【正文】 2023年 3月 23日星期四 6時 51分 54秒 18:51:5423 March 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 2023年 3月 23日星期四 下午 6時 51分 54秒 18:51: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。勝人者有力，自勝者強。 :51:5418:51Mar2323Mar23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 , March 23, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023年 3月 23日星期四 6時 51分 54秒 18:51:5423 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 。 :51:5418:51:54March 23, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 :51:5418:51Mar2323Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 , March 23, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 2023年 3月 23日星期四 6時 51分 54秒 18:51:5423 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 。 :51:5418:51:54March 23, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 :51:5418:51Mar2323Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 , March 23, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 2023/3/23 第 8節(jié) 減少熱變形和恒溫控制 二、 LODTM 的恒溫控制 機床放置在用鋁制框架和絕熱塑料爐墻板做成的恒溫室里； 恒溫室內(nèi)通恒溫空氣； 使用兩級水冷熱交換器，用測熱傳感器測進(jìn)入的空氣溫度； 重要部件直接用恒溫水流控制。 使用空氣隔振墊 Moore公司的 M－ 18AG車床、 Pneumo公司的 MSG325車床、DTM－ 3機床和 LODTM車床用空氣隔振墊支承，高位支承將使機床的抗振性提高，增加機床的穩(wěn)定性。 2023/3/23 第 7節(jié) 機床的穩(wěn)定性和減振隔振 四、隔離振源，使用隔振溝、隔振墻和 空氣隔振墊以減少外界振動的影響 超精密機床應(yīng)盡量遠(yuǎn)離振源； LODTM大型超精密車床為避免恒溫水的水泵的振動的影響，水泵將恒溫水打到水箱中，恒溫水靠自重從水箱流到超精密機床的各個部件。 在機床結(jié)構(gòu)的易振動部分，人為的加入阻尼，減小振動。 2023/3/23 第 7節(jié) 機床的穩(wěn)定性和減振隔振 三、提高機床結(jié)構(gòu)的抗振性和消除減少機床內(nèi)的振動 各運動部件都經(jīng)過精密動平衡，消滅或減少機床內(nèi)部的振源。隔振措施是針對振源采取的，稱為積極隔振；隔振措施是對精密設(shè)備采取的，其目的是減小環(huán)境振動對精密設(shè)備的影響，稱為消極隔振。 2023/3/23 第 7節(jié) 機床的穩(wěn)定性和減振隔振 問題 1：什么樣的機床的穩(wěn)定性好？ 問題 2：怎樣減少機床內(nèi)部的振動？ 問題 3：怎樣減少外界振動對機床的影響？ 2023/3/23 第 7節(jié) 機床的穩(wěn)定性和減振隔振 二、隔振的目的與任務(wù) 隔振的目的是采用一定的隔振措施，使環(huán)境振動不致影響精密設(shè)備的正常工作。激光測量系統(tǒng)的分辨率為 ，大部分激光光路采用封閉。 2023/3/23 第 6節(jié) 機床運動部件位移的 激光在線檢測系統(tǒng) 二、 MSG－ 325超精密機床的激光檢測系統(tǒng) 美國 HP公司生產(chǎn)的 HP5501兩坐標(biāo)雙頻激光干涉測量系統(tǒng)。 2023/3/23 電致伸縮式微量進(jìn)給裝置的結(jié)構(gòu) 第 5節(jié) 微量進(jìn)給裝置 2023/3/23 電致伸縮式微量進(jìn)給裝置的結(jié)構(gòu) 第 5節(jié) 微量進(jìn)給裝置 2023/3/23 第 6節(jié) 機床運動部件位移的 激光在線檢測系統(tǒng) 一、激光在線檢測系統(tǒng)的工作原理 超精密機床的工件的形狀由機床的兩坐標(biāo)（ z向和 x向）的精密數(shù)控系統(tǒng)來控制工件和刀具的相對位置。 2023/3/23 第 5節(jié) 微量進(jìn)給裝置 電致伸縮傳感器的結(jié)構(gòu)和性能 兩片成一對，中間通正電，兩側(cè)通負(fù)電，將很多對陶瓷片疊在一起，正極聯(lián)在一起，負(fù)極聯(lián)在一起。因此，能夠在各個領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。 壓電陶瓷是一種具有能量轉(zhuǎn)換功能的陶瓷，在機械力的作用下發(fā)生形變時，會引起表面帶電。在機器人上做觸覺傳感器可感知溫度、壓力，采用不同模式可以識別邊角、棱等幾何特征。 2023/3/23 第 5節(jié) 微量進(jìn)給裝置 三、機械結(jié)構(gòu)彈性變形微量進(jìn)給裝置 2023/3/23 第 5節(jié) 微量進(jìn)給裝置 四、壓電和電致伸縮傳感器進(jìn)給裝置 壓電和電致伸縮傳感器的材料 壓電材料可以將壓強、振動等迅速轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘枺驅(qū)㈦娦盘栟D(zhuǎn)變?yōu)檎駝有盘?，也就是說壓電材料在外電場的作用下可以產(chǎn)生微小變形，同時也可以將微小變形轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘枴? 微量進(jìn)給機構(gòu)應(yīng)滿足的要求： 1）精微進(jìn)給和粗進(jìn)給應(yīng)分開； 2）運動部分必須是低摩擦和高穩(wěn)定度的； 3）末級傳動元件必須具有很高的剛度； 4）微量進(jìn)給機構(gòu)內(nèi)部聯(lián)接必須是可靠聯(lián)接； 5）工藝性好，容易制造； 6）微量進(jìn)給機構(gòu)具有好的動特性； 7）微量進(jìn)給機構(gòu)應(yīng)能實現(xiàn)微量進(jìn)給的自動控制。 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 五、摩擦驅(qū)動 進(jìn)一步提高導(dǎo)軌運動的平穩(wěn)性和精度，優(yōu)于滾珠絲杠副的驅(qū)動。 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 四、液體靜壓和空氣靜壓絲杠副驅(qū)動 提高進(jìn)給運動的平穩(wěn)性。精密級和高精密級滾珠絲杠的螺母常做成兩段組合。 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 三、滾珠絲杠副驅(qū)動 進(jìn)給的驅(qū)動元件，滾珠在絲杠和螺紋槽內(nèi)滾動，摩擦力小，且滾珠在螺母內(nèi)有再循環(huán)通道。 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 進(jìn)給伺服系統(tǒng) 一、數(shù)控系統(tǒng)的伺服系統(tǒng) 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 位置控 制模塊 速度控 制單元 伺服 電機 工作臺 位置檢測 測量 反饋 伺服驅(qū)動裝置 指令 速度環(huán) 位置環(huán) 速度檢測 一、數(shù)控系統(tǒng)的伺服系統(tǒng) 閉環(huán)進(jìn)給伺服系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 一、數(shù)控系統(tǒng)的伺服系統(tǒng) 伺服系統(tǒng)的基本要求 位移精度高 穩(wěn)定性好 快速響應(yīng) 調(diào)速范圍寬 低速大扭矩 2023/3/23 第 4節(jié) 進(jìn)給驅(qū)動系統(tǒng) 二、精密數(shù)控系統(tǒng) 對超精密機床，刀具和工件的 z向和 x向運動以及加工非球曲面的精密回轉(zhuǎn)工作臺都是由精密數(shù)控系統(tǒng)進(jìn)行控制的。 進(jìn)給伺服系統(tǒng)是