【正文】 isplayed時(shí)，打開新的設(shè)計(jì)時(shí)，原來設(shè)計(jì)的圖表仍然存在。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 12 主菜單 Tools 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 13 Tools介紹 ? Materials： 打開材料數(shù)據(jù)表，雙擊表中任何一個(gè)材料，都會彈出這個(gè)材料的波長和折射率數(shù)據(jù)， ? Load ZEMAX Coating File： 其數(shù)據(jù)可以與 zemax交互使用， 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 14 主菜單 Options 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 15 General 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 16 Options介紹－－ General (1)Data Sources ： 上面的是當(dāng)前材料文件夾的路徑；下南是參考文件夾的路徑。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 11 File介紹 ? Open:打開已經(jīng)有的薄膜文件， ? Open Material： 列出所有可以選擇的材料， ? Open Substrate： 打開基底文件，表格中顯示不同波長的內(nèi)透過率或密度， ? Open Reference： 打開參考文件。 Windows174。主要有： (1)Core: 設(shè)計(jì)編輯器 ,數(shù)據(jù)、目標(biāo)等編輯器，輸入 /輸出，材料管理，性能計(jì)算，優(yōu)化和綜合 (Refinement and synthesis), 輸出到 ZEMAX, 導(dǎo)納軌跡 (Admittance loci), 電場 ,輔助設(shè)計(jì)， (2)vStack: vStack編輯器 , vStack性能計(jì)算 計(jì)算非平面平行 (nonparallelsided)基底和薄膜性能， (3)Runsheet: 機(jī)器配置和 (Machine Configuration) Runsheet 編輯器， 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 5 工具 （ 4） Monitorlink: 特殊的 Runsheet配置，輸出監(jiān)控程序，與特定控制器連接的標(biāo)準(zhǔn)工具 ( Free standing tool) ， （ 5） Function:操作編輯器 (Operation editor)和 語法檢查程序 (syntax checker), 函數(shù)求值程序 (Function evaluator)， （ 6） Simulator: 沉積過程模擬器 (Process deposition simulator)， （ 7） DWDM Assistant: 帶通濾波器設(shè)計(jì) (bandpass filter designs)。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 3 軟件介紹 ? 方便創(chuàng)建或編輯各種薄膜， ? 帶有各種薄膜材料和基底材料庫， ? 可以靈活地使用不同的單位， ? 設(shè)計(jì)結(jié)果可以輸出到光學(xué)設(shè)計(jì)軟件 ZEMAX中去。2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 1 Essential Macleod光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)軟件介紹 吳新民 Email: 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 2 軟件介紹 ? 它是一款光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)和分析軟件， ? 可以計(jì)算給定光學(xué)薄膜的特性參數(shù)，不但包括反射率(reflectance)、 透射率 (transmittance)和位相(phase),還包括顏色 (color), 超速的 (ultrafast),橢圓偏振量 ( ellipsometric)， 以及波長的 03階導(dǎo)數(shù)。 ? 可以估算分析中的隨機(jī)誤差， ? 可以對已知的設(shè)計(jì)進(jìn)行改進(jìn)，或者根據(jù)設(shè)定的材料和目標(biāo)進(jìn)行綜合設(shè)計(jì)。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 4 工具 ? Essential Macleod包含大量的工具。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 6 系統(tǒng)需求 ? 完全與 Microsoft174。 操作系統(tǒng)兼容， ? Pentium 處理器 ? 建議硬盤空間： 2025Mb ， ? 內(nèi)存： 128Mb 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 7 文件類型 ? .dds:設(shè)計(jì)文件 ? .npl:繪圖文件 ? .tbl:表格文件 ? .moc:光學(xué)數(shù)據(jù) ? .dst:堆 (stack)文件 ? .np3:3維繪圖文件 ? .pmx： pmx文件 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 8 軟件主窗口界面 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 9 主菜單 File 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 10 File介紹－ New… (1) Design： 彈出帶有缺省設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)窗口(2)Material： 彈出一個(gè)建立新材料的表格窗口，可以輸入光學(xué)常數(shù)和波長等數(shù)據(jù)， (3)Optical Constant： 通過輸入的數(shù)據(jù)得到反射率和透過率曲線， (4)Table： 建立一個(gè)只讀空白表格，欄目自定義， (5)Stack： 打開基底和膜層合并的設(shè)計(jì)和分析的文本窗口 ， (6)vStack： 打開不平行基底和膜層合并的設(shè)計(jì)和分析的文本窗口 ， (7)Substrate： 建立材料內(nèi)透過率的表格。參考文件包含如顏色評介方面所需要的數(shù)據(jù)。 (2) Windows： 選擇 Cascading Close時(shí)，當(dāng)一個(gè)設(shè)計(jì)窗口關(guān)閉時(shí)，相關(guān)的圖表窗口都一起關(guān)閉；當(dāng)選擇Prompt to save old Tables and Plots before closing box 時(shí)，會在關(guān)閉圖表前提示是否存盤。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 17 Plotting ? 圖形坐標(biāo)軸和繪圖的定制。與 Nominal Plot Segment Length 類似。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 19 Design ? 控制顯示的膜層順序和計(jì)算公式順序等。包括顏色、線型等。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 22 DESIGN WINDOW 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 23 設(shè)計(jì)窗口 ? 選擇 newdesign進(jìn)入設(shè)計(jì)窗口 (整個(gè)主菜單相應(yīng)變了 )： ? (在 filedisplay setup中設(shè)置此表格的顯示欄目 ) 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 24 膜層編輯－ Formula ? Formula可以用簡化符號編輯薄膜，特別是輸入膜層數(shù)據(jù)很方便。 ? 膜層厚度表示為基本厚度 (basic thickness)的積，如 or (如果基本厚度為 ，則分別表示 * = full waves和 * = full waves) 。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 25 Formula窗口 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 26 Generate Rugate… ? 用這個(gè)命令容易生成一個(gè)有皺褶膜 (rugate coatings)模型。折射率的變化用改變每層的 packing density 來實(shí)現(xiàn)。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 27 膜層厚度 (thickness) ? 可以是光學(xué)的 (optical), 幾何的 (geometrical), 物理的(physical)或 QWOT。這種厚度可以轉(zhuǎn)換為晶振監(jiān)控規(guī)格，或?yàn)R射線上的沉積時(shí)間， ? (2) 光學(xué)厚度：物理厚度乘以材料的折射率，即光程，再除以參考波長。常用光學(xué)厚度， ? (3)QWOT厚度：其數(shù)值為 4倍光學(xué)厚度， ? (4)幾何厚度：物理厚度除以波長。 ? 當(dāng)研究不均勻性時(shí)，或需要對通或禁帶進(jìn)行微調(diào)時(shí)，經(jīng)常要這樣做。都可以用這個(gè)命令容易實(shí)現(xiàn)。此命令可以自動(dòng)調(diào)整這個(gè)厚度。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 32 Edit Materials... ? 可以改變設(shè)計(jì)中的材料。 不改變公式中列出符號。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 34 3D Performance... ? 定義 3D坐標(biāo) 軸 。 ? 將不同設(shè)計(jì)結(jié)果的曲線畫在一起 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 36 Table ? 屬于只讀表格。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 37 Errors分析 ? Mean和 standard deviation可以是 Absolute或 Relative. 通常選擇相對的，此時(shí)誤差與膜層厚度成正比。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 39 3D Plot ? 畫一個(gè) 3D plot。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 40 Lock/Link Menu (Design) 用于 refinement 和 synthesis 過程。 Unlock:取消鎖定， Link:二個(gè)或幾個(gè)膜層建立關(guān)聯(lián)。軟件會將厚度小于設(shè)置值的膜層去掉，并關(guān)閉設(shè)計(jì)。 2022/6/2 版權(quán)所有 2022 訊技光電科技（上海）有限公司 43 Index Profile... ? 繪出折射率－厚度曲