外文翻譯---二硫化鉬潤滑膜的濺射：原理、具體操作、局限性-在線瀏覽
2024-10-02 17:09本頁面
【正文】 基底模數(shù)，降低接觸面面積，如圖2所示[5],對于一個低摩擦系數(shù)和可接受的摩擦表面。如圖3所示。4. 選擇合適的建設條件通過改變?yōu)R射條件如射頻功率和氬氣壓力、不同的化學計量法、密度、形態(tài)、附著力會生產(chǎn)出MoSx固體潤滑膜，因此濺射生成的MoSx膜表現(xiàn)出不同的摩擦性能。例如用MRC8667射頻磁控濺射系統(tǒng)濺射值從550毫托不等，射頻功率也從150W1000W不等，生產(chǎn)出所需的膜密度、形態(tài)和附著力需要氬氣的壓力值是20毫托、射頻功率為900W。5. 二硫化鉬濺射膜的特性因為非常?。ǎ┒蚧f潤滑膜經(jīng)常用于摩擦的操縱裝置，理解濺射條件和與之相對應的薄膜性能、摩擦磨損行為之間的關系是非常重要的，為了獲得超低摩擦系數(shù)的二硫化莫濺射膜，了解二硫化鉬微觀結構的依附性、結構以及化學成分是如何影響摩擦磨損行為相當關鍵。在某種程度上，它還會影響膜的形核和長大特性，這就決定了柱狀膜結構的緊實密度，在沉積之前，最常用的表面預處理是濺射刻蝕法清洗，這是靠在特定時間內(nèi)輝光放電擠壓基質(zhì)完成的。增加基質(zhì)表面密度并增加形核點的預處理一般可以增加膜對基質(zhì)的附著力。在二硫化鉬沉積實驗之前（圖5）[811],由?。?000埃）硬耐火材料化合物層例如Cr3Si2，BN和TiN發(fā)現(xiàn)了在界面改性過程中的一個顯著特點：這種薄硬的中間層能夠使粗糙的界面變得平整并且在粗糙面變形時能夠充當阻礙層。當用于滾動元件接觸時，這些雙層膜在持久壽命上有顯著增長。通過表面硬化(氮化或滲碳)或用氮或碳質(zhì)材料進行離子注入來增加表面硬度也可達到相同的效果。當二硫化鉬被濺射到溫度從7攝氏度下降到195攝氏度的冷凍溫度的基質(zhì)上時，非靜態(tài)的組織就會形成[12].非晶態(tài)的膜非常脆并且沒有任何潤滑性能，基本上就是磨料。正常情況下，柱狀膜的密度要低于原始輝鉬礦的密度（）。在滑移過程中晶粒內(nèi)部或晶粒與晶粒之間剪切是否會發(fā)生，目前還不得而知。、連接在一起的薄膜留在表面斷裂后這些薄的剩余膜決定潤滑的效果二硫化鉬濺射膜在柱狀區(qū)域內(nèi)都有斷裂的可能，如圖5中的掃描電鏡所示。為了克服結構
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