[工學]07-第4章精密和超精密加工機床(參考版)
2025-01-22 10:31本頁面
【正文】 ?！獭痰?4章 精密和超精密加工機床第 4章 精密和超精密加工機床 機械結構彈性變形微進給原理機械結構彈性變形微進給原理特點：工作穩(wěn)定、重復精度高、分辨率特點：工作穩(wěn)定、重復精度高、分辨率 μm、剛度、剛度 70N/μm 第 4章 精密和超精密加工機床 壓電和電致伸縮傳感器及其微位移原理壓電和電致伸縮傳感器及其微位移原理基本構成：壓電基本構成：壓電 /電致伸縮傳感器、微位移裝置、驅動電源電致伸縮傳感器、微位移裝置、驅動電源傳感器材料：壓電陶瓷傳感器材料：壓電陶瓷 PZT（（ PbZnOPbT））特點：特點：? 高剛度無間隙級微位移高剛度無間隙級微位移? 分辨率分辨率 ? 變形系數(shù)較大變形系數(shù)較大? 很高的響應頻率：很高的響應頻率： 100μs? 無空耗電流發(fā)熱問題無空耗電流發(fā)熱問題第 4章 精密和超精密加工機床第 4章 精密和超精密加工機床第 4章 精密和超精密加工機床 幾種典型微位移器工作原理與結構幾種典型微位移器工作原理與結構1）柔性支承 —— 壓電 伸 縮 微位移器 驅動 （ 1）第 4章 精密和超精密加工機床1）柔性支承 —— 壓電 伸 縮 微位移器 驅動 （ 2）第 4章 精密和超精密加工機床2） 滾動導軌 —— 壓電 器件 驅動第 4章 精密和超精密加工機床3） 平行彈簧導軌 —— 機械式位移 縮 小機構 驅動第 4章 精密和超精密加工機床4）平行 彈 簧 導軌 —— 電 磁伸 縮 微位移 驅動第 4章 精密和超精密加工機床5）平行 彈 簧 導軌 —— 電 致伸 縮 微位移 驅動 （ ）第 4章 精密和超精密加工機床6）滑 動導軌 —— 壓電 器件 驅動第 4章 精密和超精密加工機床 精密機床的穩(wěn)定性和減振隔振（自學）精密機床的穩(wěn)定性和減振隔振（自學） 精密機床熱變形與恒溫控制（自學）精密機床熱變形與恒
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