【摘要】物理氣相沉積技術(shù)第八章低維材料?定義:二維、一維和零維材料,統(tǒng)稱低維材料。?二維材料:是指當(dāng)材料的任一維度,如Z方向的尺寸小到納米量級(jí),則此材料就成為X,Y方向延展的二維材料?!∧げ牧?納米薄膜)?一維材料:當(dāng)材料在Z方向縮小的同時(shí),Y方向也縮小到納米尺度。——又稱量子線,納米管?零維材料:當(dāng)材料
2025-06-18 12:11
【摘要】在集成電路制造工藝中,常常需要在硅片的表面淀積各種固體薄膜。薄膜厚度一般在納米到微米的數(shù)量級(jí),薄膜材料可以是金屬、半導(dǎo)體或絕緣體。淀積薄膜的主要方法熱氧化(常壓熱氧化、分壓熱氧化、高壓熱氧化等)物理淀積(真空蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、分子束外延等)化學(xué)汽相淀積(CVD
2025-03-03 00:19
【摘要】第十一章薄膜淀積?熱氧化?介質(zhì)淀積?多晶硅淀積?金屬化?總結(jié)熱氧化熱氧化生長(zhǎng)的機(jī)制下列為Si在氧氣或水氣的環(huán)境下,進(jìn)行熱氧化的化學(xué)反應(yīng)式:Si(固體)+O2(氣體)→SiO2(固體)(1)Si厚度/SiO2=了解晶
2025-06-24 13:43
【摘要】1Chap5物理氣相沉積?PVD是以物理方式進(jìn)行薄膜淀積的一種技術(shù)。在集成電路生產(chǎn)中,金屬薄膜在歐姆接觸、互連、柵電極和肖特基二極管等方面,都有很廣泛的應(yīng)用。?PVD有兩種方法:蒸鍍法(EvaporationDeposition)和濺鍍法(SputteringDeposition)。
2025-02-23 14:19
【摘要】山麓——洪積相山麓——洪積相(一)概念及形成過(guò)程1、概念山麓—洪積相出現(xiàn)于大陸地區(qū)山前帶,常環(huán)繞山脈沿山麓大面積分布。它是由大大小小的沖積扇和充填其間的山麓坡積、墜積物組合而成,屬大陸相組的一個(gè)組成部分。通常來(lái)說(shuō),造山作用越強(qiáng)、地形高差越大、氣候越干旱的地區(qū),山麓—洪積相就越發(fā)育。山麓——洪積相
2025-06-26 22:08
【摘要】熱學(xué)是研究與熱現(xiàn)象有關(guān)的規(guī)律的科學(xué)。熱現(xiàn)象是物質(zhì)中大量分子無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)的集體表現(xiàn)。大量分子的無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)稱為熱運(yùn)動(dòng)。常見(jiàn)的一些現(xiàn)象:1、一壺水開了,水變成了水蒸氣。2、溫度降到0℃以下,液體的水變成了固體的冰塊。3、氣體被壓縮,產(chǎn)生壓強(qiáng)。4、物體被加熱,物體的溫度升高。熱現(xiàn)象熱物理學(xué)宏觀法與微觀法相輔相
2025-01-13 06:22
【摘要】Confidential引言隨著特征尺寸越來(lái)越小,在當(dāng)今的高級(jí)微芯片加工過(guò)程中,需要6層甚至更多的金屬來(lái)做連接,各金屬之間的絕緣就顯得非常重要,所以在芯片制造過(guò)程中,淀積可靠的薄膜材料至關(guān)重要。ConfidentialULSI硅片
2025-06-15 01:33
【摘要】薄膜的物理氣相沉積1第三章薄膜的物理氣相沉積(Ⅱ)——濺射法及其他PVD方法薄膜的物理氣相沉積2濺射法:帶有電荷的離子被電場(chǎng)加速后具有一定動(dòng)能,將離子引向欲被濺射的靶電極。在離子能量合適的情況下,入射離子在與靶表面原子的碰撞過(guò)程中將后者濺射出來(lái)。濺射原子帶有一定動(dòng)能,且沿一定方向射
2025-02-24 07:53
【摘要】浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積(CVD)工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上,CVD是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成份以化學(xué)方法反應(yīng)形成固體薄膜,
2024-11-02 17:45
【摘要】化學(xué)實(shí)驗(yàn)專題復(fù)習(xí)2020年自然科學(xué)中考復(fù)習(xí)——化學(xué)實(shí)驗(yàn)中的氣壓?jiǎn)栴}請(qǐng)說(shuō)說(shuō)檢查該裝置的氣密性的操作在實(shí)驗(yàn)室檢查制取氧氣裝置的氣密性時(shí),如果裝置的氣密性很好,在導(dǎo)管移出水面時(shí)之前松開手,出現(xiàn)的現(xiàn)象是()A、連續(xù)產(chǎn)生氣泡B、斷斷續(xù)續(xù)地產(chǎn)生氣泡C、導(dǎo)管中液面上升D、導(dǎo)管中液面下降
2025-01-15 02:42
【摘要】新課標(biāo)人教版課件系列《高中物理》選修3-3第八章《氣體》《氣體的等溫變化》教學(xué)目標(biāo)1.知識(shí)要求:(1)知道什么是等溫變化;(2)知道玻意耳定律是實(shí)驗(yàn)定律;掌握玻意耳定律的內(nèi)容和公式;知道定律的適用條件。(3)理解氣體等溫變化的p-V圖象的物理意義(4)知道用分子動(dòng)理論對(duì)玻意耳定律
2025-01-12 08:01
【摘要】理氣中成藥一、概述氣機(jī)升、降、出、入氣陷氣脫氣滯氣逆--補(bǔ)氣升陽(yáng)--益氣固脫--行氣調(diào)之--降氣平之理氣二、概念氣滯或氣逆【功用】行氣或降氣【主證】【組成】理氣藥為主概述三、病因病機(jī)概述
2025-02-22 13:28
【摘要】第一篇:論述物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積的優(yōu)缺點(diǎn) 論述物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積的優(yōu)缺點(diǎn) 物理氣相沉積技術(shù)表示在真空條件下,采用物理方法,將材料源——固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離...
2024-11-14 01:01
【摘要】想一想:積的變化規(guī)律可能跟什么有關(guān)呢?算一算,你發(fā)現(xiàn)了什么6×2=6×20=6×200=121201200觀察:與第一個(gè)算式比較,第二個(gè)算式的因數(shù)是怎樣變化的?積是怎樣變化的?我發(fā)現(xiàn)了第一個(gè)因數(shù)不變,第二個(gè)因數(shù)不斷變大,積也變大。一個(gè)因數(shù)不變,另一個(gè)因
2025-01-25 01:48
【摘要】理氣劑氣的病變氣的不足氣機(jī)運(yùn)行失調(diào)氣虛氣脫氣陷氣逆氣滯補(bǔ)氣:四君子湯益氣固脫:獨(dú)參湯、生脈散益氣升陷:補(bǔ)中益氣湯補(bǔ)益劑肺--咳、喘胃--嘔吐呃逆降氣局部脹滿肝-脅、乳房、少腹脾胃-脘腹行
2025-06-22 12:10