【正文】 生成 （鋁酸銅、鋁酸鎘）等化合物，成為導(dǎo)體膜與基板之間的界面。 ? 因此，出現(xiàn)了加入玻璃及 等富于流動性的物質(zhì)，使燒結(jié)溫度降低的混合結(jié)合型漿料。到目前為止，已經(jīng)發(fā)表了大量關(guān)于各類厚膜電阻體漿料的資料，這些漿料多以 ，添加 Ta的 SnO, 炭黑， 等為主導(dǎo)電成分，經(jīng)大氣中燒成各種各樣的厚膜電阻體 。導(dǎo)電相起著電流通路的作用；粘結(jié)相則把導(dǎo)電相粘結(jié)于基片之上。粘結(jié)相電阻率很高，可看作是絕緣相。為保證導(dǎo)電相在粘結(jié)相中均勻分散開來，在整個電阻材料中，導(dǎo)電相體積比應(yīng)為 30%左右。 以 PdAg電阻材料為例，其導(dǎo)電成分主要有： a. PdAg合金固溶體 (次要 )： Pd,Ag材料形成合金固溶體，合金內(nèi)部的晶格畸變，對電子起散射作用； b. PbO相 (主要 )：燒結(jié)過程中， PdO晶格中往往吸收過量的氧，從而形 成 空位，為保持電中性，每一個 空位會引起兩個 正電 中心，這是 失去一個電子所致，相當(dāng)于 空格點上多一個空穴 ，形成 P型半導(dǎo)體形式的導(dǎo)電機(jī)制。 Pd?? Pd?? Pd???Pd?? Pd??? 粒徑對電氣特性的影響 (以 為例 ) a. 當(dāng)電阻體的組成比一定時，所用玻璃顆粒的粒徑對阻值的影響如左圖所示。 b. 右圖表示 粒徑對膜層電氣性能的影響，粒徑越小，阻值越小。 2RuO2RuO2RuO三、厚膜介質(zhì)材料 厚膜介電材料通常分為 HK(高介電常數(shù) )材料和 LK(低介電常數(shù) )材料兩大類。 ? LK介電材料 為用于回路的多層化及回路保護(hù)，要求 LK介電體與導(dǎo)體材料的相容性要好，隔絕外界環(huán)境的氣密性要高，擴(kuò)散要少，而且容易實現(xiàn)多層化。為適應(yīng)上述種種要求，開發(fā)了非晶玻璃 (FG)和晶態(tài)玻璃 (CG)二類玻璃系列的 LK介電材料。一般采用 PbO ZnO系 玻璃及 PbO 等。 23BO23BO 2SiO23BO 23BO 2SiO 23AlO非晶玻璃介電體的缺點有： 1. 穩(wěn)定性差。將原材料升溫加熱，達(dá)到某一溫度，形成無數(shù)均勻的晶核，進(jìn)一步升溫，晶粒開始生長，從而形成晶態(tài)玻璃。 晶態(tài)玻璃中有幾個基礎(chǔ)玻璃系，經(jīng)常使用的有以 MgO ,CaO 為代表的鋁硅酸玻璃；還有以 PbOZnO ， 為代表的鉛硼酸玻 璃。 近年來仍繼續(xù)以 為基進(jìn)行開發(fā)，多采用使高介電常數(shù) 的成分 Ba和 Ti被 Pb, Ca, Fe, W, Cu, Mg等置換構(gòu)成鈣鈦礦結(jié)構(gòu)介電體來改善性能。將原稿制成版，版上放置油墨，利用印刷機(jī)，使油墨通過版，將原稿逼真且高效率地再現(xiàn)在印刷介質(zhì)上。 ? 凸版印刷是可進(jìn)行活字排版的活版印刷，一般出版物多采用此法。下圖是圓筒輥凸版印刷示意圖。 ? 平版印刷中，通過涂膠、帶電、表面處理等，使被印刷的文字、圖像、圖案等與油墨、炭粉等產(chǎn)生特殊的親和力，而后將紙等印刷介質(zhì)壓于其上進(jìn)行印刷。 ? 凹版印刷與凸版印刷一樣，要在版面上粘附油墨，不需要的油墨用布或紙擦除，僅在凹部留有油墨，然后將紙等印刷介質(zhì)壓于其上進(jìn)行印刷。 上述印刷方法盡管所用的版有所不同，但印刷時印刷介質(zhì)要壓在版上是共同的。 二、絲網(wǎng)印刷法 在電子封裝工程中，作為微細(xì)圖形的印刷法，盡管有時也采用照相凹版印刷及膠版印刷，但實際應(yīng)用最多的還是屬于孔版印刷的絲網(wǎng)印刷法，其在厚膜印刷、印制線路板的蝕刻印刷、電鍍阻擋掩模及焊料阻擋掩膜的形成、焊膏的印刷等方面是不可缺少的。早在秦漢時期就出現(xiàn)了夾頡印花法。到了宋代，改進(jìn)了原來使用的油性涂料，開始在染料里加入淀粉類的膠粉，使其成為漿料進(jìn)行印刷。印刷時通過刮板的擠壓，使?jié){料通過電路部分的網(wǎng)孔轉(zhuǎn)移到承印物上，形成與原稿一樣的電路。光敏乳膠膜上沒有黑色掩模保護(hù)的乳膠被紫外光硬化，受到保護(hù)的部分很容易被水洗去，從而形成窗口。 ? 絲網(wǎng) 絲網(wǎng)孔版是絲網(wǎng)印刷中主要采用的形式，它主要由繃于框架上的絲網(wǎng)和用于光刻圖形的感光乳膠組成。隨著新材料的出現(xiàn)，還采用尼龍、聚酯等樹脂纖維以及不銹鋼等金屬纖維。因此，厚膜印刷主要采用不銹鋼絲網(wǎng)。 c. 大多數(shù)厚膜印刷的網(wǎng)板都是編織成“平針”圖案，每一根絲每次只是簡單地上下交叉繞過一根絲。通常它在 80線 /英寸到 400線 /英寸之間變化，前者用于粗糙的印刷如焊膏，后者用于精細(xì)線條的印刷。開口長度大，漿料易透過，印刷性好，且網(wǎng)絲直徑越細(xì)，圖形的印刷精度 (例如細(xì)線和微孔的分辨率，線條邊緣的直線性等 )越高，因而應(yīng)選用目數(shù)高的細(xì)絲網(wǎng)。測量時，首先使絲網(wǎng)處于透亮的狀態(tài)下或放在看版臺上，將網(wǎng)目尺放在絲網(wǎng)上，然后將網(wǎng)目尺慢慢移動，使網(wǎng)目尺上的豎線與絲網(wǎng)的經(jīng)線或緯線平行，這時由于絲網(wǎng)經(jīng)緯線和網(wǎng)目尺上的豎線產(chǎn)生重疊的效果，在網(wǎng)目尺上形成菱形花紋，花紋的橫向?qū)撬傅木W(wǎng)目尺上對應(yīng)的數(shù)字，即是所測的絲網(wǎng)目數(shù)。 e. 絲網(wǎng)開口大小 這個參數(shù)強(qiáng)烈地影響在印刷過程中漿料的印刷量，并限制了用于制作漿料的材料最大粒子尺寸。 ( ) 1 / ( )O in M D in?? 在印刷過程中，漿料的轉(zhuǎn)移量取決于絲網(wǎng)開口的體積，一般絲網(wǎng)的厚度等于絲徑的兩倍，絲網(wǎng)開口的體積可由下式估算： 當(dāng) D=1/M或 0時，開口體積為 0，開口的體積必然有一個 最大值。因為繃網(wǎng)時，絲網(wǎng)對網(wǎng)框產(chǎn)生一定的拉力和壓力。 2) 在保證強(qiáng)度的條件下，網(wǎng)框盡量選擇輕的，便于操作和使用。 4) 網(wǎng)框要有一定的牢固性。 5) 使用時根據(jù)印刷尺寸的大小確定合適的網(wǎng)框。按照這種方式，絲網(wǎng)和印刷機(jī)平行并且相對于基板具有相同的基準(zhǔn)點。首先按照印刷尺寸選好相應(yīng)的網(wǎng)框，將網(wǎng)框與絲網(wǎng)粘合的一面清洗干凈。 清洗后的網(wǎng)框在繃網(wǎng)前，先在與絲網(wǎng)接觸的面預(yù)涂一遍粘合膠并晾干。 待粘合膠干燥后，松開外部張力，剪斷網(wǎng)框外邊四周的絲網(wǎng)，用單面膠帶紙貼在絲網(wǎng)與網(wǎng)框粘結(jié)部位，防止印刷時溶劑或水對粘合劑的溶解。 1) 繃網(wǎng)張力 在使用繃網(wǎng)機(jī)繃網(wǎng)時，一般都使用張力儀測試絲網(wǎng)張力。尼龍絲網(wǎng)的繃網(wǎng)氣壓值是 ~1MPa,不銹鋼絲網(wǎng)的繃網(wǎng)氣壓值是1~. 2) 繃網(wǎng)角度 絲網(wǎng)繃緊方式有絲網(wǎng)與框架平行的正繃網(wǎng)方式以及絲網(wǎng)與框架傾斜的斜繃網(wǎng)方式。此外，多個圖形不能得到完全相同的位置關(guān)系，從而造成相同圖形的寬度、厚度出現(xiàn)偏差。微細(xì)圖形漏印網(wǎng)版多采用斜繃網(wǎng)方式。 0045 ,? 網(wǎng)版圖形形成 絲網(wǎng)面上印刷圖形的形成方法分直接制版法和間接制版法兩種。直接制版法乳膠嵌入網(wǎng)絲之中，耐印性及尺寸穩(wěn)定性都很好，但圖 形邊角附近網(wǎng)絲交叉部位容易殘留乳膠顯像殘渣等，這往往成為印刷圖 形邊緣不平直的原因。間接制版法圖形邊緣平直，價格也低，但膠膜與網(wǎng)絲的 附著力低，耐印性差，膠膜顯像后在絲網(wǎng)上貼附時的尺寸精度也低。間接乳膠只有幾個小時的擱置壽命，而直接乳膠在曝光前可保存幾個月。絲網(wǎng)頂部放置在平整表面上，用上網(wǎng)漿器涂布乳膠或?qū)⑷槟z傾注在絲網(wǎng)上，用直尺刮平，使乳膠均勻地涂覆絲網(wǎng)，填滿網(wǎng)孔。曝光時間的長短取決于光源的強(qiáng)度、乳膠與光源的距離、乳膠的種類、掩模版的質(zhì)量和乳膠的厚度等。 3)顯影 網(wǎng)框在曝光后放入溫水或藥物水中浸泡 10分鐘左右，圖文就顯現(xiàn)出來。 ? 印刷 1)絲網(wǎng)印刷的兩種基本方法 接觸工藝和非接觸工藝 。一旦刮板過去，絲網(wǎng)“快速恢復(fù)”，把漿料留在基板上。 a. 非接觸工藝可以獲得較好的線條輪廓清晰度，大多數(shù)的厚膜漿料印刷都采用這種方式。 b. 在印刷過程中，漿料涂在絲網(wǎng)上，刮板與絲網(wǎng)成線接觸，掃過整個絲網(wǎng)。 c. 漿料的觸變性有助于該工藝，當(dāng)刮板施加壓力在漿料上時，漿料變得較稀薄，更易流動；當(dāng)刮板經(jīng)過后，漿料再一次變得較稠，并在基板上保持了線條的清晰輪廓。 a. 刮板要能追從基板的彎曲和翹曲，且能吸收、分散基板形變造成的沖擊等，需要采用具有橡膠彈性的材料。材質(zhì)一般為聚氨酯類、氯丁橡膠等。 b. 刮板的作用是將漿