cvd化學(xué)與薄膜工藝-在線瀏覽
2025-02-23 14:15本頁面
【正文】 ergy） （ I） Introduction 化學(xué)反應(yīng)太多太復(fù)雜時（ 20個 species）計算平衡分壓很困難，這就預(yù)先知曉體系中最重要的化學(xué)物種 ——要有化學(xué)知識或者預(yù)先有實驗數(shù)據(jù)。另外，并非總是有可能正確的選擇哪種物種是比較重要的，也不了解哪個物相一定存在。 17 （ II）熱力學(xué)原理： 通過熱力學(xué)知識我們知道一個體系 Gibbs自由能G達(dá)到極小值時，體系就達(dá)平衡，所以要求的一切就是把 ΔG表達(dá)為體系內(nèi)物料及參數(shù)的函數(shù)表達(dá)式方程： 0G G R T l n f? ? ? ?氣－固平衡體系中體系的總 G值為 iims00 ii f i fi = 1 i = 1n ( g )G = [ n ( g ) G ( g ) R T l n P+ R T l n ] n ( c ) G ( c)N ( g )? ? ? ???氣態(tài) 固態(tài) （ A） 18 m number of gaseous species s number of solid phase species ni(g) number of moles of gaseous species i nj(c) number of moles of condensed species i N(g) total number of moles of gaseous species free energy of formation of gaseous species i free energy of formation of gaseous species i P total pressure T temperature R gas constant i0fG (g)?上式中： i0fG (c)?19 根據(jù)體系限制條件 ——特定元素的原子數(shù)目必然守恒 msj i j i i j ii = 1 i = 1b = a ( g ) n ( g ) a ( c) n ( c )???bj：元素 j在初始混合物中的 mole數(shù) （ j=1， 2， 3……w ） 共有 w個元素，從而得到 w個元素的守恒方程 （共有 w個限制條件 （物質(zhì)守恒 ）） aij：為在分子物種 i中 j元素的原子數(shù) （ B） 例如： CH4中定義 i=1， j=1代表 C； j=2代表 H a11=1， a12=4 C2H6中 i=2， j=1代表 C； j=2代表 H a21=2， a22=6 20 這樣就把解決問題變?yōu)椋? 受 （ B） 限制求 （ A） 式的極小值 有若干方法： Cruise,., Notes on the rapid putation of Chemical equilibrium in plex mixtures.. :3797(1964） Eriksson,G. ,“Thermodynamic studies of high temperatur
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