[工學(xué)]07-第4章精密和超精密加工機(jī)床-展示頁
2025-01-28 10:31本頁面
【正文】 構(gòu)本身必須能夠制造 第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 微位移機(jī)構(gòu)的分類與特點(diǎn)微位移機(jī)構(gòu)的分類與特點(diǎn)? 柔性支承柔性支承 ———— 壓電或壓電或電致伸縮驅(qū)動；電致伸縮驅(qū)動；? 滾動導(dǎo)軌滾動導(dǎo)軌 ———— 壓電或壓電或電致伸縮驅(qū)動；電致伸縮驅(qū)動；? 滑動導(dǎo)軌滑動導(dǎo)軌 ———— 機(jī)械式機(jī)械式驅(qū)動；驅(qū)動；? 平行彈性導(dǎo)軌平行彈性導(dǎo)軌 ———— 機(jī)機(jī)械式或電磁等驅(qū)動；械式或電磁等驅(qū)動；? 氣浮導(dǎo)軌氣浮導(dǎo)軌 ———— 伺服電伺服電機(jī)或直線電機(jī)驅(qū)動。第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 4）機(jī)床設(shè)計提高加工精度的途徑? 機(jī)床主軸系統(tǒng)? 導(dǎo)軌系統(tǒng)? （微量）進(jìn)給機(jī)構(gòu)? 穩(wěn)固的床身? 檢測與誤差補(bǔ)償系統(tǒng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床主軸系統(tǒng) 1）） 關(guān)鍵精度要求：關(guān)鍵精度要求： 2）） 液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)? 主軸回轉(zhuǎn)誤差（精度）： ≤ μm? 剛度大、承載能力強(qiáng)? 油壓： 68 MPa? 油經(jīng)過恒溫控制；? 軸承用恒溫水冷卻典型液體靜壓軸承主軸結(jié)構(gòu)1徑向軸承； 2止推軸承； 3真空吸盤第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 3）） 空氣靜壓軸承主軸空氣靜壓軸承主軸? 允許的轉(zhuǎn)速高；? 回轉(zhuǎn)精度高；? 剛度低、承載能力?。? 氣隙： 615 μm ；? 氣壓： MPa第 4章 精密和超精密加工機(jī)床空氣靜壓軸承主軸示例空氣靜壓軸承主軸示例第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 1）） 液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)軌靜壓導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：消除低速爬行吸振減振誤差遲鈍化減小摩擦阻力第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床導(dǎo)軌系統(tǒng) 2）） 氣體靜壓導(dǎo)軌氣體靜壓導(dǎo)軌第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 3）） 靜壓導(dǎo)軌的精度靜壓導(dǎo)軌的精度第 4章 精密和超精密加工機(jī)床
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