表面處理工藝-pvd及其他-展示頁
2025-05-12 08:00本頁面
【正文】 當(dāng)泵工作后，形成壓差， p1 p2， 實現(xiàn)了抽氣。 真空中 ， 氣體分子或帶電粒子的平均自由程為： pkT 22 ??? ? 其中為分子直徑， p為壓強， T為氣體溫度， k為玻耳茲曼常數(shù)。 現(xiàn)在 ， 真空技術(shù)已經(jīng)成為一門獨立的前言學(xué)科 。 真空技術(shù)是基本實驗技術(shù)之一 。 在指定的空間內(nèi) ， 低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)統(tǒng)稱為真空 。表面處理工藝 劉西凈 2022年 12月 內(nèi)容 PVD（物理氣相沉積） PMMA表面陶瓷涂層 LDS（ Laser Direct Structuring激光直接成型技術(shù) ) 真空及如何獲得真空 蒸發(fā)鍍 濺射鍍 離子鍍 物理氣相沉積 塊 狀材料 (靶材 ) 薄膜 物 質(zhì)輸 運 能量 輸 運 能量 襯 底 物理氣相沉積原理 ?高真空 (HV) ?高純材料 ?清潔和光滑的襯底表面 ?提供能量的電源 PVD的四個條件 真空 ” 這一術(shù)語譯自拉丁文 Vacuo， 其意義是虛無 。 其實真空應(yīng)理解為氣體較稀薄的空間 。 真空狀態(tài)下氣體稀薄程度稱為真空度 ， 通常用壓力值表示 。 自從 1643年托里拆利 (E. Torricelli)做了著名的有關(guān)大氣壓力實驗 ， 發(fā)現(xiàn)了真空現(xiàn)象以后 ， 真空技術(shù)迅速發(fā)展 。 真空的概念 真空量度單位 1標準大氣壓 =760mmHg=760(Torr) 1標準大氣壓 = Pa 1Torr= 真空區(qū)域的劃分 粗真空 低真空 高真空 超高真空 極高真空 )107 6 0(1010 35 T o r rpa ??)1010(1010 8361 T o r rpa ???? ??)1010(1010 128106 T o r rpa ???? ??)10(10 1210 T o r rpa ?? ??)1010(1010 313 T o r rpa ?? ??真空的基本特點 在真空中 ， 氣體分子密度低 ， 在某些情況下 ， 真空可以近似地看作沒有氣體 “ 污染 ”的空間 。 真空獲得 — 真空泵 ? 1654年，德國物理學(xué)家葛利克發(fā)明了抽氣泵，做了著名的馬德堡半球試驗。 真空泵的分類 氣體傳輸泵 : 是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外以達到抽氣目的的真空泵，例如旋片機械泵、油擴散泵、渦輪分子泵。 真空泵的主要參數(shù) ? 抽氣速率 : 定義為在泵的進氣口任意給定壓強下，單位時間內(nèi)流入泵內(nèi)的氣體體積 或表示為： 其中， Q為單位時間內(nèi)流入泵的氣體量。 PQ?S1PPtVS????? 幾種常用真空 泵 的工作 壓強 范 圍 旋片機械 泵 吸附 泵 擴 散 泵 渦輪 分子 泵 濺 射離子 泵 低溫 泵 pa25 1010 ??pa25 1010 ??pa50 1010 ??pa81 1010 ??pa111 1010 ?? ?pa100 1010 ??旋片式機械 泵 幾種常用真空泵的工作原理 1. 旋片機械泵 2. 油 擴 散 泵 1. 水冷套； 2. 噴 油嘴； 3. 導(dǎo) 流管； 4. 泵 殼； 5. 加 熱 器 分子 泵 1. 動 葉 輪 ；2. 泵 殼； 3. 渦輪 排； 4. 中 頻電動 機； 5. 底座； 6. 出氣口法 蘭 ； 7. 潤 滑油池； 8. 靜葉 輪 ；9. 電 機冷卻水管 . 真空的測量 — 真空計 1. 絕對真空計 直接測量真空度的量具，如 U型計、壓縮真空計 (麥克勞真空計 ) 。 薄膜厚度的測量 干涉顯微鏡法 稱重法 石英晶體振蕩器法 ?Amt?真空蒸發(fā)鍍 ? 基本思想：提高溫度，熔解并蒸發(fā)材料 ? 將材料置于某種容器內(nèi)（上） ? 將用高熔點金屬 (W, Mo, Ta, Nb)制成的加熱絲或舟通上直流電，利用歐姆熱加熱材料 ? 將用絕緣材料 (quartz, graphite, alumina, beryllia, zirconia)制成的坩堝通上射頻交流電，利用電磁感應(yīng)加熱材料 真空蒸發(fā) 真空 泵 加 熱絲 、舟或坩 堝 襯 底架 玻璃 鐘 罩 厚度 監(jiān) 控 儀 充氣管道 反 應(yīng) 氣體管道 襯 底
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