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半導(dǎo)體薄膜--在線瀏覽

2024-09-25 20:59本頁面
  

【正文】 干燥 干凝膠 成品 熱處理 ( 1)首先制取含金屬醇鹽和水的均相溶液,以保證醇鹽的水解反應(yīng)在分子的水平上進(jìn)行。催化劑對(duì)水解速率、縮聚速率、溶膠凝膠在陳化過程中的結(jié)構(gòu)演變都有重要影響,常用的酸性和堿性催化劑分別為 HCl和 NH4OH,催化劑加入量也常以催化劑 /醇鹽的摩爾比計(jì)量。 ( 2)第二步是制備溶膠。所謂聚合溶膠,是在控制水解的條件下使水解產(chǎn)物及部分未水解的醇鹽分子之間繼續(xù)聚合而形成的,因此加水量很少;而粒子溶膠則是在加入大量水,使醇鹽充分水解的條件下形成的。 溶膠在敞口或密閉的容器中放置時(shí),由于溶劑蒸發(fā)或縮聚反應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行而導(dǎo)致向凝膠的逐漸轉(zhuǎn)變,此過程往往伴隨粒子的 ostward熟化,即因大小粒子溶解度不同而造成的平均粒徑增加。 ( 4)第四步是凝膠的干燥。 ( 5)最后對(duì)干凝結(jié)膠進(jìn)行熱處理。在熱處理時(shí)發(fā)生導(dǎo)致凝膠致密化的燒結(jié)過程,由于凝膠的高比表面積、高活性,其燒結(jié)溫度比通常的粉料坯體低數(shù)百度,采用熱壓燒結(jié)等工藝可以縮短燒結(jié)時(shí)間,提高制品質(zhì)量。 ZrO(NO3)2+ H2O+ 2NH3→ZrO2 + 2NH4NO3 ( 11) 他們?cè)谥苽?ZrO2凝膠過程中加入了一種表面活性劑,并在溶膠 凝膠轉(zhuǎn)變過程中施加超聲波作用,成功地阻止了顆粒的團(tuán)聚。 溶膠 凝膠法的特點(diǎn) 溶膠 凝膠法: 是一種可以制備從零維到三維材料的全維材料濕化學(xué)制備反應(yīng)方法。 ( 1)該方法的最大優(yōu)點(diǎn)是制備過程溫度低。燒成溫度比傳統(tǒng)方法約低 400~500℃ ,因?yàn)樗枭晌镌跓汕耙巡糠中纬?,且凝膠的比表面積很大。在相圖中用制備一般玻璃的熔融法將產(chǎn)生相分離的區(qū)域,用溶膠 凝膠法卻可以制得多組分玻璃,不會(huì)產(chǎn)生液相分離現(xiàn)象。 若在醇溶膠體系中,液態(tài)金屬醇鹽的水解速度與縮合速度基本上相當(dāng),則其化學(xué)均勻性可達(dá)分子水平。由于 SolGel工藝是由溶液反應(yīng)開始的,從而得到的材料可達(dá)到原子級(jí)、分子級(jí)均勻。通過計(jì)算反應(yīng)物的成分可以嚴(yán)格控制最終合成材料的成分,這對(duì)于精細(xì)電子陶瓷材料來說是非常關(guān)鍵的。 影響溶膠 凝膠材料結(jié)構(gòu)的因素很多,包括前驅(qū) 體、溶劑、水量、反應(yīng)條件、后處理?xiàng)l件等等.通過對(duì)這些因素的調(diào)節(jié),可以得到一定微觀結(jié)構(gòu)和不同性質(zhì)的凝膠。 ( 5) SolGel制備技術(shù)制備的材料組分均勻、產(chǎn)物的純度很高。人們己采用 SolGel方法制備出各種形狀的材料,包括塊狀、圓棒狀、空心管狀、纖維、薄膜等。 與其它薄膜制備工藝 (濺射、激光閃蒸等 )不同, SolGel工藝不需要任何真空條件和太高的溫度,且可在大面積或任意形狀的基片上成膜。 ( 7)在一定條件下,溶膠液的成纖性能很好,因此可以用以生產(chǎn)氧化物,特別是難熔氧化物纖維。 有機(jī) — 無機(jī)復(fù)合材料兼具有機(jī)材料和無機(jī)材料的特點(diǎn),如能在納米大小或分子水平進(jìn)行復(fù)合,增添一些納米材料的特性,特別是無機(jī)與有機(jī)界面的特性特使其有更廣泛的應(yīng)用。 ( 9)溶膠 凝膠法從溶膠出發(fā),從同一種原料出發(fā),通過簡(jiǎn)單反應(yīng)過程,改變工藝即可獲得不同的制品。可見,溶膠 凝膠法是一種寬范圍、亞結(jié)構(gòu)、大跨度的全維材料制備的濕化學(xué)方法。 由于溶膠 凝膠技術(shù)所用原料多為有機(jī)化合物,成本較高,而且有些對(duì)人們的健康有害(若加以防護(hù)可消除)。 反應(yīng)涉及大量的過程變量,如 PH值、反應(yīng)物濃度比、溫度、有機(jī)物雜質(zhì)等會(huì)影響凝膠或晶粒的孔徑 (粒徑 )和比表面積,使其物化特性受到影響,從而影響合成材料的功能性。 有的處理過程時(shí)間長(zhǎng)達(dá) 1~2月。 這是由于凝膠中液體量大,干燥時(shí)產(chǎn)生收縮引起。 ( 6)采用溶膠 凝膠法制備薄膜或涂層時(shí),薄膜或涂層的厚度難以準(zhǔn)確控制,另外薄膜的厚度均勻性也很難控制。 如何維持粘度始終保持在成型所要求的粘度下是十分重要的,而事實(shí)上在凝膠點(diǎn)處粘度迅速增加是溶膠固有的一個(gè)特性。 ( 9)對(duì)制備玻璃陶瓷材料而言溶膠 凝膠方法不能擴(kuò)大玻璃的形成范圍,反而多少有些限制。 三、溶膠 凝膠過程的主要反應(yīng) 溶膠 凝膠過程通常分為兩類: (1)金屬鹽在水中水解成膠粒 → 含膠粒的溶膠經(jīng)凝膠化后形成凝膠。 前驅(qū)體溶液的水解反應(yīng) (一)水 金屬鹽體系的水解反應(yīng) 1. 金屬陽離子水解,形成溶膠: ?? ??? nHOHMOnHM nn )(2 :濃縮法和分散法。 分散法: 使金屬在室溫下過量水中迅速水解。 水解 低 pH溶膠,顆粒尺寸 100200μm 濃縮 H2O+酸 MXn 沉淀 70℃ 酸溶液 低 pH溶膠,顆粒尺寸 2040μm 凝膠 懸浮 分散 凝膠化 分散 H2O+酸 MXn 沉淀 室溫 酸溶液 低 pH溶膠,顆粒尺寸 4080μm 凝膠 分離 水解 室溫 低 pH溶膠,顆粒尺寸 20μm 圖 41 濃縮和分散方法的工藝流程圖 (二 )醇 金屬醇鹽體系的水解反應(yīng) R O H x ORM ( O H )OH x M ( O R ) xnx2n ???R O HORORSiORSiOHR ??? )39。 34R O HOHSiROOHHORSiRO ????? 183183 )()( 脫水凝膠化:膠粒脫水,擴(kuò)散層中電解質(zhì)濃度 包括 增加,凝膠化能壘逐漸減小。 當(dāng) x=1時(shí),形成單核聚合物;當(dāng) x1時(shí),形成多核聚合物。 堿性凝膠化的影響因素:主要是 pH值 (受 x和 y影響 )。 簡(jiǎn)言之,隨著 pH值的增加,膠粒表面正電荷減少,能壘高度降低。 0 20 40 60 80 1000 .000 .050 .100 .150 .200 .25ⅡⅢ失水速率/g?cm2?min1凝膠中水分 含量/ W t%Ⅰ水蒸發(fā) 速率 干燥速率與凝膠含水量關(guān)系 凝膠體燒結(jié)過程的變化 凝膠的結(jié)構(gòu)是一個(gè)非常復(fù)雜的問題,如就一個(gè)理想的單一分散系 (球狀膠態(tài)微粒的組合體 )作一理論上的考察,可出現(xiàn) 3種情況: (1)在微粒之間存在長(zhǎng)程強(qiáng)斥力;從而組成有序的類晶體結(jié)構(gòu); (2)在網(wǎng)絡(luò)的相鄰微粒之間存在短程強(qiáng)范德華引力; (3)在網(wǎng)絡(luò)的相鄰微粒之間存在長(zhǎng)程范德華引力,從而由聚集程度甚弱的微粒組成動(dòng)態(tài)彈性網(wǎng)絡(luò)。 凝膠經(jīng)干燥、燒結(jié)轉(zhuǎn)變成固體材料的過程是溶膠 凝膠法的重要步驟,由多孔疏松凝膠轉(zhuǎn)變成致密玻璃至少有四個(gè)歷程:毛細(xì)收縮、縮合一聚合、結(jié)構(gòu)弛豫和粘滯燒結(jié)。 (一)非醇鹽法制備薄膜的溶膠 凝膠工藝特征 溶膠 凝膠法制備薄膜的工藝特征 反應(yīng)體系的確定主要考慮以下幾
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