【正文】 惡化，難以滿足高精度、高效率的加工要求。在線電解修銳技術(shù)(Electrolytic Inprocess Dressing，簡稱ELID)利用金屬結(jié)合劑的溶解去除和砂輪表層生成的氧化物絕緣層對(duì)電解抑制作用所構(gòu)成的動(dòng)態(tài)平衡，對(duì)砂輪進(jìn)行連續(xù)非線性修銳，使砂輪磨粒獲得恒定的突出量，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、可控、最佳的磨削過程，可以很好的解決一些材料的難加工問題。修整實(shí)質(zhì)上就是對(duì)砂輪進(jìn)行整形和修銳，整形是對(duì)砂輪工作表面進(jìn)行微量“切削”，使砂輪達(dá)到所要求的幾何形狀精度，并使磨粒尖端微細(xì)破碎，形成鋒利磨刃的過程；修銳是指除去磨粒間的部分結(jié)合劑（降低結(jié)合劑的高度），使磨粒突出結(jié)合劑之外，形成切削刃，同時(shí)產(chǎn)生足夠的容屑空間的過程。第一章 緒論 磨削加工過程中，砂輪表層的磨粒會(huì)逐漸磨鈍，磨鈍后的砂輪摩擦力增大，磨削溫度上升，容易發(fā)生顫振和燒傷，使被加工工件的表面完整性受到極大的影響，同時(shí)磨鈍的砂輪也會(huì)使砂輪工作表面喪失正確的幾何形狀從而使加工精度降低。具體設(shè)計(jì)內(nèi)容和要求如下: （1） 劃片機(jī)劃片ELID的修銳裝置的設(shè)計(jì)主要是設(shè)計(jì)電解裝置的電極，確定各部分的相互關(guān)系；擬訂總體設(shè)計(jì)方案，根據(jù)總體設(shè)計(jì)方案，選擇通用部件，并繪制裝配圖和各零件的零件圖； （2） 進(jìn)給傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)（回轉(zhuǎn)傳動(dòng)系統(tǒng)）； （3） 其他零部件的設(shè)計(jì)； （4） 翻譯相關(guān)外文文章一篇和原文件一起打印出來； （5） 完成開題報(bào)告一份，交給指導(dǎo)老師檢查； （6） 完成中期檢查一份，交給指導(dǎo)老師檢查； （7） 手寫畢業(yè)實(shí)習(xí)報(bào)告一份50頁左右； （8） ； （9） 編寫畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書一份50—60頁（打?。??？傊?，通過畢業(yè)設(shè)計(jì)使學(xué)生建立正確的設(shè)計(jì)思想，初步掌握解決本專業(yè)工程技術(shù)問題的方法和手段，從而使學(xué)生受到一次工程師的基本訓(xùn)練。它是大學(xué)生活最后一個(gè)里程碑，是四年大學(xué)學(xué)習(xí)的一個(gè)總結(jié)，是我們結(jié)束大學(xué)學(xué)習(xí)，踏入社會(huì)，走上工作崗位的必由之路，是對(duì)我們工作能力的一次綜合性檢驗(yàn)。如果大學(xué)四年是一篇優(yōu)美的文章，那么大四的畢業(yè)設(shè)計(jì)就是這篇文章最后最具總結(jié)性的一段話。 關(guān)鍵詞： ELID 金剛石砂輪 劃片機(jī) 電解Abstract Wafer dicing machine is a machine of high speed grinding segmentation of semiconductor silicon wafer, this machine has been put into application. This paper is modified through MM7132A based precision cylindrical grinding machines of wafer dicing machine, is a dedicated, main part modification of grinder with electrolysis device, the insulating device and a rotary working table. This paper mainly introduces the design of cathode and anode and rotary drive system. Diamond scribing the blockage and abrasive wear blunt is the main reason that affects the quality of grinding and machining efficiency, so the use of grinding wheel dressing method, the grinding wheel to keep sharp and good grinding performance is one of the few hard and brittle materials grinding processing key technology in engineering. This paper introduces the electrolytic inprocess dressing (ELID) technology, the metal bond diamond scribing of electrolytic dressing。由于磨粒不會(huì)被電解,逐漸露出砂輪表面形成一定的出刀高度和容屑空間,從而形成對(duì)砂輪的修整作用。在ELID磨削過程中,金屬基結(jié)合劑砂輪作為陽極,工具電極作陰極,在砂輪外圓表面和電極的間隙中通過有電解能力的磨削液。本文介紹了在線電解修銳(ELID)技術(shù)，對(duì)金屬結(jié)合劑的金剛石劃片進(jìn)行電解修銳；并在一定程度上介紹電解修銳的一般特點(diǎn)。本文主要介紹陰陽極和回轉(zhuǎn)傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。河南理工大學(xué)2014年畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）劃片機(jī)進(jìn)給系統(tǒng)及電解裝置設(shè)計(jì) 姓名：尹鵬舉 專業(yè)班級(jí)：機(jī)制105班 學(xué)院：機(jī)械學(xué)院 指導(dǎo)老師：鄶吉才 學(xué)號(hào)：311004001726 摘 要 硅片劃片機(jī)是對(duì)半導(dǎo)體硅片進(jìn)行高速磨削分割的一種機(jī)器，這種機(jī)器已經(jīng)投入應(yīng)用。而本文是通過在MM7132A型精密臥軸矩臺(tái)平面磨床的基礎(chǔ)上進(jìn)行改裝，即成為專用的硅片劃片機(jī)，對(duì)平面磨床改裝的主要部分有電解裝置、絕緣裝置和一個(gè)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)。 金剛石砂輪劃片容易堵塞和磨粒磨損變鈍是影響磨削質(zhì)量和加工效率的主要原因，所以采用有效的砂輪修整方法，使砂輪保持良好的鋒利狀態(tài)和磨削性能是解決工程上一些硬脆材料磨削加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。 ELID在線連續(xù)電解砂輪修整技術(shù)是在電化學(xué)加工、電解磨削原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一項(xiàng)磨削新技術(shù),主要用于硬脆材料超精密磨削過程中金屬基結(jié)合劑超硬微細(xì)磨粒砂輪的在線修整。在電源作用下,利用電解過程中的陽極溶解效應(yīng)對(duì)砂輪表層的金屬基體進(jìn)行電解去除。在對(duì)ELID磨削原理進(jìn)行深入分析總結(jié)的基礎(chǔ)上，本文首先對(duì)ELID磨削必備的陰極、陽極電刷等裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā)，分析了修銳砂輪ELID專用磨削液，并對(duì)其電解成膜特性進(jìn)行了分析。 and introduces the general characteristics of electrolytic dressing in a certain extent. ELID ( electrolytic in—process dressing) online continuous electrolysis of grinding wheel dressing technology is a new technology developed on the principle of electrochemical machining and electrolytic grinding, which is being used for in process dressing of metal bonded fine grain super abrasive grinding wheels. In the ELID grinding process, metal matrix bination agent grinding wheel as the anode and the tool electrode as the cathode, in a circular grinding wheel surface and electrode gap through electrolysis ability in a grinding fluid. With the function of a power, using electrolysis anode in the process of the dissolution of the surface to the grinding wheel effect on metal substrate removal electrolysis. Due to the grits will not be electrolysis, gradually formed on the surface of the grinding wheel must show a knife height and let the flocks space, thus to shape the grinding wheel dressing role. On the basis of the principle of ELID grinding depth analysis summary, this paper frist ELID grinding essential cathode, anode brush and other devices designed and developed to analyze the special ELID grinding wheel dressing fluid ,and its electrolysis into film characteristics were analyzed.Key words: ELID Diamond wheel Dicing machine Electrolysis摘 要 2前 言 71. 畢業(yè)設(shè)計(jì)的目的 72. 畢業(yè)設(shè)計(jì)的主要內(nèi)容和任務(wù) 73. 計(jì)劃安排 8第一章 緒論 9 9 砂輪在線電解修銳技術(shù)的發(fā)展及研究現(xiàn)狀 10 砂輪修整方法 13 論文研究的主要內(nèi)容 14第二章 砂輪在線電解修銳原理 15 ELID磨削基本原理 15 ELID磨削的特點(diǎn) 17 ELID磨削的電化學(xué)反應(yīng)原理 19 ELID磨削中氧化膜的作用機(jī)理 22 25第三章 電解裝置設(shè)計(jì) 25 陰極的設(shè)計(jì) 25 陽極的設(shè)計(jì) 28 電源的選擇 31 ELID磨削專用磨削液的研制 33 小結(jié) 35第四章 進(jìn)給傳動(dòng)設(shè)計(jì) 36 Y軸傳動(dòng)部件的確定 36 37 砂輪劃片機(jī)機(jī)械系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 37 37 38 38 39 40 Y軸滾珠螺旋副傳動(dòng)精度的計(jì)算 41 42 θ軸傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 43 小結(jié) 48第五章 法蘭盤的設(shè)計(jì)及其它 49 后法蘭設(shè)計(jì) 49 前法蘭設(shè)計(jì) 50 陽極石墨電刷彈簧的選擇 51 小結(jié) 51結(jié)束語 52致 謝 54參考文獻(xiàn) 55前 言光陰似箭，歲月如梭；轉(zhuǎn)眼間大學(xué)四年即將結(jié)束；回想這四年，有快樂、也有悲傷；我想多年以后這些都將是我的美好回憶。畢業(yè)設(shè)計(jì)是學(xué)生學(xué)完大學(xué)教學(xué)計(jì)劃所規(guī)定的全部基礎(chǔ)課和專業(yè)課后，綜合運(yùn)用所學(xué)的知識(shí)，與實(shí)踐相結(jié)合的重要實(shí)踐性教學(xué)環(huán)節(jié)。1. 畢業(yè)設(shè)計(jì)的目的 通過本次畢業(yè)設(shè)計(jì)，使達(dá)到以下幾個(gè)效果：（1）鞏固、擴(kuò)大、深化學(xué)生以前所學(xué)的基礎(chǔ)和專業(yè)知識(shí)；（2）培養(yǎng)學(xué)生綜合分析、理論聯(lián)系實(shí)際的能力；（3）培養(yǎng)學(xué)生調(diào)查研究、正確熟練運(yùn)用國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范、手冊(cè)等工具書的能力；（4）鍛煉進(jìn)行設(shè)計(jì)計(jì)算、數(shù)據(jù)處理、編寫技術(shù)文件、繪圖等獨(dú)立工作能力。2. 畢業(yè)設(shè)計(jì)的主要內(nèi)容和任務(wù)本次設(shè)計(jì)的主要內(nèi)容是劃片機(jī)劃片的ELID的修銳裝置和回轉(zhuǎn)傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。3. 計(jì)劃安排畢業(yè)設(shè)計(jì)是實(shí)踐性的教學(xué)環(huán)節(jié)，可以分以下幾個(gè)階段：（1） 實(shí)習(xí)階段，通過畢業(yè)實(shí)習(xí)實(shí)地調(diào)查、研究、收集有關(guān)資料，掌握ELID磨削加工技術(shù)，了解平面磨床的ELID修銳裝置結(jié)構(gòu)、工作原理和設(shè)計(jì)的基本要求，花兩周時(shí)間； （2） 制定方案、總體設(shè)計(jì)階段，花兩周時(shí)間； （3） 計(jì)算和技術(shù)設(shè)計(jì)階段，花一周半； （4） 繪制圖紙，花一周半； （5） 整理設(shè)計(jì)說明書，花一周時(shí)間； （6） 答辯階段，自述設(shè)計(jì)內(nèi)容，回答問題，花半周時(shí)間。為了使砂輪在使用中能始終保持正確的形狀和銳利性，需要定期對(duì)砂輪進(jìn)行修整。砂輪磨削時(shí)容易發(fā)生粘附、變鈍、堵塞的現(xiàn)象，是影響硬脆材料珩磨質(zhì)量和效率的因素之一，磨損和堵塞后的砂輪磨削性能變差，無法繼續(xù)對(duì)工件材料進(jìn)行磨削加工，這既影響了工件的加工質(zhì)量，又影響加工效率，所以，采用一種有效的砂輪修整方法，實(shí)現(xiàn)工程材料的高速高效磨削加工，對(duì)工程材料的加工的推廣應(yīng)用有十分重要的意義。國內(nèi)外的一些高校和學(xué)者己經(jīng)對(duì)該項(xiàng)技術(shù)進(jìn)行了一定的理論和試驗(yàn)研究工作，取得一定的成果，ELID磨削可以明顯的降低磨削力和工件表面粗糙度，但是目前砂輪在線電解修銳技術(shù)主要應(yīng)用于低速、精密和超精密鏡面珩磨中,研究對(duì)金剛石砂輪劃片的ELID修銳機(jī)理，對(duì)提高材料的磨削效率、改善表面加工質(zhì)量以及拓寬砂輪在線電解修銳技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域都具有重要的意義。為了解決這一問題，日本學(xué)者Hitoshi Ohmori(大森整)于1987年提出了砂輪在線電解修銳技術(shù)，成功解決了硬脆材料的難加工問題。在Hitoshi Ohmori研究的基礎(chǔ)上，NobuhideItoh, Shinya Morita等學(xué)者采用鑄鐵結(jié)合劑金剛石砂輪對(duì)Gd2SiO5的ELID磨削特點(diǎn)進(jìn)行了研究:Kiyoshi Sawada,Akira Yamamoto等學(xué)者采用ELID技術(shù)對(duì)石英石坯料進(jìn)行了磨削試驗(yàn)研究。日本的富士公司、Fuji模具株式會(huì)社、新東工業(yè)株式會(huì)社等許多公司采用該技術(shù)進(jìn)行零部件的加工生產(chǎn)