培訓(xùn)資料電鏡ppt課件(2)-展示頁(yè)
2025-01-19 17:36本頁(yè)面
【正文】 (若熒光屏畫面面積為 10 10cm2) 放大倍數(shù) 掃描面積 10 (1cm)2 100 (1mm)2 1,000 (100μ m)2 10,000 (10μ m)2 100,000 (1μ m)2 AcAsK＝4. SEM的主要性能指標(biāo) 12 4. SEM的主要性能指標(biāo) （ 2） 分辨率 ： 樣品上可以分辨的兩個(gè)鄰近的質(zhì)點(diǎn)或線條間的距離。具有低噪聲、寬頻帶 (10Hz~1MHz)、高增益 (106)等特點(diǎn) 10 3．信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng) ? 信號(hào)電子進(jìn)入閃爍體后即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后就產(chǎn)生可見光。 ? 二次電子、背散射電子和透射電子的信號(hào)都可采用 閃爍計(jì)數(shù)器 來進(jìn)行檢測(cè)。 電子束在樣品表面進(jìn)行的掃描方式 (a)光柵掃描 (b)角光柵掃描 9 3．信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng) ? 作用：收集 (探測(cè) )樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號(hào)，并進(jìn)行放大。 主要包括：用于形成光柵狀掃描的 掃描系統(tǒng) ，以及使樣品上的電子束間斷性消隱或截?cái)嗟?偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) 。 1. 電子光學(xué)系統(tǒng) 作用 ：獲得掃描電子束。 3） 樣品不需要復(fù)雜的準(zhǔn)備過程，制樣非常簡(jiǎn)單。 一、工作原理 SEM原理與 TEM的主要區(qū)別： 1） 在 SEM中電子束并不像 TEM中一樣是靜態(tài)的：在掃描線圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的作用下，細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描。 ? 由于顯像管中的電子束和鏡筒中的電子束是 同步掃描 的，顯像管上各點(diǎn)的亮度是由試樣上各點(diǎn)激發(fā)出的電子信號(hào)強(qiáng)度來調(diào)制的，即由試樣表面上任一點(diǎn)所收集來的信號(hào)強(qiáng)度與顯像管屏上相應(yīng)點(diǎn)亮度之間是一一對(duì)應(yīng)的。 ? 試樣在電子束作用下，激發(fā)出各種信號(hào)，信號(hào)的強(qiáng)度取決于試樣 表面的形貌、受激區(qū)域的成分和晶體取向 。 ? 電子束經(jīng)三個(gè)電磁透鏡聚焦后，成直徑為 幾個(gè)納米 的電子束。 類似電視攝影顯像的方式 。1 第四章 掃描電子顯微分析與電子探針 第一節(jié) 掃描電子顯微鏡工作原理及構(gòu)造 一、工作原理 二、構(gòu)造與主要性能 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 一、像襯原理 二、應(yīng)用 第三節(jié) 電子探針 X射線顯微分析（ EPMA） 一、能譜儀 二、波譜儀 三、 EPMA的基本工作方式 XRD、 TEM、 ED， SEM應(yīng)用實(shí)例 2 第一節(jié) 掃描電子顯微鏡工作原理及構(gòu)造 一、工作原理 SEM原理示意圖 目前的掃描電子顯微鏡可以進(jìn)行 形貌 、 微區(qū)成分 和 晶體結(jié)構(gòu) 等多種微觀組織結(jié)構(gòu)信息的 同位分析 。 成像原理 ：利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描時(shí)激發(fā)出來的各種物理信號(hào)調(diào)制成像。 SEM的樣品室附近可以裝入多個(gè)探測(cè)器。 ? 末級(jí)透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做 光柵
環(huán)評(píng)公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1