[工學(xué)]07-第4章精密和超精密加工機(jī)床(完整版)
【正文】 間接法創(chuàng)造性加工 —— 研制更高精度的機(jī)床及其工藝系統(tǒng)，再按蛻化法來(lái)加工高精度零件。第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 4）機(jī)床設(shè)計(jì)提高加工精度的途徑? 機(jī)床主軸系統(tǒng)? 導(dǎo)軌系統(tǒng)? （微量）進(jìn)給機(jī)構(gòu)? 穩(wěn)固的床身? 檢測(cè)與誤差補(bǔ)償系統(tǒng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床主軸系統(tǒng) 1）） 關(guān)鍵精度要求：關(guān)鍵精度要求： 2）） 液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)? 主軸回轉(zhuǎn)誤差（精度）： ≤ μm? 剛度大、承載能力強(qiáng)? 油壓： 68 MPa? 油經(jīng)過(guò)恒溫控制；? 軸承用恒溫水冷卻典型液體靜壓軸承主軸結(jié)構(gòu)1徑向軸承； 2止推軸承； 3真空吸盤(pán)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 3）） 空氣靜壓軸承主軸空氣靜壓軸承主軸? 允許的轉(zhuǎn)速高；? 回轉(zhuǎn)精度高；? 剛度低、承載能力小；? 氣隙： 615 μm ；? 氣壓： MPa第 4章 精密和超精密加工機(jī)床空氣靜壓軸承主軸示例空氣靜壓軸承主軸示例第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 1）） 液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)軌靜壓導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：消除低速爬行吸振減振誤差遲鈍化減小摩擦阻力第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床導(dǎo)軌系統(tǒng) 2）） 氣體靜壓導(dǎo)軌氣體靜壓導(dǎo)軌第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 3）） 靜壓導(dǎo)軌的精度靜壓導(dǎo)軌的精度第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng) 精密數(shù)控系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)1）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)? 多軸聯(lián)動(dòng)（非球曲面要求：多軸聯(lián)動(dòng)（非球曲面要求： x軸、軸、 y軸、軸、 B轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動(dòng)）轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動(dòng)）? 系統(tǒng)高分辨率：系統(tǒng)高分辨率： ≤ μm /脈沖脈沖? 驅(qū)動(dòng)電機(jī)：直流伺服電
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