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正文內(nèi)容

厚膜沉積技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)

2025-06-08 06:56 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 時(shí)期就出現(xiàn)了夾頡印花法。隋代大業(yè)年間,人們開始用繃有絹網(wǎng)的框子進(jìn)行印花。到了宋代,改進(jìn)了原來使用的油性涂料,開始在染料里加入淀粉類的膠粉,使其成為漿料進(jìn)行印刷。 ? 基本原理: 現(xiàn)代絲網(wǎng)印刷技術(shù),是利用感光材料通過照相制版的方法制作絲網(wǎng)印版 (使絲網(wǎng)印版上電路部分絲網(wǎng)為通孔,而非電路部分的絲網(wǎng)孔被堵住 )。印刷時(shí)通過刮板的擠壓,使?jié){料通過電路部分的網(wǎng)孔轉(zhuǎn)移到承印物上,形成與原稿一樣的電路。 厚膜漿料通過不銹鋼絲網(wǎng)印刷到基板上,在設(shè)計(jì)工藝的時(shí)候,先產(chǎn)生 1: 1的每一層的掩膜圖形,這些掩膜圖形用來對涂有光敏材料或者乳膠的絲網(wǎng)進(jìn)行曝光。光敏乳膠膜上沒有黑色掩模保護(hù)的乳膠被紫外光硬化,受到保護(hù)的部分很容易被水洗去,從而形成窗口。 絲網(wǎng)印刷的過程如下圖所示,其過程如下: a. 絲網(wǎng)放置在絲網(wǎng)印刷機(jī)上,基板放置在絲網(wǎng)的正下方; b. 漿料涂在絲網(wǎng)的上面; c. 刮板刮過絲網(wǎng)的表面,在漏印網(wǎng)版的未開口部位由刮板以一定的壓下量和速度刮送漿料; d. 刮送的漿料在漏印網(wǎng)版的開口部位被壓入填充; e. 刮板刮過后,與基板緊貼的網(wǎng)版與基板脫離; f. 漿料靠自身的粘結(jié)性附著在基板上,形成漏印圖形,電路被轉(zhuǎn)印到基板上。 ? 絲網(wǎng) 絲網(wǎng)孔版是絲網(wǎng)印刷中主要采用的形式,它主要由繃于框架上的絲網(wǎng)和用于光刻圖形的感光乳膠組成。 a. 絲網(wǎng)材料最早采用蠶絲,故稱其為絲網(wǎng)印刷。隨著新材料的出現(xiàn),還采用尼龍、聚酯等樹脂纖維以及不銹鋼等金屬纖維。不銹鋼絲網(wǎng)強(qiáng)度高、伸縮小、尺寸精度高,與其他絲網(wǎng)比可選用更細(xì)的絲徑,絲網(wǎng)開口大,適合于更纖細(xì)的圖案,漿料透過性最好,耐藥品性強(qiáng)。因此,厚膜印刷主要采用不銹鋼絲網(wǎng)。 b. 絲網(wǎng)的網(wǎng)格是由不銹鋼絲或聚酯網(wǎng)絲編織成一大張長的薄網(wǎng)板,沿著網(wǎng)板長度的方向稱為“經(jīng)線”方向;沿著網(wǎng)板寬度的方向稱為“緯度”方向。 c. 大多數(shù)厚膜印刷的網(wǎng)板都是編織成“平針”圖案,每一根絲每次只是簡單地上下交叉繞過一根絲。 d. 絲網(wǎng)上網(wǎng)眼的大小 (疏密 )用目表示,目代表了每英寸()長度上網(wǎng)眼數(shù)目: 目數(shù)在經(jīng)緯方向上是一樣的。通常它在 80線 /英寸到 400線 /英寸之間變化,前者用于粗糙的印刷如焊膏,后者用于精細(xì)線條的印刷。 開口長度即絲與絲之間的間隔,即使目數(shù)相同,它也因絲徑不同而異。開口長度大,漿料易透過,印刷性好,且網(wǎng)絲直徑越細(xì),圖形的印刷精度 (例如細(xì)線和微孔的分辨率,線條邊緣的直線性等 )越高,因而應(yīng)選用目數(shù)高的細(xì)絲網(wǎng)。 1 ( )( ) ( )inin in? ?目數(shù) 絲徑 開口長度網(wǎng)目的測量: 網(wǎng)目尺又稱經(jīng)緯密度儀,主要用于測量各種絲網(wǎng)的目數(shù)。測量時(shí),首先使絲網(wǎng)處于透亮的狀態(tài)下或放在看版臺上,將網(wǎng)目尺放在絲網(wǎng)上,然后將網(wǎng)目尺慢慢移動,使網(wǎng)目尺上的豎線與絲網(wǎng)的經(jīng)線或緯線平行,這時(shí)由于絲網(wǎng)經(jīng)緯線和網(wǎng)目尺上的豎線產(chǎn)生重疊的效果,在網(wǎng)目尺上形成菱形花紋,花紋的橫向?qū)撬傅木W(wǎng)目尺上對應(yīng)的數(shù)字,即是所測的絲網(wǎng)目數(shù)。 對于通常厚膜印刷用絲網(wǎng)來說,導(dǎo)體用 300~400目, 電阻體用 200~300目,介電體用 200目左右。 e. 絲網(wǎng)開口大小 這個(gè)參數(shù)強(qiáng)烈地影響在印刷過程中漿料的印刷量,并限制了用于制作漿料的材料最大粒子尺寸。開口尺寸取決于目數(shù)和絲徑: 其中, O為開口尺寸, M為目數(shù), D為絲的直徑。 ( ) 1 / ( )O in M D in?? 在印刷過程中,漿料的轉(zhuǎn)移量取決于絲網(wǎng)開口的體積,一般絲網(wǎng)的厚度等于絲徑的兩倍,絲網(wǎng)開口的體積可由下式估算: 當(dāng) D=1/M或 0時(shí),開口體積為 0,開口的體積必然有一個(gè) 最大值。將上式展開對 D求導(dǎo),可求得開口尺寸為最大時(shí) 321( ) ( 2 ) ( )V in D DM??13D M?? 網(wǎng)框 選擇網(wǎng)框的標(biāo)準(zhǔn): 1) 網(wǎng)框必須具有一定的強(qiáng)度。因?yàn)榭嚲W(wǎng)時(shí),絲網(wǎng)對網(wǎng)框產(chǎn)生一定的拉力和壓力。這就要求網(wǎng)框耐壓,不變形。 2) 在保證強(qiáng)度的條件下,網(wǎng)框盡量選擇輕的,便于操作和使用。 3) 網(wǎng)框與絲網(wǎng)的粘接面要有一定的粗糙性,以加強(qiáng)絲網(wǎng)和網(wǎng)框的粘結(jié)力。 4) 網(wǎng)框要有一定的牢固性。網(wǎng)框要經(jīng)常與水、溶劑接觸,并受溫度的影響,一定的牢固性可保證網(wǎng)框的重復(fù)使用。 5) 使用時(shí)根據(jù)印刷尺寸的大小確定合適的網(wǎng)框。 絲網(wǎng)的網(wǎng)框一般是用鑄鋁制成,網(wǎng)框的底部平行于頂部,并保持一定的距離。按照這種方式,絲網(wǎng)和印刷機(jī)平行并且相對于基板具有相同的基準(zhǔn)點(diǎn)。 ? 繃網(wǎng) 繃網(wǎng)是制作絲網(wǎng)印版的第一道工序。首先按照印刷尺寸選好相應(yīng)的網(wǎng)框,將網(wǎng)框與絲網(wǎng)粘合的一面清洗干凈。若是第一次使用的網(wǎng)框,需用細(xì)砂紙打磨,使網(wǎng)框粗糙,提高網(wǎng)框與絲網(wǎng)的粘結(jié)力,若是使用過的網(wǎng)框也要用砂紙打磨干凈,去掉殘留的膠及其他物質(zhì)。 清洗后的網(wǎng)框在繃網(wǎng)前,先在與絲網(wǎng)接觸的面預(yù)涂一遍粘合膠并晾干??嚲W(wǎng)時(shí),用手工或機(jī)械繃網(wǎng),絲網(wǎng)拉緊后使絲網(wǎng)與網(wǎng)框貼緊,并在絲網(wǎng)與網(wǎng)框接觸部分再涂布粘合膠,然后吹干。 待粘合膠干燥后,松開外部張力,剪斷網(wǎng)框外邊四周的絲網(wǎng),用單面膠帶紙貼在絲網(wǎng)與網(wǎng)框粘結(jié)部位,防止印刷時(shí)溶劑或水對粘合劑的溶解。最后用清水或清洗劑沖洗絲網(wǎng),待晾干后,就可涂布感光膠了。 1) 繃網(wǎng)張力 在使用繃網(wǎng)機(jī)繃網(wǎng)時(shí),一般都使用張力儀測試絲網(wǎng)張力??嚲W(wǎng)夾頭的移動是通過氣壓表來控制的。尼龍絲網(wǎng)的繃網(wǎng)氣壓值是 ~1MPa,不銹鋼絲網(wǎng)的繃網(wǎng)氣壓值是1~. 2) 繃網(wǎng)角度 絲網(wǎng)繃緊方式有絲網(wǎng)與框架平行的正繃網(wǎng)方式以及絲網(wǎng)與框架傾斜的斜繃網(wǎng)方式。 在正繃網(wǎng)方式下,當(dāng)形成印刷圖形的乳膠邊緣正好與網(wǎng)絲重疊時(shí),該部位的漿料涂布量就會很少,致使圖形的寬度、厚度都會低于設(shè)計(jì)值。此外,多個(gè)圖形不能得到完全相同的位置關(guān)系,從而造成相同圖形的寬度、厚度出現(xiàn)偏差。 對于斜繃網(wǎng),網(wǎng)絲交叉部位也會影響線條邊緣的直線性,但對于多個(gè)圖形來說,可以得到相同的寬度和膜厚。微細(xì)圖形漏印網(wǎng)版多采用斜繃網(wǎng)方式。網(wǎng)絲和框架之間的張角一般采用 兩種,得到的圖形精度較高。 0045 ,? 網(wǎng)版圖形形成 絲網(wǎng)面上印刷圖形的形成方法分直接制版法和間接制版法兩種。 直接制版法是在絲網(wǎng)表面直接涂布感光乳膠,干燥后形成感光膜,在 此感光膜上密貼原版光刻掩膜,經(jīng)紫外線曝光、顯影,直接形成印刷 版。直接制版法乳膠嵌入網(wǎng)絲之中,耐印性及尺寸穩(wěn)定性都很好,但圖 形邊角附近網(wǎng)絲交叉部位容易殘留乳膠顯像殘?jiān)?,這往往成為印刷圖 形邊緣不平直的原因。 間接制版法是在漏印用的乳膠薄膜上,密貼原版光刻掩模,經(jīng)紫外 線曝光、顯像,形成帶有圖形的漏印版膜,再將其貼附于絲網(wǎng)之上形成 絲網(wǎng)漏印孔版。間接制版法圖形邊緣平直,價(jià)格也低,但膠膜與網(wǎng)絲的 附著力低,耐印性差,膠膜顯像后在絲網(wǎng)上貼附時(shí)的尺寸精度也低。 1)涂膠 光敏乳膠一般以重鉻酸鹽和重氮鹽為光敏劑,根據(jù)制版法的不同,分為直接乳膠和間接乳膠。間接乳膠只有幾個(gè)小時(shí)的擱置壽命,而直接乳膠在曝光前可保存幾個(gè)月。 直接乳膠的初始狀態(tài)是液體,絲網(wǎng)的外圍四周用透明玻璃紙帶形成一個(gè)擋壩來控制膠層的厚度。絲網(wǎng)頂部放置在平整表面上,用上網(wǎng)漿器涂布乳膠或?qū)⑷槟z傾注在絲網(wǎng)上,用直尺刮平,使乳膠均勻地涂覆絲網(wǎng),填滿網(wǎng)孔。 2)曝光 絲網(wǎng)曝光是把掩膜和光敏乳膠面接觸,然后在紫外線下進(jìn)行曝光,光源更易使用平行光。曝光時(shí)間的長短取決于光源的強(qiáng)度、乳膠與光源的距離、乳膠的種類、掩模版的質(zhì)量和乳膠的厚度等。常用的是紫外冷光燈及高壓汞燈。 3)顯影 網(wǎng)框在曝光后放入溫水或藥物水中浸泡 10分鐘左右,圖文就顯現(xiàn)出來。隨后用海綿在水中輕輕擦洗絲網(wǎng)印版,使圖文部分網(wǎng)孔基本上都成為通孔,然后加壓噴水,清除圖文部分所殘留的未感光材料,使圖文部分網(wǎng)孔全部變通,最后擦凈水并進(jìn)行烘干就制出了絲網(wǎng)印版。 ? 印刷 1)絲網(wǎng)印刷的兩種基本方法 接觸工藝和非接觸工藝 。 接觸工藝中,絲網(wǎng)在印刷中總是和基板保持接觸,然后快速下降基板或升高絲網(wǎng),兩者就會分開;非接觸工藝中,絲網(wǎng)和基板之間有一小段距離,絲網(wǎng)會被刮板拉伸,直到刮板正下方正好同基板接觸為止。一旦刮板過去,絲網(wǎng)“快速恢復(fù)”,把漿料留在基板上。因此,絲網(wǎng)和基板間的初始距離被稱為“快速恢
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