講座3工藝-展示頁
2025-02-21 16:22本頁面
【正文】 SiO2+2C Si+2CO 硅定期從爐中倒出 ,并用氧氣或氧氯 混合氣體吹之以進(jìn)一步提純 。 Si+3HCl SiHCl3+H2 ? ? 對三氯氫硅進(jìn)行分餾 ,以達(dá)到超純狀態(tài)。 SiHCl3+H2 Si+3HCl ? 4. 多晶硅錠的制造 ? 由西門子法得到的多晶硅棒 ,因未摻雜等原因 ,不能直接用來制造太陽電池 。 由硅砂到太陽電池組件 ? ? (1) 切克勞斯基 (CZ)法 ? 在單晶爐中將硅熔化 ,并將籽晶引向融熔的硅液 ,然后一邊旋轉(zhuǎn) ,一邊提拉 ,融熔的硅就在同一方向定向凝固 ,得到單晶硅棒。 切氏 (CZ)法和區(qū)溶 (FZ)法制單晶 ? (2) 區(qū)熔 (FZ)法 ? 用水冷的高頻線圈環(huán)繞硅單晶棒 ,使硅棒內(nèi)產(chǎn)生渦電流而自身加熱 ,使硅棒局部熔化 ,出現(xiàn)浮區(qū) ,及時緩慢移動高頻線圈 ,同時硅棒旋轉(zhuǎn) ,使熔化的硅重新結(jié)晶。反復(fù)移動高頻線圈 ,可使得硅棒中段不斷提純。 ? 5. 帶狀晶體硅的制造 ? 定邊喂膜 (EFG)法 ? 與直拉方法相似 ,在坩堝中使融熔的硅從能潤濕硅的模具狹縫中通過而引出單晶硅帶 。 ? (CVD)法有 : 熱化學(xué)氣相沉積法； 輝光放電法； 光化學(xué)氣相沉積法。 二 . 晶體硅電池片制造工藝 ? 工藝流程 硅片制備 清洗腐蝕 擴(kuò)散制結(jié) 去背結(jié) 電極制備 去邊 制減反膜 燒結(jié) 檢測 ? 2. 硅片制備 ? 選擇硅片時，要考慮硅材料的導(dǎo)電類型、電阻率、晶向、位錯、少子壽命等。 ? 對于多晶硅錠先進(jìn)行破錠，再按要求切片。 ? ? 用有機(jī)溶劑 (如甲苯等 )初步去油，再用熱硫酸作化學(xué)清洗，去除沾污的雜質(zhì)。 ? 再用王水或其他其它清洗液進(jìn)行化學(xué)清洗。 ? 4. 擴(kuò)散制結(jié) ? 是制造太陽電池的關(guān)鍵工序 ? 方法有熱擴(kuò)散；離子注入；外延；激光或高頻電注入等。 ? 熱擴(kuò)散方法有 : ? 涂布源擴(kuò)散，又分簡單涂布源擴(kuò)散和
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