔凈度、應(yīng)用范圍和投資運(yùn)行費(fèi)。包括有垂直單向流 和水平單向流。這種氣流能創(chuàng)造 100 級(jí)、 10 級(jí)、 1 級(jí)或更高潔凈級(jí)別。 水平單向流是氣流以一定的速度（ ~）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍?。其初投資和運(yùn)行費(fèi)低于垂直單向流流型。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)；回風(fēng)的型式有下部回風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)和頂部 回風(fēng)等。 ▲ 混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。 ▲ 舉例給出不同氣流流型的送風(fēng)量、耗冷量、初投資和運(yùn)行耗電的具體指標(biāo)見表一，此指標(biāo)是以電子工業(yè)潔凈廠房為代表，具體數(shù)據(jù)有參考價(jià)值，但不能隨便套用。 表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。 表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。用于電子、航天、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥??。用于生物制藥、醫(yī)療、食品、生物工程、動(dòng)物飼養(yǎng)、生物安全等??。 微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會(huì)誘發(fā)二次污染（代謝物、糞便）。粗、中、高三級(jí)過濾，粗、中、高、超高四級(jí)過濾和化學(xué)過濾器等。過濾和滅菌等。 控制微生物的產(chǎn)生、繁殖和傳播，同時(shí)控制其代謝物。 有害的微生物達(dá)到一定的濃度以后才能夠成危害。 對(duì)人和物進(jìn)入 的控制 人進(jìn)入要換鞋、更衣、吹淋。人和物要分流，潔污要分流。 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 16 檢測 灰塵粒子可用粒子計(jì)數(shù)器檢測瞬時(shí)粒子濃度并顯示和打印。 5．潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 ISO14644 是國際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國原來應(yīng)用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209A、 B、 C、 D、 E，現(xiàn)在美國也不用了。 ISO14644 的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)列表四如下。 ② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。 ④ 根據(jù)要求粒徑 D 的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑 m~5μ m） ()10C ?? （個(gè) /m3） 式中 N 為潔凈度等級(jí)在 1~9 級(jí)中間可以 為最小單位遞增量插入。 表五 國際標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 與各國標(biāo)準(zhǔn)的比較表 國際標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 中國標(biāo)準(zhǔn) GB 50073 美國標(biāo)準(zhǔn) FS 209E 俄國標(biāo)準(zhǔn) TOCT 50766 日本標(biāo)準(zhǔn) TIS 9920 德國標(biāo)準(zhǔn) / / / P0 / / 1 1 / P1 1 1 2 2 / P2 2 2 3 3 P3 3 3 4 4 P4 4 4 5 5 P5 5 5 6 6 P6 6 6 7 7 P7 7 7 8 8 P8 8 8 9 9 / P9 / 9 二．潔凈室的建造特點(diǎn) （一）建造投資費(fèi)用高 高級(jí)別潔凈室的建造費(fèi)用很高，一般來說， 100 級(jí)垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管道配件、凈化設(shè)備和配件等）的初投資大約為 10000 元人民幣 /m2；如果加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費(fèi)用要高達(dá)25000~30000 元人民幣 / m2。在中心部位的 10000 m2 潔凈室中有 4000 m2 的 1 級(jí)、 10 級(jí)和 100 級(jí)的垂直單向流 潔凈室，另外 6000 m2分別為 1000 級(jí)和 10000 級(jí)的非單向流潔凈室，總送風(fēng)量約 6,400,000 m3/h。 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 18 該項(xiàng)目總投資約 100 億人民幣，其中動(dòng)力設(shè)備和土建投資為 20 億人民幣，占總投資的五分之一。 （二）運(yùn)行管理費(fèi)用大 因?yàn)楦呒?jí)別潔凈室凈化風(fēng)量大，新風(fēng)量也大，溫濕度要求嚴(yán)格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多 ，運(yùn)行費(fèi)用貴。全年空調(diào)凈化系統(tǒng)本身的運(yùn)行費(fèi)用就高達(dá) 7659 萬元人民幣。 （三）靈活適應(yīng)性強(qiáng) 因?yàn)?，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展 2~3 年就更新一代， TFTLCD 的發(fā)展速度更快 1~2 年就上一個(gè)臺(tái)階。因?yàn)榻ㄔ煲粋€(gè)潔凈廠房是百年大計(jì)，不是一、二年就會(huì)拆掉重建。從一個(gè)潔凈廠房的靈活適應(yīng)角度，可將其分為三個(gè)層次，第一是不可變的部分。如基礎(chǔ)、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如動(dòng)力、空氣 、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。但是為了生產(chǎn)出高可靠、高質(zhì)量的高科技產(chǎn)品也必須具備這樣的生產(chǎn)環(huán)境。為了達(dá)此目的，設(shè)計(jì)和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。這一點(diǎn)絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 19 能有效益，才能達(dá) 到建造潔凈室的目的。①調(diào)試前的準(zhǔn)備工作。③聯(lián)動(dòng)調(diào)試。 （一）調(diào)試前的準(zhǔn)備工作 調(diào)試的組織準(zhǔn)備： 成立以建設(shè)單位（業(yè)主）為組長的有設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位人員參加的調(diào)試小組。 編制調(diào)試大綱 在調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)和組織下，編制調(diào)試大綱。調(diào)試大綱的內(nèi) 容包括：組織分工、人員安排、物資調(diào)動(dòng)；調(diào)試項(xiàng)目、調(diào)試方法、調(diào)試儀表；調(diào)試程序、調(diào)試進(jìn)度、調(diào)試計(jì)劃安排等。 施工現(xiàn)場質(zhì)量的會(huì)檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調(diào)機(jī)房到供冷、供熱、供電系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)?？词欠癜磮D施工、查與設(shè)計(jì)圖不符之處，找施工質(zhì)量不合格項(xiàng)目并查其原因。 空調(diào)設(shè)備、空調(diào)系統(tǒng)的清掃： ①調(diào)試之前對(duì)潔凈室進(jìn)行全面、徹底的清掃是十分必要的。達(dá) 到潔凈要求為止。在徹底清掃的基礎(chǔ)上，安裝空調(diào)器內(nèi)的粗效和中效過濾器。 ③安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前，要求對(duì)其逐一進(jìn)行檢漏，對(duì)有泄漏者進(jìn)行堵漏。被檢合格的高效過濾器方能進(jìn)行安裝，安裝完畢后對(duì)高效過濾器的安裝密封再進(jìn)行檢漏（利用塵埃粒子計(jì)數(shù)器掃描），達(dá)到安裝合格?？沾禃r(shí)間24 小時(shí)，然后方可進(jìn)行入調(diào)試程序。所用的儀表包括測量風(fēng)速、風(fēng)量、溫度、相對(duì)濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、轉(zhuǎn)數(shù)、時(shí)間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。 ③調(diào)試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準(zhǔn)備。單機(jī)試車的目的是對(duì)這些設(shè)備、配件的安裝質(zhì)量和產(chǎn)品出廠質(zhì)量的檢查和考核。即首先對(duì)供水供電的設(shè)備和系統(tǒng)進(jìn)行檢查和考核。要保證供水、供電的正常、可靠?？词欠衲軡M足設(shè)計(jì)要求和正常運(yùn)行。如果出現(xiàn)故障和發(fā)現(xiàn)問題，應(yīng)立即排除。單機(jī)試車為聯(lián)動(dòng)調(diào)試做好各個(gè)單體設(shè)備的準(zhǔn)備工作。 風(fēng)量分配： 風(fēng)量分配即將各個(gè)潔凈室的送 風(fēng)量、回風(fēng)量、新風(fēng)量、排風(fēng)量全部按設(shè)計(jì)要求調(diào)整到設(shè)計(jì)風(fēng)量。因此，風(fēng)量分配調(diào)試工作是一項(xiàng)工作量大、時(shí)間長、耐心細(xì)致的工作。常用的風(fēng)量分配調(diào)試方法采用標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法。因?yàn)樗鼈冎g都是相通的，當(dāng)調(diào)整某一個(gè)風(fēng)口送風(fēng)的風(fēng)量時(shí)其他送風(fēng)口的風(fēng)量也會(huì)跟其變化。 所謂標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法，就是在風(fēng)量分配之前，將所有閥門都開 到最大的情況下，在所有的送風(fēng)口這中找到最不利的送風(fēng)口（送風(fēng)量最小的送風(fēng)口），將此風(fēng)口作為標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口。然后調(diào)整其它所有風(fēng)口風(fēng)量。 當(dāng)一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)負(fù)責(zé)多個(gè)潔凈室空調(diào)時(shí)，調(diào)試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進(jìn)行，對(duì)各潔凈室首先調(diào)整其送風(fēng)量的相對(duì)關(guān)系量，然后，再用系統(tǒng)的總閥門來 將每個(gè)送風(fēng)口，每個(gè)潔凈室的送風(fēng)量都調(diào)整為真實(shí)的設(shè)計(jì)送風(fēng)量。聯(lián)動(dòng)調(diào)試就將凈化空調(diào)系統(tǒng)和為凈化空調(diào)系統(tǒng)服務(wù)的所有系統(tǒng)即：供冷系統(tǒng)（冷凍機(jī)、冷卻塔、水泵以及供冷系統(tǒng)上所有的配件）、供熱系統(tǒng)（鍋爐、水泵以及供熱系統(tǒng)上所有配件）、供電系統(tǒng)（配電箱、變頻器??）和自動(dòng)控制系統(tǒng)全部投入運(yùn)行，考核各系統(tǒng)的綜合性能和聯(lián)動(dòng)性能。 （四）潔 凈室的性能測試和綜合評(píng)價(jià) 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 22 在風(fēng)量調(diào)整和聯(lián)動(dòng)調(diào)試的基礎(chǔ)上，潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)以及為其服務(wù)的所有系統(tǒng)，均處于正常運(yùn)行狀態(tài)。 潔凈室的性能測試： 潔凈室性能測試內(nèi)容包括： 潔凈度測試、風(fēng)量測試、正壓測試、風(fēng)速測試（單向流潔凈室 ）溫度、相對(duì)濕度測試、噪聲測試等。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣量要大于 1 升 /分；每個(gè)采樣點(diǎn)連續(xù)有效采樣三次。全部測點(diǎn)的測量值 的平均值作為潔凈室的潔凈度。 斷面風(fēng)速的測量：距吊頂上送風(fēng)高效過濾器（ HEPA） 300mm 處布置測點(diǎn)，測點(diǎn)間距為 600mm，用熱球風(fēng)速儀測其各點(diǎn)風(fēng)速。方法是用比托管和微壓差計(jì)，測風(fēng)管內(nèi)各點(diǎn)的動(dòng)壓，測點(diǎn)間距為 100mm。 ③正壓測試：在關(guān)門的狀態(tài)下，測潔凈室的正壓。 潔凈室的綜合評(píng)價(jià)。 四．潔凈室的性能測試 (一 ) 潔凈室性能測試的目的 潔凈室性能測試的目的主要有兩項(xiàng)：其一是為了潔凈室的竣工驗(yàn)收，其二是為了檢查潔凈室的運(yùn)行是否正常。潔凈室性能的綜合評(píng)價(jià)是潔凈室工程竣工驗(yàn)收的重要環(huán)節(jié)，而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評(píng)價(jià)的基礎(chǔ)。其中主要三項(xiàng)是，潔凈度，風(fēng)量和室內(nèi)靜壓。 表十四 潔凈室性能測試的內(nèi)容和頻數(shù) 潔凈度等級(jí) 項(xiàng)目 1~3 6 7 9 溫度 循環(huán)監(jiān) 測 每班二次 濕度 循環(huán)監(jiān) 測 每班二次 壓差值 循環(huán)監(jiān) 測 每周一次 每月一次 潔凈度 循環(huán)監(jiān) 測 每周一次 每 3 個(gè)月一次 每 6 個(gè)月一次 風(fēng)量 循環(huán)監(jiān) 測 不得超過 12 個(gè)月 （二）潔凈室性能測試的內(nèi)容 表十五 潔凈室檢測內(nèi)容 序號(hào) 測試項(xiàng)目 JGJ7190 規(guī)定 GB500732020規(guī)定 低于 100級(jí) 100 級(jí) 1000 級(jí)及以下 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 24 1 室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總風(fēng)量，室內(nèi)排風(fēng)量， 檢測 檢測 2 靜壓差 檢測 檢測 3 風(fēng)速和風(fēng) 量 檢測 不 測 檢測 4 斷面風(fēng)速不均勻度 檢測 必要時(shí)測 不測 未規(guī)定 5 潔凈度級(jí) 別 檢測 檢測 6 浮游菌和 沉降菌 必要時(shí)測 選測 7 室內(nèi)溫度和室內(nèi)相對(duì)濕度 檢測 選測 8 溫濕度波動(dòng)范圍和區(qū)域溫差 必要時(shí)測 未規(guī)定 9 室內(nèi)噪聲 級(jí) 檢測 選測 10 室內(nèi)倍頻程聲壓級(jí) 必要時(shí)測 選測 11 室內(nèi)照度及其均勻度 檢測 選測 12 室內(nèi)微振 必要時(shí)測 必要時(shí)測 13 表面導(dǎo)靜 電性 必要時(shí)測 必要時(shí)測 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 25 14 室內(nèi)氣流 流型 不測 必要時(shí)測 選測 15 流線平行 度 檢測 必要時(shí)測 不測 必要時(shí)測 16 自凈時(shí)間 不測 必要時(shí)測 必要時(shí)測 選測 17 過濾器安 裝檢漏 未規(guī)定 選測 18 污染泄漏 未規(guī)定 選測 （三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表 （三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表 風(fēng)壓測試儀器：主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測量風(fēng)速，計(jì)算風(fēng)量。 常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。 ②彈簧壓力計(jì)：彈簧壓力計(jì)是根據(jù)彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測壓力成函數(shù)關(guān)系這一原理制成的，其優(yōu)點(diǎn)是構(gòu)造簡單、便于攜帶、安裝方便、價(jià)格低廉。 ③ 電學(xué)壓力計(jì)：電學(xué)壓力計(jì)是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學(xué)方法來測定壓力的壓力計(jì)，適用于測量變化極快、數(shù)值很高或近乎絕對(duì)真空時(shí)的壓力。 a．機(jī)械式風(fēng)速儀：如翼形風(fēng)速儀，它是利用流動(dòng)氣體的原動(dòng)壓推動(dòng)機(jī)械裝置來顯示其流速的儀表。 常用的散熱率式風(fēng)速儀有：熱線風(fēng)速儀和熱球風(fēng)速儀等。 ③ 潔凈度測試儀： a．塵埃粒子的檢測儀表：目前潔凈室潔凈度的檢測主要用光散射塵埃粒子計(jì)數(shù)器，它又分為白只 光塵埃粒子計(jì)數(shù)器和激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。 b．生物粒子的檢測儀表：目前生物粒子的檢測方法主要有采用培養(yǎng)基法和濾膜法，所用的儀器分浮游菌采樣器和沉降菌采樣器。 沉降菌采樣器主要 有：高壓消毒鍋、恒溫培養(yǎng)箱和培養(yǎng)皿等。 a．膨脹式溫度計(jì)：分固體膨脹式溫度計(jì)和液體膨脹式溫度計(jì)。 c．熱電偶溫度計(jì)：是根據(jù)熱電效應(yīng)原理制成的，當(dāng)兩種不同金屬節(jié)點(diǎn)溫度不同時(shí)就會(huì)有電動(dòng)勢(shì)，如已知一點(diǎn)溫度，測出電動(dòng)勢(shì)就可推算另一點(diǎn)的溫度。 電阻溫度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)有：精確度靈敏度高、反應(yīng)快；測溫范圍寬；不需冷節(jié)點(diǎn)補(bǔ)償；可用于遠(yuǎn)距離溫度測量。 ⑥ 噪聲測試儀：噪聲測試儀它的原理是用電容式傳聲器將聲能變?yōu)殡娔埽俳?jīng)放大器、檢波器等一系列處理，最后給出聲壓值。 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 27 （四）潔凈室性能測試的方法 1．