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2025-06-20 08:00本頁(yè)面
【正文】 Plume 常用蒸 發(fā) 源 加 熱絲 加 熱 舟 坩 堝 盒狀源（ Knudsen Cell） InSn絲 NCVM鍍 膜材料 錫 粒 NCVM工 藝 流程 PVD蒸鍍法 真空蒸鍍 濺射蒸鍍 粒子生成 機(jī)構(gòu) 熱能 動(dòng)能 粒子 原子、 離子 原子、 離子 蒸 鍍均勻性 復(fù)雜形狀 佳 普通 平面 佳 優(yōu) 蒸 鍍金屬 可 可 蒸 鍍 合金 可 可 蒸 鍍 耐 熱 化合物 可 可 粒子能量 很低 ~ 可提高 1~100eV 惰性氣體離子沖擊 通常不可以 可，或依形狀不可 表面 與層間 的混合 通常 無(wú) 可 加熱（ 外加 熱 ） 通常 無(wú) 可 蒸 鍍 速率 109m/sec ~ ~ 金屬在制成厚度低於 100nm 的薄膜時(shí) ,都會(huì)形成島狀不連續(xù)的金屬膜 ,使得其電阻率大幅增加 NCVM不 導(dǎo)電 的原理 性能： ESD , 阻 值 (200M~20G以上 ) ； RF的 測(cè)試 ； 常 規(guī) 信 賴 性 測(cè)試 。電子束獲得能量密度大，可加熱到 3000度以上，可同時(shí)滿足高熔點(diǎn)材料蒸發(fā)，如鎢、SiO Al2O3等。 電子束轟擊膜材時(shí)，會(huì)激發(fā)許多有害的反射電子、背散射電子及二次 電子，損傷基片。因此，在 510nm波長(zhǎng)時(shí) 膜 層 有一個(gè)光學(xué)密度（厚度） n*d為 1/4的波 長(zhǎng) 。C的玻璃基底上的 MgF2，不但牢固， 穩(wěn) 定，并且相當(dāng)方便， 經(jīng)濟(jì) ，直接使用蒸 發(fā) 船便可。 2層 膜的 優(yōu) 點(diǎn)是在可 見(jiàn) 光范 圍 的中段有更低的反射率，缺點(diǎn)在于在 紅 ，藍(lán) 端的反射率上升 過(guò) 快。 6層 AR膜：玻璃 /TiO2/SiO2/ TiO2/SiO2 TiO2/SiO2 厚度范圍（ nm） 9~13/30~40/50~80/1~15/22~40/80~90 AR寬度范圍： %,430~680nm 真空濺射鍍 濺射鍍膜是利用氣體放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下轟擊作為陰極的靶材，使靶材中的原子（或分子）逸出并沉積到基板表材上形成所需要的膜。 分 類 ： 非反應(yīng)濺射 反 應(yīng)濺 射 直流磁控濺射 中頻磁控濺射 射頻磁控濺射 成膜條件： 靶材 Ar 周圍的真空環(huán)境 磁控濺射原理 Ar Ar+ + e ， Ar+會(huì)加速飛向陰極的靶材，靶材離子及二次電子被擊出，前者到達(dá)基材表面形成薄膜，后者會(huì)被加速至陰極途中促成更多的電離 ，延長(zhǎng)其在等離子中的運(yùn)動(dòng)軌跡，提高它參與氣體分子碰撞和電離過(guò)程中的幾率的作用。 磁控濺射的特點(diǎn) 1. 離化率高，等離子密度大，從而提高了濺射速率； 2. 減少了電子對(duì)基材的轟擊，從而有效地降低了基材的溫升； 3. 平面靶材利用率低，只有 2030%左右，不過(guò)目前可以使用旋轉(zhuǎn)圓柱靶材，可以獲得 70%以上的利用率。 ?金屬薄膜厚度只有 ～ 2μ m，不影響裝配。 ?欲濺射材料無(wú)限制 ?被濺射基材幾無(wú)限制 ?膜質(zhì)致密均勻、膜厚容易控制。 離子鍍與蒸發(fā)鍍、濺射鍍的本質(zhì)區(qū)別：前者在基片上施加了負(fù)偏壓，后者在基片上未加負(fù)偏壓。離子轟擊的目的在于改善膜層的性能。離子經(jīng)電場(chǎng)加速而沉積在帶負(fù)電荷的工件上。如在切削刀具上鍍制 2~5μm的TiN膜層，可使刀具壽命提高 2~10倍，提高切削速度 30%,提高進(jìn)給量 20~100%，且使加工工件的光滑度提高一個(gè)等級(jí)。 高速切削工具 (鉆頭，銑刀等 )：鍍 AlTiN， TiAlN等 機(jī)加工工具 (車刀，銑刀，滾刀等 )：鍍 TiN， TiNC， TiAlN等 模具 (塑料擠壓模具，金屬成型模具等 )：鍍 TiN， TiNC， TiAlN， CrC 鋸片 (金屬鋸片，石料鋸片，木工鋸片等 )：鍍 TiN，CrC， TiCN， AlTiN 產(chǎn)品名稱 鍍膜材料 微硬度(HV) 摩擦系數(shù) 內(nèi)應(yīng)力 耐氧化溫度 鍍膜顏色 鍍膜結(jié)構(gòu) TiAlN 氮化鈦鋁 3000 800 暗紫色 多層膜 TiAlN 氮化鋁鈦 3300 ~ 900 黑紫色 納米結(jié)構(gòu) DLC 類金剛石 2500 ~ N/A 350 灰黑色 單層膜 WC/C 碳化鎢 1000 300 灰黑色
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