電鏡結(jié)構(gòu)ppt課件-展示頁
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【正文】 B2圓斑（ Airy斑）。1 電子顯微分析 2022年 7月 2 基本內(nèi)容 ? 1 電鏡的結(jié)構(gòu)與成象 ? 2 電鏡中的電子衍射及分析 1）斑點花樣（原理、實驗方法、指數(shù)標(biāo)定及應(yīng)用） 2）菊池線花樣 （原理、指數(shù)標(biāo)定、應(yīng)用） 3）會聚書束花樣 （原理、實驗方法、指數(shù)標(biāo)定及應(yīng)用） ? 3 電鏡顯微圖象解釋 1）復(fù)形象 2）衍襯象 3）相位象 ? 4 掃描電子顯微術(shù) ? 5 X射線顯微分析和俄歇能譜分析 3 第一章 電鏡的結(jié)構(gòu)與成象 光學(xué)顯微鏡的局限性 1）一個世紀(jì)以來，人們一直用光學(xué)顯微鏡來揭示金屬材料的顯微組織，借以弄清楚組織、成分、性能的內(nèi)在聯(lián)系。但光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)有限，對諸如合金中的 區(qū)（幾十埃）無能為力。若 O1 、 O2靠的太近，過分重疊，圖象就模糊不清。 （ a） （ b） 5 圖（ c）兩個 Airy斑 明顯可分辨出。 圖（ e）兩個 Airy斑 分辨不出。 5）提高透鏡的分辨本領(lǐng)：增大數(shù)值孔徑是困難的和有限的，唯有尋找比可見光波長更短的光線才能解決這個問題。電子波 7 h —— Plank 常數(shù) ， m —— v —— 電子速度 顯然， v越大， 越小，電子的速度與其加速電壓（ E伏特）有關(guān) 即 而 則 埃 即若被 150伏的電壓加速的電子，波長為 1 埃。（參考教材 P121 表 81） 8 電子透鏡 1）電子可以憑借軸對稱的非均勻電場、磁場的力，使其會聚或發(fā)散，從而達(dá)到成象的目的。 磁透鏡 靜電透鏡 1. 改變線圈中的電流強(qiáng)度可很方便的控制焦距和放大率； 2. 無擊穿，供給磁透鏡線圈的電壓為 60到 100伏； 3. 象差小。 9 3）磁透鏡結(jié)構(gòu)剖面圖 圖 83 10 4）磁透鏡使電子會聚的原理 O O’ z 圖 82 電子在磁透鏡中的運(yùn)動軌跡 A C 11 O O’ A C 圖 81 A點位置的 B 和 v的分解情況 12 電子在磁場中要受到磁場作用力： 即 圓周運(yùn)動 切向運(yùn)動 向軸運(yùn)動 在 C處有一離心作用力，可以抵消與 A點相當(dāng)?shù)南蜉S作用力， 但 A、 C中心處特別大的向軸力是抵不掉的，電子繼續(xù)向軸偏轉(zhuǎn)。 13 所有從 O點出發(fā)的電子類似的軌跡運(yùn)動，在 v一定時，當(dāng)軌跡與軸的角度很小時，電子會聚在 O’點（ O）的象。 14 我們有下面的結(jié)論： 1）所有從同一點出發(fā)的不同方向的電子，經(jīng)透鏡作用后，交于象 平面同一點，構(gòu)成相應(yīng)的象。 有極靴的透鏡 極靴使得磁場被聚焦在極靴上下的間隔 h內(nèi)， h可以小到 1mm左右。計算透鏡焦距 f的近似公式 為 電子顯微鏡可以提供放大了的象，電子波長又非常短，人們便自 然地把電子顯微鏡視為彌補(bǔ)光學(xué)顯微鏡不足的有利工具 15 O z 圖 83 帶鐵殼的帶極靴的透鏡 O’ 16 有極靴 B（ z） 沒有極靴 無鐵殼 z 圖 83 磁感應(yīng)強(qiáng)度分布圖 17 電子透鏡的缺陷和理論分辨距離 電子透鏡也存在缺陷，使得實際分辨距離遠(yuǎn)小于理論分辨 距離，對電鏡分辨本領(lǐng)起作用的是球差、象散和色差
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