[工學(xué)]07-第4章精密和超精密加工機(jī)床(參考版)
2025-01-22 10:31本頁(yè)面
【正文】 。√√第 4章 精密和超精密加工機(jī)床第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 機(jī)械結(jié)構(gòu)彈性變形微進(jìn)給原理機(jī)械結(jié)構(gòu)彈性變形微進(jìn)給原理特點(diǎn)：工作穩(wěn)定、重復(fù)精度高、分辨率特點(diǎn)：工作穩(wěn)定、重復(fù)精度高、分辨率 μm、剛度、剛度 70N/μm 第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 壓電和電致伸縮傳感器及其微位移原理壓電和電致伸縮傳感器及其微位移原理基本構(gòu)成：壓電基本構(gòu)成：壓電 /電致伸縮傳感器、微位移裝置、驅(qū)動(dòng)電源電致伸縮傳感器、微位移裝置、驅(qū)動(dòng)電源傳感器材料：壓電陶瓷傳感器材料：壓電陶瓷 PZT（（ PbZnOPbT））特點(diǎn)：特點(diǎn)：? 高剛度無(wú)間隙級(jí)微位移高剛度無(wú)間隙級(jí)微位移? 分辨率分辨率 ? 變形系數(shù)較大變形系數(shù)較大? 很高的響應(yīng)頻率：很高的響應(yīng)頻率： 100μs? 無(wú)空耗電流發(fā)熱問(wèn)題無(wú)空耗電流發(fā)熱問(wèn)題第 4章 精密和超精密加工機(jī)床第 4章 精密和超精密加工機(jī)床第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 幾種典型微位移器工作原理與結(jié)構(gòu)幾種典型微位移器工作原理與結(jié)構(gòu)1）柔性支承 —— 壓電 伸 縮 微位移器 驅(qū)動(dòng) （ 1）第 4章 精密和超精密加工機(jī)床1）柔性支承 —— 壓電 伸 縮 微位移器 驅(qū)動(dòng) （ 2）第 4章 精密和超精密加工機(jī)床2） 滾動(dòng)導(dǎo)軌 —— 壓電 器件 驅(qū)動(dòng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床3） 平行彈簧導(dǎo)軌 —— 機(jī)械式位移 縮 小機(jī)構(gòu) 驅(qū)動(dòng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床4）平行 彈 簧 導(dǎo)軌 —— 電 磁伸 縮 微位移 驅(qū)動(dòng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床5）平行 彈 簧 導(dǎo)軌 —— 電 致伸 縮 微位移 驅(qū)動(dòng) （ ）第 4章 精密和超精密加工機(jī)床6）滑 動(dòng)導(dǎo)軌 —— 壓電 器件 驅(qū)動(dòng)第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床的穩(wěn)定性和減振隔振（自學(xué)）精密機(jī)床的穩(wěn)定性和減振隔振（自學(xué)） 精密機(jī)床熱變形與恒溫控制（自學(xué)）精密機(jī)床熱變形與恒
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