memes微光柵編碼器-展示頁
2025-05-10 22:25本頁面
【正文】 ，設(shè)置在它們前面的是將透鏡膜堆積后，腐蝕成透鏡形狀，在制成厚度約為 10um的微透鏡。 ? 可以在直徑 2in的基板上同時(shí)制作 8000個(gè)。希望在功能和性能（分辨率 10nm）方面能達(dá)到與目前最高級產(chǎn)品同等的水平。 ? 對于小型、可高精度測定的光衍射編碼器進(jìn)行了微型化實(shí)驗(yàn)。因此 , 在編碼器等測量和傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)微型化 , 是有很大實(shí)用價(jià)值的。Encoder 在三維測定器方面的應(yīng)用并不妨礙目前變位計(jì)的高功能化。 返回 微型光柵編碼器的原理及結(jié)構(gòu)尺寸 MEMS grating encoder 本身非常小 , 可以將多個(gè)編碼器編入微小的執(zhí)行元件中 , 有利于執(zhí)行元件的高功能化。這樣 , 就勢必要求實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)化。 ? 對于復(fù)雜拋物線形狀等的 X線 ,用金屬反射鏡、非球面透鏡，要求實(shí)現(xiàn)高精度化的呼聲也日益提高。最初編碼器實(shí)施數(shù)字化的目的只是為了適應(yīng)自動(dòng)化、省力化和高速化發(fā)展的需要。 ? 用 開發(fā)微型光柵編碼器的意義； 編碼器是一種探測
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