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ic行業(yè)特種氣體簡(jiǎn)介-在線瀏覽

2025-07-13 16:53本頁(yè)面
  

【正文】 +N2(Carrier gas)+NH3 plasma amp。與我們氣體相關(guān)主要是其制造模塊,另外封裝模塊也涉及很少的一部分。IC行業(yè)特種氣體簡(jiǎn)介 主講部門:華特銷售部 主講部門負(fù)責(zé)人:張均華 主講人:李淵 IC的定義 IC即集成電路,是采用半導(dǎo)體制作工藝,在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件,并按照多層布線或遂道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路。 IC行業(yè)通常包括設(shè)計(jì)、制造及封裝三大塊。 2021/6/15 特氣在 IC行業(yè)里面的應(yīng)用 電子特氣廣泛應(yīng)用于 IC行業(yè)的如下工藝: ?薄膜沉積 ; ?刻蝕; ?摻雜; ?鈍化; ?清洗; ?或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。 heat SixNy + H2 + N2 + other volatiles ? CVD Chamber clean NF3+ SixNy plasma SiF4+N2+other volatile ? 摻雜 : (如 Implant/DOPOS) PH3+H2混氣等 ? 刻蝕 : SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑ 反應(yīng)氣 載氣 清潔氣體 固態(tài) 氣態(tài) ,可被排出腔體 固態(tài) 刻蝕氣體 氣態(tài) ,可被排出硅片及腔體 主要應(yīng)用: 反應(yīng) 載氣 腔體清潔 摻雜 刻蝕 2021/6/15 特氣在 IC制造中的應(yīng)用 分類 ? 大宗 氣體 N2 O2 Ar ?離子注入 BF3
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