材料研究方法及電子掃描顯微鏡-展示頁
2025-01-07 23:59本頁面
【正文】 增大而增大 。 彈性背散射電子的能量幾乎沒有損失 ， 而非彈性背散射電子的能量有不同程度的損失 。 產(chǎn)生的物理信號 材料研究方法 電子束作用于試樣上所產(chǎn)生的物理信號主要有背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、連續(xù) X射線、特征 X射線、 X熒光、陰極發(fā)光、衍射電子等 。 材料研究方法 各種物理信號各種的產(chǎn)生深度、 廣度、途和分辨率深度和廣度范圍 材料研究方法 各種物理信號應(yīng)用的深度和廣度 材料研究方法 概念： 背散射電子是 被固體樣品反射回來的入射電子 ， 其中包括彈性背散射電子和非彈性背散射電子 。 2 各種物理信號的產(chǎn)生機(jī)理及用途 背射電子 特點： 總的來說 ， 背散射電子的 能量較高 ， 等于或接近入射電子的能量 。 用途： 在掃描電鏡和電子探針中 ， 用背散射電子可以 獲得試樣的表面形貌像 和 成分像 。 特點： 二次電子的 能量較低 (小于 50eV)， 產(chǎn)生范圍?。?僅在試樣表面 10nm層內(nèi)產(chǎn)生 ） ； 產(chǎn)率與試樣的表面形狀密切相關(guān) ， 對試樣的表面狀態(tài)非常敏感 ， 能很好地反映試樣的表面形貌 。 材料研究方法 概念： 被試樣吸收掉的入射電子稱為吸收電子 。 試樣的厚度赿大 、 密度赿大 ， 原子序數(shù)赿大 ， 吸收電子的數(shù)量就赿大 。 用途： 在掃描電鏡中 ， 可以用其 獲取試樣的形貌像 、 成分像 。 特點： 透射電子的 數(shù)量與試樣的厚度和加速電壓有關(guān) 。 試樣比較薄的時候 ， 由于有透射電子存在 ，(1)式的右邊應(yīng)加上透射電子項 ， 即 I0=IB+IS+IA+IT 用途： 透射電子是透射電子顯微鏡要檢測的主要信息 ，用于 高倍形貌像觀察 ， 高分辨 原子 、 分子 、 晶格像觀察和電子衍射晶體結(jié)構(gòu)分析 。如下圖所示，入射電子使試樣中某原子的內(nèi)層 (如 K層 )電子激發(fā) (打飛 )后，外層電子 (如 L2層電子 )將回躍到內(nèi)層 (K層 )來填補空位，多余的能量 (△E=EL2EK)不是以特征 X射線的形式釋放出來，而是傳給了外層 (如 L3層 )的電子，使之激發(fā)。 材料研究方法 俄歇電子與特征 X射線一樣 ， 具有特定的能量和波長 ， 其能量和波長取決于原子的核外電子能級結(jié)構(gòu) 。俄歇電子的能量一般是 50~2023eV， 逸出深度4~
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