第1章集成電路制造工藝-展示頁
2025-02-21 05:39本頁面
【正文】 服務是一種國際科研和大學計劃的流行方式。 ? 這種 芯片工程 通常由大學或研究所作為龍頭單位負責人員培訓、技術指導、版圖匯總、組織芯片的工藝實現(xiàn)，性能測試和封裝。大學教師、研究生、研究機構、中小企業(yè)作為工程受益群體，自愿參加，并付一定費用。 引言 7. 在建、籌建半導體廠家 2/1/2023 韓 良 8 國際微電子中心 集成電路設計原理 2/1/2023 韓 良 9 國際微電子中心 集成電路設計原理 ? FF(Fabless and Foundry)模式 ? 工業(yè)發(fā)達國家通過組織 無生產(chǎn)線 IC設計 的芯片計劃來促進集成電路設計的專業(yè)發(fā)展、人才培養(yǎng)、技術研究和中小企業(yè)產(chǎn)品開發(fā)，而取得成效。這一過程通常簡稱為“ 流片 ”。 ? 一張掩模一方面對應于版圖設計中的一層的圖形，另一方面對應于芯片制作中的一道或多道工藝。再通過因特網(wǎng)傳送到代工單位。 ? PDK文件包括：工藝電路模擬用的 器件的 SPICE參數(shù) ，版圖設計用的 層次定義 ， 設計規(guī)則 ， 晶體管、電阻、電容等元件和通孔（ VIA）、焊盤等基本結構的版圖 ，與設計工具關聯(lián)的 設計規(guī)則檢查（ DRC）、參數(shù)提取（ EXT）和版圖電路對照（ LVS）用的文件。 ? 代工方式已成為集成電路技術發(fā)展的一個重要特征 。如美國有 200多家、臺灣有 100多家這樣的設計公司。 ? 設計工作由 有生產(chǎn)線集成電路設計 到 無生產(chǎn)線集成電路設計 的發(fā)展過程。國際微電子中心 集成電路設計原理 第一章 集成電路制造工藝 集成電路（ Integrated Circuit） 制造工藝是集成電路實現(xiàn)的手段，也是集成電路設計的基礎。 2/1/2023 韓 良 1 國際微電子中心 集成電路設計原理 ? 隨著集成電路發(fā)展的過程，其發(fā)展的總趨勢是 革新工藝、提高集成度和速度 。 ? 無生產(chǎn)線 （ Fabless）集成電路設計公司。 引言 2/1/2023 韓 良 2 國際微電子中心 集成電路設計原理 2. 代客戶加工（代工）方式 ? 芯片設計單位和工藝制造單位的分離 ，即芯片設計單位可以不擁有生產(chǎn)線而存在和發(fā)展，而芯片制造單位致力于工藝實現(xiàn)，即 代客戶加工（簡稱代工）方式 。 引言 2/1/2023 韓 良 3 國際微電子中心 集成電路設計原理 3. PDK文件 ? 首先， 代工單位 將經(jīng)過前期開發(fā)確定的一套 工藝設計文件 PDK（ Pocess Design Kits)通過因特網(wǎng)傳送給設計單位。 引言 2/1/2023 韓 良 4 國際微電子中心 集成電路設計原理 4. 電路設計和電路仿真 ? 設計單位 根據(jù) 研究項目 提出的 技術指標 ，在自己掌握的 電路與系統(tǒng)知識 的基礎上，利用 PDK提供的 工藝數(shù)據(jù) 和 CAD/EDA工具 ，進行 電路設計、電路仿真（或稱模擬）和優(yōu)化、版圖設計、設計規(guī)則檢查 DRC、參數(shù)提取和版圖電路圖對照 LVS，最終生成通常稱之為 GDSⅡ 格式的版圖文件 。 引言 2/1/2023 韓 良 5 國際微電子中心 集成電路設計原理 5. 掩模與流片 ? 代工單位 根據(jù)設計單位提供的 GDSⅡ 格式 的 版圖數(shù)據(jù) ，首先 制作掩模（ Mask） ，將版圖數(shù)據(jù)定義的圖形固化到鉻板等材料的一套掩模上。 ? 在一張張掩模的參與下，工藝工程師完成 芯片的流水式加工 ， 將版圖數(shù)據(jù)定義的圖形最終有序的固化到芯片上 。 引言 2/1/2023 韓 良 6 國際微電子中心 集成電路設計原理 ? 代工（ Foundry）廠家 很多，如： ? 無錫上華（ ?mCOS和 4 ?mBiCMOS工藝 ) ? 上海先進半導體公
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